光柵結(jié)構(gòu)設(shè)計的案例
光 · 學(xué)堂 | 基于VirtualLab Fusion的微結(jié)構(gòu)仿真設(shè)計與加工技術(shù)（光柵、超表面、蛾眼結(jié)構(gòu)的仿真與加工技術(shù)）2026/5/19-5/20
課程大綱
1
VirtualLab Fusion軟件介紹
光之?dāng)?shù)字模型平臺原理介紹
VirtualLab Fusion用戶界面的基礎(chǔ)操作
2
衍射光學(xué)元件設(shè)計與優(yōu)化
VirtualLab Fusion自由空間傳播方法
迭代傅里葉變化及角譜方法
將高斯光整形成矩形平頂光束的設(shè)計優(yōu)化
衍射光學(xué)元件分束設(shè)計優(yōu)化
生成圖案的衍射擴(kuò)散器設(shè)計
基于薄元近似的實際結(jié)構(gòu)與公差分析仿真
衍射光學(xué)元件加工文件導(dǎo)出
3
周期性微納結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計
傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method）仿真
微透鏡陣列仿真
蛾眼減反射表面的建模和仿真優(yōu)化
閃耀光柵與傾斜光柵的設(shè)計優(yōu)化與公差分析
提高光柵衍射級次效率的光柵優(yōu)化設(shè)計
大角度分束衍射光學(xué)元件的設(shè)計優(yōu)化
4
超表面微納結(jié)構(gòu)
超構(gòu)表面偏振/波長/角度響應(yīng)分析
超光柵的構(gòu)建
基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的超構(gòu)透鏡設(shè)計
設(shè)計和分析超透鏡
基于超構(gòu)透鏡（PCA）實現(xiàn)聚焦與成像
5
微納加工工藝方案
微納加工完整流程概述
灰度曝光/直寫技術(shù)
刻蝕類工藝
其他輔助工藝
典型微納結(jié)構(gòu)加工全流程實例
6
微納結(jié)構(gòu)的表征
微納結(jié)構(gòu)面型檢測
時間
第一天
第一天
上午
1.VirtualLab Fusion軟件介紹
2.
展開 光通信設(shè)計軟件——OptiGrating 光柵設(shè)計軟件
OptiGrating 是光纖光柵業(yè)界的一個不可缺少的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計軟件。它為集成光波導(dǎo)光柵和光纖光柵的設(shè)計提供了強(qiáng)有力且用戶界面友好的設(shè)計工具。OptiGrating 是基于耦合模理論的數(shù)值分析軟件，既能對設(shè)定的光柵進(jìn)行分析也能合成出符合要求的光柵（逆向分析）。一個復(fù)雜的光柵被一組均勻光柵片段來近似，這些光柵片段之間用傳遞矩陣法來對進(jìn)行整合分析。這樣，設(shè)計者就可以對整個光柵進(jìn)行性能分析和優(yōu)化設(shè)計。
基本功能
OptiGrating最重要的基本功能如下：
· WDM add/drop，窄帶以及寬帶光纖和波導(dǎo)濾波器 · 光線布拉格發(fā)射器 · EDFA增益平坦元件 · 用于光纖通信的色散補(bǔ)償器 · 利用光柵切趾抑制邊帶 · 光纖和波導(dǎo)傳感器
產(chǎn)品應(yīng)用
· WDM add/drop、窄帶和寬帶光纖、波導(dǎo)濾波器
· 光纖布拉格光柵反射器
· EDFA增益平坦化光纖
· 用于光纖通信的色散補(bǔ)償器
· 使用光柵切趾法的邊帶抑制
· 光纖傳感器和波導(dǎo)傳感器
· 使用耦合到光纖包層模式的長周期光柵
展開 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應(yīng)用。VirtualLab Fusion通過應(yīng)用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
摘要
可直接選擇特定的光路圖。
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
通用光柵光路圖
光柵?
- 開始?
?初始化
光柵工具箱初始化
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
- 正弦光柵界面
- 鋸齒光柵界面
- 過渡點列表界面
- 矩形光柵界面
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
本用例展示了......
?在堆棧編輯器的視圖中，根據(jù)折射率（黑暗表示更高），其他顏色表示不同的材料。
?為此，增加了一個平面界面，以便將光柵結(jié)構(gòu)與基塊分開。
展開 使用特殊介質(zhì)的光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于多個應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。通過應(yīng)用傅里葉模態(tài)方法（FMM），VirtualLab Fusion以一種簡單的方法提供了任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析。在光柵軟件包中，通過使用堆棧中的多個界面或/和介質(zhì)可以配置光柵結(jié)構(gòu)。用于設(shè)置堆棧的幾何結(jié)構(gòu)的用戶界面是友好型的，可以用于產(chǎn)生更加復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。在這個用例中，解釋了基于特殊介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu)的配置。
該用例展示了…
? 在光柵工具箱中通過使用特殊介質(zhì)如何配置光柵結(jié)構(gòu)，如：
傾斜光柵介質(zhì)
體光柵介質(zhì)
? 如何在計算前改變高級選項&檢查定義的結(jié)構(gòu)
光柵工具箱初始化
? 初始化
開始->
光柵->
通用光柵光路圖
? 注意：對于特殊類型光柵的使用，如體光柵，可以直接選擇特定的光路圖
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
? 首先，需要定義基底（底座）材料和厚度
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧中定義
? 堆棧可以固定到基底的一邊或兩邊
? 這個例子中，第一個界面上的堆棧已經(jīng)選中
堆棧編輯器
堆棧編輯器
涂層傾斜光柵介質(zhì)
? 在目錄分類“LightTrans定義”中，可以找到涂層傾斜光柵介質(zhì)。
展開 
構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu)
復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型
? 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
初始化光柵工具箱
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
光柵菜單欄(Grating) ?
?
開始菜單欄 (Start)?
?
初始化
Path Diagram(3D Gratings))
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
?
首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
?
VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
?
可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時添加堆棧(stack)。
展開 真實結(jié)構(gòu)光柵效應(yīng)的研究
對混合目鏡中衍射透鏡的真實結(jié)構(gòu)引入的影響進(jìn)行建模
在本周的簡訊中，我們展示了兩個例子，說明這些求解器的作用，在不同領(lǐng)域的應(yīng)用中發(fā)揮它們的作用。
VirtualLab Fusion為這一任務(wù)提供了大量不同的專門求解器，從近似但快速的方法，如薄元近似法（TEA），到嚴(yán)格的方法，如傅里葉模態(tài)法（FMM）/嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）。
光柵是許多不同的現(xiàn)代應(yīng)用和技術(shù)中使用的一種基本光學(xué)元件。這種元件有時可以通過函數(shù)方法進(jìn)行足夠精確的建模。然而，為了徹底研究光柵對光學(xué)系統(tǒng)的影響，需要一個考慮到實際結(jié)構(gòu)的建模策略。
研究真實光柵對光導(dǎo)的效率和均勻性的影響是非常重要的。本案例展示了一個以斜面光柵為耦入器，以二元表面刻蝕光柵為EPE和耦出器的例子。
展開 二元光柵設(shè)計流程
高效偏振無關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計
具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元光柵已成為許多光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝納米壓印技術(shù)，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。 VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）和不同的優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應(yīng)。
利用傅立葉模態(tài)法（FMM）優(yōu)化傾斜光柵，以實現(xiàn)將光耦合到波導(dǎo)中的高衍射效率。 分析制造公差，如圓形邊緣。
VirtualLab：如何建立一個真實光柵結(jié)構(gòu)的光導(dǎo)
局部光柵區(qū)域(所謂的區(qū)域)可以定義在光導(dǎo)表面的耦合和擴(kuò)瞳的目的。光柵對光場的影響可以嚴(yán)格建模，也可以用理想化的函數(shù)建模，這需要用戶手動輸入不同級次的效率值。在這個用例中，我們關(guān)注如何將之前設(shè)計的真正光柵結(jié)構(gòu)導(dǎo)入光波導(dǎo)組件，并討論所有相關(guān)設(shè)置和查找表的預(yù)計算。
任務(wù)描述
系統(tǒng)化的光導(dǎo)的設(shè)計
對于每一個設(shè)計步驟，我們都推薦一個系統(tǒng)化的辦法來處理所要完成的任務(wù)。
光導(dǎo)布局設(shè)計
光柵專用操作系統(tǒng)中光柵的設(shè)計與分析
光導(dǎo)光學(xué)裝置中光導(dǎo)的設(shè)計與分析
耦合光柵的結(jié)構(gòu)
耦合光柵的結(jié)構(gòu)
EPE/耦出耦合光柵的結(jié)構(gòu)
EPE/耦出耦合光柵的結(jié)構(gòu)
將光柵導(dǎo)入光導(dǎo)組件
將光柵導(dǎo)入光導(dǎo)組件
FMM設(shè)置
查找表
提前計算查找表
文檔信息
展開 [VirtualLab] 二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
1. 本案例主要說明：
? 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
- 基于介質(zhì)的定義類型
- 基于表面的定義類型
? 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
? 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
2. 光柵工具箱初始化
? 初始化
- 開始→
光柵→
一般光柵光路圖(3D光柵)
? 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
? 首先，必須先定義基底的厚度與材料
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進(jìn)行定義
? 堆棧可以附屬在基底的一側(cè)或兩側(cè)。
? 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。
基于介質(zhì)的定義類型
(例如：柱狀光柵)
1. 堆棧編輯器
? 在堆棧編輯器中，可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
? 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個平面界面作為邊界。
? 兩個平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。
? 通過使用后者，可以非常有效地描述復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、
2.
展開 利用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)在多種應(yīng)用中被廣泛使用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。VirtualLab 利用傅里葉模態(tài)方法(FMM)提供了對各種光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析功能。在光柵工具箱中，光柵結(jié)構(gòu)可以通過不同的插入表面和/或者材料堆棧配置。堆棧的幾何結(jié)構(gòu)通過友好的用戶界面設(shè)置，并更加復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)同樣可以利用堆棧表達(dá)。在本實用案例中，闡述了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)外形設(shè)置。
1. 案例展示內(nèi)容
? 如何使用界界面在光柵工具箱中配置光柵結(jié)構(gòu)：
- 矩形光柵界面
- 轉(zhuǎn)換點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
? 如何在計算前改變高級選項&檢查定義的結(jié)構(gòu)。
2. 光柵工具箱初始化
3. 光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
? 首先，必須定義基底(Base Block)的厚度和材料。
? 在VirtualLab中定義光柵的結(jié)構(gòu)稱作Stack。
? Stack可以附著在基底的一側(cè)或兩側(cè)
? 例如，選擇在第一個表面上的Stack。
4. Stcak 編輯器
? 在Stcak 編輯器中，界面可以從庫中添加或插入。
? VirtualLab 的庫中提供了多種類型的界面。而且所有這些表面類型都可用于定義一個光柵
5. 矩形光柵界界面
6. 矩形光柵界面參數(shù)
7. 高級選項&信息
轉(zhuǎn)接點列表界面
1. 轉(zhuǎn)接點列表界面
2. 轉(zhuǎn)接點列表參數(shù)
3. 高級選項&信息
正弦光柵界界面
1. 正弦光柵界面
2.
展開 [VirtualLab] 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應(yīng)用。VirtualLab Fusion通過應(yīng)用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
本用例展示了......
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
- 矩形光柵界面
- 過渡點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
光柵工具箱初始化
?初始化
- 開始?
光柵?
通用光柵光路圖
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
可直接選擇特定的光路圖。
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
?首先，必須定義基板（基塊“Base Block”）的厚度和材料。
?在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧（stack）中定義。
?堆棧可以附到基板的一側(cè)或兩側(cè)。
?例如，選擇第一個界面上的堆棧。
堆棧編輯器
?在堆棧編輯器(Stack Editor)中，可以從目錄中添加或插入界面。
?VirtualLab的目錄提供了幾種類型的界面。
展開 
二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
1. 本案例主要說明：
? 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
- 基于介質(zhì)的定義類型
- 基于表面的定義類型
? 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
? 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
2. 光柵工具箱初始化
? 初始化
- 開始→
光柵→
一般光柵光路圖(3D光柵)
? 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
? 首先，必須先定義基底的厚度與材料
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進(jìn)行定義
? 堆棧可以附屬在基底的一側(cè)或兩側(cè)。
? 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。
基于介質(zhì)的定義類型
(例如：柱狀光柵)
1. 堆棧編輯器
? 在堆棧編輯器中，可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
? 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個平面界面作為邊界。
? 兩個平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。
? 通過使用后者，可以非常有效地描述復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、
2. 柱狀光柵介質(zhì)
? 在庫目錄“LightTrans Defined”中，在柱狀介質(zhì)庫中可以找到鉻柱。
展開 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應(yīng)用。VirtualLab Fusion通過應(yīng)用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
本用例展示了......
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
- 矩形光柵界面
- 過渡點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
光柵工具箱初始化
?初始化
- 開始?
光柵?
通用光柵光路圖
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
可直接選擇特定的光路圖。
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
?首先，必須定義基板（基塊“Base Block”）的厚度和材料。
?在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧（stack）中定義。
?堆棧可以附到基板的一側(cè)或兩側(cè)。
?例如，選擇第一個界面上的堆棧。
堆棧編輯器
?在堆棧編輯器(Stack Editor)中，可以從目錄中添加或插入界面。
?VirtualLab的目錄提供了幾種類型的界面。 所有界面都可以用來定義光柵。
矩形光柵界面
?一種可能的界面是矩形光柵界面。
?此類界面適用于簡單二元結(jié)構(gòu)的配置。
?在此示例中，由銀制成的光柵位于玻璃基板上。
?為此，增加了一個平面界面，以便將光柵結(jié)構(gòu)與基塊分開。
展開 MCGrating 光柵設(shè)計軟件
軟件具有直觀的可視化界面，可設(shè)計各種光柵結(jié)構(gòu)：方波全息光柵，閃耀光柵，正弦、梯形、三角形、三點折線式及其它許多結(jié)構(gòu)光柵等。包含衍射光柵、結(jié)構(gòu)、衍射光學(xué)元件、光伏系統(tǒng)和光譜光柵。光柵的特征尺寸可以從納米到毫米量級。同時可以計算衍射效率、近場、偏振、反射、透射以及內(nèi)部場。全息光柵、布拉格光柵、表面光柵、光子晶體、衍射光束分束器、偏光器、抗反射各種定制特性可以使用戶分析和優(yōu)化用戶自定義結(jié)構(gòu)的光柵。這些包括導(dǎo)入測量的高度輪廓以及使用公式描述一個高度輪廓的可編程高度輪廓或者折射率分布介質(zhì)。
嚴(yán)格設(shè)計 1D 和 2D 亞波長光柵
嚴(yán)格設(shè)計廣角 1D 和 2D 光束分束器和點陣器件
嚴(yán)格設(shè)計薄膜
嚴(yán)格設(shè)計體光柵
嚴(yán)格分析任意自定義的1D光柵
薄層和光柵設(shè)計
分析設(shè)計薄層膜和各種 2D 和 3D 光柵
光源可以偏振和非偏振光源；
擁有全局和局部優(yōu)化算法可以供選擇；
可以優(yōu)化光柵材料參數(shù)和光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)；
界面友好，便于操作和優(yōu)化、它具有三維矢量代碼；
仿真計算精度高，材料齊全；
任意光柵參數(shù)分析，包括光柵厚度，材料，電介質(zhì)材料和金屬材料折射率（可通過實部和虛部來定義）；
任意復(fù)雜光柵如多材料，膜層，內(nèi)部結(jié)構(gòu)等；
薄膜分析，衍射級次及相位角分析，圓錐襯邊及任意偏振；
任意偏振狀態(tài)分析，各級指數(shù)任意變換，任意光柵級次分析，可編輯材料數(shù)據(jù)庫，基于遺傳算法優(yōu)化，可輸入任意代數(shù)約束表達(dá)式，任意數(shù)量控制參數(shù)，多重衍射效率目標(biāo)，全差分優(yōu)化選項控制。
展開 [VirtualLab] 構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu)
復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型
? 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
初始化光柵工具箱
? 初始化
? 開始菜單欄 (Start)?
光柵菜單欄(Grating) ?
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
? 提示：對于特殊類型的光柵，例如柱形光柵，
可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
圖（三維光柵）(Pillar Grating Light
Path Diagram(3D Gratings))
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
? 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
? VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
? 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時添加堆棧(stack)。
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