反射式液晶設(shè)計(jì)
關(guān)注創(chuàng)建者：匿名 創(chuàng)建時(shí)間：2026-01-05
反射式液晶設(shè)計(jì)的實(shí)例教程
一．概述
隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。
與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。
全折射型投影物鏡是指只含有透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時(shí)含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。
二．SYNOPSYS自由曲面設(shè)計(jì)功能
受限于EUV（極紫外光）使用的波長為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒有光學(xué)材料可以透過，因此為了使用更短的波長，此類光刻物鏡只能采用完全反射式進(jìn)行設(shè)計(jì)。
SYNOPSYS的自由曲面設(shè)計(jì)功能可以非常方便快捷地設(shè)計(jì)自由曲面反射式光學(xué)系統(tǒng)。
只需要輸入每個(gè)反射鏡的初始位置、形狀，以及系統(tǒng)的物方參數(shù)和像方要求，此功能會(huì)自動(dòng)生成對(duì)應(yīng)的優(yōu)化文件和初始結(jié)構(gòu)。
宏文件和鏡頭文件
請(qǐng)?jiān)u論區(qū)留言聯(lián)系工作人員獲取
三.反射式光刻物鏡優(yōu)化結(jié)果
得到優(yōu)化的宏文件
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調(diào)整優(yōu)化宏，進(jìn)一步優(yōu)化反射鏡的形狀以達(dá)到更好的成像質(zhì)量。額外的質(zhì)量要求都可以在優(yōu)化文件內(nèi)按需要增加或調(diào)整。
對(duì)應(yīng)鏡頭文件
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軟件自動(dòng)優(yōu)化功能，會(huì)自動(dòng)將反射鏡的位置優(yōu)化匹配到不會(huì)影響光線軌跡的情況。
展開 </p><p><br></p><p>自由曲面廣泛的應(yīng)用在以下領(lǐng)域：投影鏡頭、衍射光學(xué)器件、頭盔式顯示器、車燈反射面、LED照明系統(tǒng)、汽車HUD抬頭顯示、離軸系統(tǒng)等等。</p><p><br></p><p>本文將展示使用synopsys軟件進(jìn)行離軸反射式光學(xué)系統(tǒng)初始結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)</p><p><br></p><p>第一步是繪制設(shè)計(jì)簡圖。</p><p><br></p><p>這是一個(gè)有三個(gè)反射鏡的例子，如下圖所示。光線從表面1的左側(cè)進(jìn)入，依次經(jīng)過位于2,3,4處的反射鏡，然后進(jìn)入5處的像面。</p><div contenteditable="false" width="100%">
<figure class="figure-image" data-img="https://img.jishulink.com/202403/attachment/4cad701e3fc44bfaad2a6b2a7d665baf.png" style="text-align: center">
<img src="https://img.jishulink.com/202403/attachment/4cad701e3fc44bfaad2a6b2a7d665baf.png" data-mobile-src="https://img.jishulink.com/202403/attachment/4cad701e3fc44bfaad2a6b2a7d665baf.png?image_process=/format,webp/resize,w_400" data-pc-src="https://img.jishulink.com/202403/attachment/4cad701e3fc44bfaad2a6b2a7d665baf.png?
展開 wx_fmt=png&from=appmsg&tp=webp&wxfrom=5&wx_lazy=1&wx_co=1" alt="圖片"></strong></p><p><strong> </strong></p><p><strong>至此，一個(gè)離軸反射式的光學(xué)系統(tǒng)的整個(gè)建模優(yōu)化部分就完成了，本文僅僅是對(duì)第2、3反射鏡面型進(jìn)行了優(yōu)化，讀者可以自行評(píng)估生產(chǎn)加工能力后選擇開啟高階系數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，或也可以選擇優(yōu)化更多反射鏡但不使用過高階的系數(shù)進(jìn)行優(yōu)化達(dá)到一種生產(chǎn)能力與設(shè)計(jì)需求的平衡，也可以嘗試文中其它的優(yōu)化方式來達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)，各位讀者可以自行嘗試對(duì)本文案例的搭建，也可以嘗試自行設(shè)計(jì)出另外的結(jié)構(gòu)進(jìn)行嘗試搭建，感謝閱讀。</strong></p><p><br></p>
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一．概述
隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。
與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類
<p>根據(jù)現(xiàn)代<span style="color: var(--weui-LINK);">光電信息技術(shù)</span>對(duì)信息發(fā)送、接收、轉(zhuǎn)換、傳遞與存儲(chǔ)功能的特殊需求，光學(xué)面形可由不規(guī)則、復(fù)雜非對(duì)稱的自由曲面隨意組合而成。光學(xué)中的自由曲面是指無法用球面或非球面系數(shù)來表示的曲面，主要是指任意非傳統(tǒng)、非對(duì)稱的曲面，以及微結(jié)構(gòu)數(shù)組和參數(shù)向量表示的任何形狀的曲面。</p><p> </p><p>采用先進(jìn)的數(shù)控超精密制造技術(shù)可直接加工出自自由曲面光學(xué)鏡面
<p>根據(jù)現(xiàn)代光電信息技術(shù)對(duì)信息發(fā)送、接收、轉(zhuǎn)換、傳遞與存儲(chǔ)功能的特殊需求，光學(xué)面形可由不規(guī)則、復(fù)雜非對(duì)稱的自由曲面隨意組合而成。光學(xué)中的自由曲面是指無法用球面或非球面系數(shù)來表示的曲面，主要是指任意非傳統(tǒng)、非對(duì)稱的曲面，以及微結(jié)構(gòu)數(shù)組和參數(shù)向量表示的任何形狀的曲面。</p><p><br></p><p>采用先進(jìn)的數(shù)控超精密制造技術(shù)可直接加工出自自由曲面光學(xué)鏡面，能達(dá)到亞微米量級(jí)面形精度與納米量級(jí)的表面粗糙度
