微觀輪廓測量的案例
微觀特征輪廓尺寸測量：光學3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺階儀的應用
臺階儀
臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數的測量。
臺階儀應用場景適應性，廣泛用于半導體、太陽能光伏、光學加工、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位，對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求。
在實際應用中，選擇合適的測量儀器需要綜合考慮樣品的性質、測量需求和精度要求。通過合理利用這些先進的測量技術，可以有效提升微觀特征輪廓尺寸測量的準確性和可靠性，為科研和工業生產提供堅實的基礎。
展開 顯微測量|臺階儀二維超精密測量微觀形貌
臺階儀通過掃描被測樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌數據，能夠揭示微觀結構的特征和性能。
了解工作原理和性能特點
臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進行微觀測量，通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息。具體而言，掃描探針通過細微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過數據處理，形成高分辨率的圖像。
它能夠實現納米級別的測量，對微觀結構的細節進行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實現快速獲取樣品的形貌數據。
功能和作用介紹
作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數：
（1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度；
（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；
（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。
臺階儀的應用
臺階儀具有廣泛的適用范圍，在科學研究、材料表征、納米技術、半導體制造等領域都有應用。如在半導體制造中，臺階儀可以用于檢測半導體材料表面的缺陷和形貌，為半導體器件的開發和生產提供可靠的數據參考。
測量晶圓表面粗糙度
臺階儀具備出色的精確性和穩定性，而且樣品適應面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。在材料科學、制造業、科研等領域都有著重要的應用價值。相信隨著科技的不斷發展，臺階儀將會在測量領域發揮更加重要的作用。
展開 光學3D表面輪廓儀：滿足多元超精密微觀尺寸測量需求
光學 3D 表面輪廓儀采用先進的光學原理和精密的測量技術，能夠對物體表面進行非接觸式的三維測量。與傳統的測量方法相比，它具有諸多優勢。首先，非接觸式測量避免了對被測物體的損傷，尤其對于一些精密的、易損的材料和工件，能夠在不影響其性能的前提下進行準確測量。其次，高分辨率的測量能力可以捕捉到物體表面微小的細節，無論是納米級的微觀結構還是宏觀物體的復雜形貌，都能清晰呈現。再者，快速的測量速度使得它能夠在短時間內完成大量數據的采集，提高了工作效率。
SuperViewW 系列光學 3D 表面輪廓儀，涵蓋了多種不同類型的產品，滿足了不同客戶的多樣化需求。無論是追求高精度測量的科研機構，還是需要測量大尺寸工件的工業企業，都能在這個系列中找到最適合自己的解決方案。
高精度：精準捕捉每一個細節
在高精度測量要求的應用場景中，高精度光學 3D 表面輪廓儀采用先進的白光干涉技術，能夠精確地捕捉物體表面的微小細節，為科研人員和工程師們提供了可靠的數據支持。如在材料科學領域，通過高精度光學 3D 表面輪廓儀對新型納米材料進行表面形貌研究，可以精準測量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關鍵數據，為進一步優化材料性能提供了重要依據。其精度之高，可達到納米級別。
大尺寸測量：輕松應對大型工件
在需要測量大尺寸工件時，SuperViewW 系列同樣有相應的產品可供選擇。這些大尺寸測量儀器具備廣闊的測量范圍和穩定的性能，能夠輕松應對各種大型工件的測量任務。
WX-S1000，升級版超大行程光學3D表面輪廓儀（龍門結構，超大行程，氣浮隔振，穩如泰山），2D表面測量/3D立體重建一鍵全自動測量，高精度微納尺寸形貌檢測利器。
展開 白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)與臺階儀的區別
表面形貌即為表面微觀幾何形態，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。
隨著微電子技術、光學技術、計算機技術、傳感技術、信號分析和處理技術等飛速發展，對表面形貌測量精度不斷提高，從微米尺度進入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。
1、測量方式
（1）CP200臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉換為數字點云信號，數據點云信號在分析軟件中呈現并使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。
（2）SuperViewW1白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級非接觸式測量的光學檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
2、測量應用
（1）臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。
展開 
輪廓測長|中圖儀器SJ57系列輪廓儀高精度測量粗糙度
可以全量程大范圍連續掃描，擁有長達數百毫米的持續爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉、傾斜調整，就可實現輕松測量。
螺紋和輪廓一體化測量，可用于測量長軸類、筒類、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內外徑尺寸、內外輪廓形貌。
典型應用
3、SJ5730系列——高精度粗糙度輪廓一體測量
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測量儀納米級光學傳感器，可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關節、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領域精細粗糙度測量的利器。
典型應用
4、SJ5760系列——高精度輪廓尺寸測量
SJ5760系列大量程粗糙度/輪廓測量儀具有大量程、高穩定、高精密的特點。輪廓模塊具有X軸200mm的大量程輪廓測量范圍，可測量各種精密機械零件的輪廓/粗糙度形狀參數。
典型應用
5、SJ5718系列——小型粗糙度輪廓測量儀
SJ5718系列小型粗糙度/輪廓測量儀大小600×350×890（mm），粗糙度模塊更適合于深孔及高精度場合，可測量各種精密機械零件的輪廓/粗糙度形狀參數。產品操作簡便，功能齊全，并配備了直觀的界面，使用方法輕松掌握。
典型應用
展開 白光3D輪廓測量儀滿足時下半導體封裝測量需求
尤其在近幾年，先進節點走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測量儀適配芯片制造生產線，致力于滿足時下半導體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測量需求，助力半導體行業發展。
W1白光3D輪廓測量儀X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高、彈坑等微納米級別精度的測量。
臺階高精確度：0.3%
臺階高重復性：0.08 % 1σ
縱向分辨率：0.1nm
RMS重復性：0.005nm
橫向分辨率（0.5λ/NA）：0.5um~3.7um
特點：粗糙度測量、彈坑測量、測量尺寸6英寸以下。
W3白光3D輪廓測量儀X/Y方向標準行程為300*300mm，超大規格平面、兼容型12英寸真空吸附盤能檢測12寸及以下尺寸的Wafer；氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計，確保儀器在千級車間能有效濾除地面和聲波的振動干擾，穩定工作；自動化測量半導體晶圓。
半導體領域專項功能
1.同步支持6、8、12英寸三種規格的晶圓片測量，一鍵即可實現三種規格的真空吸盤的自動切換以配適不同尺寸晶圓；
2.具備研磨供以后減薄片的粗糙度自動測量功能，一鍵可測量數十個小區域的粗糙度求取均值；
3.具備劃片工藝中激光鐳射開槽后的槽道深寬輪廓數據測量功能，可以一鍵實現槽道深寬相關的面和多條剖面線的數據測量與分析；
4.具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍，實現高精度測量。
W3白光干涉儀測量12英寸硅晶圓的應用.mp4
展開 接觸式輪廓儀在測量過程中如何確保測量精度
接觸式輪廓儀在測量過程中要確保測量精度，需要考慮以下幾個關鍵因素：
1. 探針的選擇：選擇合適的探針半徑和形狀，以確保探針能夠精確地跟蹤被測表面的輪廓。探針的磨損也會影響測量結果，因此需要定期檢查和更換。
2. 測量力的控制：適當的測量力可以確保探針與被測表面的良好接觸，同時避免對軟質材料造成損傷。測量力過大可能會導致表面劃傷，而過小則可能導致測量不穩定。
3. 環境條件：測量應在穩定的環境中進行，避免溫度和濕度的波動影響測量結果。無強磁場和振動的環境中進行測量可以提高精度。
4. 設備校準：定期校準輪廓儀，確保測量系統的準確性和可靠性。使用校準標準件或已知表面輪廓的樣品進行校準。
5. 數據采樣率：合適的采樣率可以確保測量數據的代表性和準確性。過高或過低的采樣率都可能影響測量結果。
6. 測量速度：適當的測量速度可以減少測量過程中的隨機誤差。速度過快可能會導致數據丟失，而速度過慢則可能增加測量時間并提高出錯的風險。
7. 軟件和算法：使用先進的軟件和算法處理測量數據，以減少系統誤差和提高測量精度。一些輪廓儀軟件可以自動消除安裝誤差，直接顯示所測零件的形狀及參數，并可打印圖形和數據。
8. 操作技巧：操作人員需要具備一定的操作技巧和經驗，以確保測量過程的準確性和重復性。
9. 避免測量誤差：在測量過程中，應避免因探針磨損、測量壓力過大或接觸不良等原因造成的誤差。
通過上述措施，可以最大限度地提高接觸式輪廓儀的測量精度，確保得到可靠的測量結果。
展開 螺紋怎么測量？SJ5780輪廓掃描測量儀全自動在線檢測
中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測量儀是一款大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀，可對航空發動機零部件高強度連接螺紋工件實現現場全自動在線檢測，自動檢測各種螺紋工件內外徑尺寸、內外輪廓形貌參數的綜合測量，解決螺紋的穩定性問題，保障航空發動機的品質質量。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測量儀X軸、Z軸均為獨立運動系統，采用兩軸聯動運動控制算法，實現X、Z雙軸聯動掃描，在測量螺紋時，測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。還可全量程大范圍連續掃描，擁有長達數百毫米的持續爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測量。大工件無需翻轉、傾斜調整，就可實現輕松測量。
工件螺紋全參數掃描測量：鋸齒、錐形、梯形螺紋大中小徑、作用中徑、螺距牙型角、螺旋升角、齒頂底弧半徑、同軸度等。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測量儀的測量速度較傳統輪廓儀提升了5倍，抬針時間＜0.1s。操作流暢、迅速、高效，用于長軸類、筒類、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內外徑尺寸、內外輪廓形貌參數測量，非常適合航空、軍工、船舶、高鐵、新能源汽車、醫療等行業。該產品支持量程定制，適用于各行業領域的實驗室或工作現場使用。
展開 臺階儀(探針式輪廓儀)在太陽能光伏行業的應用
由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有較強的反射率，會對依賴反射光信號進行圖像重建的光學輪廓儀造成信號干擾導致ITO膜厚圖像重建失真，因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進行測量，由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米，考慮到測量的同時不損傷樣件本身，因而采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。
臺階儀是干什么的？在太陽能光伏行業能測什么？
臺階儀是一種常用的膜厚測量儀器，它是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。
CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。
針對測量ITO導電薄膜的應用場景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：
1）結合了360°旋轉臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標志位；
2）對于批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實現一鍵多點位測量；
3）提供SPC統計分析功能，直觀分析測量數值變化趨勢；
展開 毛坯最大輪廓如何測量
毛坯最大輪廓如何測量
微小工件輪廓測量用全自動影像儀
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</div><p class="ql-align-center">光源一致性校準</p><p><br></p><p>此外還支持表面光、透射光、同軸光分段編程控制，切換倍率時軟件會自動補償光源亮度，自動識別測量部位，每次都能獲得統一穩定的測量結果。能輕松解決測量復雜輪廓形狀零件測量的復雜性和排列的無序性，保證高倍率鏡頭下微小工件輪廓測量的精準性。</p><div contenteditable="false" width="100%">
<img src="https://img.jishulink.com/upload/202301/b3fd1599fef04be08670e051d2f0feaf.jpg" title="圖片3.jpg" alt="圖片3.jpg" style="max-width:760px;" data-mobile-src="https://img.jishulink.com/upload/202301/b3fd1599fef04be08670e051d2f0feaf.jpg?image_process=/format,webp/quality,q_40/resize,w_400" data-pc-src="https://img.jishulink.com/upload/202301/b3fd1599fef04be08670e051d2f0feaf.jpg?
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一機解決輪廓尺寸+螺紋全參數測量的高效解決方案
智能輪廓儀在汽車行業（零部件）的應用
在汽車領域里的空調，發動機，車內循環系統，油料供給和制動系統中，多會引入螺桿類產品，其主要用于緊固密封連接。螺桿制造工藝的好壞直接關系到其部件的性能和使用壽命，因此需要對螺桿的形狀和尺寸進行質量管控。
由于螺桿的結構特殊，需要檢測緊固件雙側輪廓的基本尺寸、形位公差（例如：同軸度、位置度），來評判是否符合螺桿的加工和磨削要求。同時需測量螺紋的全參數來評判嚙合間隙。
根據螺桿測量需求，使用可兩軸聯動的SJ5780高精度智能螺紋輪廓掃描儀。多功能優勢博采眾長適用于各種應用場景。可測幾何量，復雜工件分段測量，公差設置進行合格判定，可進行CNC批量匹配分析提高測量效率；同時還可測量螺紋，通過雙向掃描得到的輪廓信息計算螺紋的中徑、大徑、小徑、螺距、牙型半角等參數。
優勢一：雙向掃描測量同時分析輪廓尺寸和螺紋全參數，螺桿測量分析。
優勢二：自定義分段測量；雙向恒測力接觸掃描，智能爬坡、陡坡緩降，解決對螺桿復雜輪廓面的智能掃描。
優勢三：對同批次復雜工件輪廓進行一鍵匹配分析輪廓尺寸，提升螺桿的檢測效率。
中圖儀器SJ5780系列高精度智能螺紋輪廓掃描儀滿足螺桿的雙側測量需求，螺紋數據庫能直接評定螺紋全參數合格指標。儀器檢測報告直觀明了，方便對螺桿加工工藝進行調整，加強了品質管控；儀器廣泛應用于機械制造行業（如汽配、機加工等）。
展開 觸針式輪廓儀在軸承滾子測量中的應用
通過輪廓儀測量分析滾子素線和凸度，操作簡單，軟件自動處理分析數據，快捷高效，已成為主流檢測手段。
輪廓儀在軸承應用非常廣泛，除了測量滾子素線和凸度外，還可以測量滾子粗糙度以及內外圈保持架相關尺寸和粗糙度，是軸承行業十分重要的量測儀器！
微納米表面輪廓形貌用什么測量儀器
在現代科技發展的今天，微納米表面輪廓形貌測量已成為許多領域的重要研究內容。微納米表面輪廓形貌的測量可以幫助我們了解材料的物理特性、表面形態以及質量狀況。那么，有哪些微納米表面輪廓形貌測量儀器？
1、白光干涉儀
白光干涉儀是一種常見的微納米表面輪廓儀測量儀器，常用于研究產品的微觀形貌和粗糙度。它利用光的波長差異產生干涉條紋，通過計算條紋的變化情況來確定物體表面的輪廓。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，W1白光干涉儀復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀具有測量范圍寬、測量快速、精度高等優點，在許多領域廣泛應用。但主要還是用于產品微觀形貌測量，特別是從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量，精度一般是亞納米級別。
2、共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理，對大傾角的產品有更好的成像效果。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測。大傾角超清納米測量，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。
微納米表面輪廓形貌測量儀器的選擇取決于所需分辨率、材料類型、實驗條件等因素。選擇適合的測量儀器對于準確獲取樣品表面形貌和特征至關重要，有助于推進科學研究和技術應用的發展。
我們應該怎樣使用？
微納米表面輪廓儀的使用技巧：
1.
展開 SJ5730粗糙度輪廓儀解決圓柱滾子軸承測量難題
測量需求
圓柱滾子軸承由軸承滾道與圓柱滾子等部分組成，通過滾子在軸承滾道的運動完成對應工作。
測量需求主要包括：
1、測量軸承滾道錐面直線度與粗糙度；
2、測量圓柱滾子不同位置的凸度、滾子素線、對稱性等。
解決方案
使用SJ5730高精度粗糙度輪廓一體測量儀與配套軟件測量軸承滾道，在行業內創新性地實現“一次測量掃描后，在同一個界面顯示粗糙度評價結果與輪廓分析結果”。測量圓柱滾子，SJ5730軟件新增滾子分析功能，專門針對軸承滾子凸度等參數進行評價分析，如下測量示例：
軸承滾道直線度和粗糙度測量與分析
在同個界面可同時顯示直線度與粗糙度參數：
圓柱滾子對數曲線測量與分析
定制夾具放置滾子掃描
圓柱滾子測量分析結果：
總結
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測量儀能夠滿足軸承行業絕大部分測量需求，除了本文提到的圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析，也支持其他軸承測量與結果分析。例如內外套圈的密封槽形狀（角度、倒角、槽深、槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的凸度、角度、曲線；滾針軸承、圓柱滾子軸承、直線軸承的滾動體和套圈的直線度；球軸承溝道與四點接觸軸承溝槽曲率半徑等測量分析。專業化的軟件設計能夠讓用戶輕松使用的同時獲得精準的測量數據，為軸承檢測行業助力！
SJ5730-100高精度粗糙度輪廓一體測量儀
SJ5730-200高精度粗糙度輪廓一體測量儀
展開 