輪廓測(cè)量
關(guān)注創(chuàng)建者：匿名 創(chuàng)建時(shí)間：2026-01-04
輪廓測(cè)量的實(shí)例教程
可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測(cè)量，大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。
螺紋和輪廓一體化測(cè)量，可用于測(cè)量長(zhǎng)軸類(lèi)、筒類(lèi)、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌。
典型應(yīng)用
3、SJ5730系列——高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量儀納米級(jí)光學(xué)傳感器，可以對(duì)零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測(cè)，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。
典型應(yīng)用
4、SJ5760系列——高精度輪廓尺寸測(cè)量
SJ5760系列大量程粗糙度/輪廓測(cè)量儀具有大量程、高穩(wěn)定、高精密的特點(diǎn)。輪廓模塊具有X軸200mm的大量程輪廓測(cè)量范圍，可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的輪廓/粗糙度形狀參數(shù)。
典型應(yīng)用
5、SJ5718系列——小型粗糙度輪廓測(cè)量儀
SJ5718系列小型粗糙度/輪廓測(cè)量儀大小600×350×890（mm），粗糙度模塊更適合于深孔及高精度場(chǎng)合，可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的輪廓/粗糙度形狀參數(shù)。產(chǎn)品操作簡(jiǎn)便，功能齊全，并配備了直觀的界面，使用方法輕松掌握。
典型應(yīng)用
展開(kāi) 尤其在近幾年，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測(cè)量儀適配芯片制造生產(chǎn)線，致力于滿(mǎn)足時(shí)下半導(dǎo)體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測(cè)量需求，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。
W1白光3D輪廓測(cè)量儀X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿(mǎn)足晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高、彈坑等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。
臺(tái)階高精確度：0.3%
臺(tái)階高重復(fù)性：0.08 % 1σ
縱向分辨率：0.1nm
RMS重復(fù)性：0.005nm
橫向分辨率（0.5λ/NA）：0.5um~3.7um
特點(diǎn)：粗糙度測(cè)量、彈坑測(cè)量、測(cè)量尺寸6英寸以下。
W3白光3D輪廓測(cè)量儀X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm，超大規(guī)格平面、兼容型12英寸真空吸附盤(pán)能檢測(cè)12寸及以下尺寸的Wafer；氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，確保儀器在千級(jí)車(chē)間能有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾，穩(wěn)定工作；自動(dòng)化測(cè)量半導(dǎo)體晶圓。
半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)功能
1.同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量，一鍵即可實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以配適不同尺寸晶圓；
2.具備研磨供以后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能，一鍵可測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值；
3.具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能，可以一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析；
4.具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量，覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
W3白光干涉儀測(cè)量12英寸硅晶圓的應(yīng)用.mp4
展開(kāi) 中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量儀是一款大量程、高精度的主動(dòng)掃描式綜合輪廓測(cè)量儀，可對(duì)航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件高強(qiáng)度連接螺紋工件實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)全自動(dòng)在線檢測(cè)，自動(dòng)檢測(cè)各種螺紋工件內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌參數(shù)的綜合測(cè)量，解決螺紋的穩(wěn)定性問(wèn)題，保障航空發(fā)動(dòng)機(jī)的品質(zhì)質(zhì)量。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量儀X軸、Z軸均為獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，采用兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法，實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，在測(cè)量螺紋時(shí)，測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過(guò)能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題。還可全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測(cè)量。大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。
工件螺紋全參數(shù)掃描測(cè)量：鋸齒、錐形、梯形螺紋大中小徑、作用中徑、螺距牙型角、螺旋升角、齒頂?shù)谆“霃健⑼S度等。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量儀的測(cè)量速度較傳統(tǒng)輪廓儀提升了5倍，抬針時(shí)間＜0.1s。操作流暢、迅速、高效，用于長(zhǎng)軸類(lèi)、筒類(lèi)、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌參數(shù)測(cè)量，非常適合航空、軍工、船舶、高鐵、新能源汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)。該產(chǎn)品支持量程定制，適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室或工作現(xiàn)場(chǎng)使用。
展開(kāi) 現(xiàn)代工業(yè)智能制造領(lǐng)域中，三維輪廓測(cè)量儀是一項(xiàng)重要的測(cè)量技術(shù)。三維輪廓測(cè)量儀利用光學(xué)、激光或光電等技術(shù)手段，通過(guò)測(cè)量物體表面輪廓的三維坐標(biāo)信息，能實(shí)現(xiàn)對(duì)物體形狀、尺寸和表面特征的準(zhǔn)確測(cè)量。它可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域，為工業(yè)生產(chǎn)提供了更強(qiáng)大的技術(shù)支持。
微納三維輪廓測(cè)量：光學(xué)3D表面輪廓儀
在產(chǎn)品制造、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)過(guò)程中，精確的尺寸控制和表面質(zhì)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。接觸式測(cè)量方法不僅測(cè)量效率低下，而且可能會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成損傷。
光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉原理，3D非接觸快速測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。保證產(chǎn)品尺寸和表面質(zhì)量的一致性，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
無(wú)論是金屬制品、塑料制品，還是電子元器件、汽車(chē)零部件，光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)產(chǎn)品的尺寸、形狀和表面特征，快速、準(zhǔn)確地提供相關(guān)的檢測(cè)數(shù)據(jù)。
大尺寸三維輪廓測(cè)量：激光跟蹤儀
在工業(yè)自動(dòng)化中，隨著工業(yè)制造的自動(dòng)化程度不斷提高，對(duì)于物體的自動(dòng)化識(shí)別和測(cè)量成為了一個(gè)重要的問(wèn)題。
激光跟蹤儀采用球坐標(biāo)系的測(cè)量原理，將空間點(diǎn)通過(guò)測(cè)量水平、俯仰兩個(gè)角度和一個(gè)長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)空間位置的定位，再由軟件將所采集的位置進(jìn)行擬合，在軟件中形成三維特征，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的自動(dòng)化實(shí)時(shí)測(cè)量。
不論是在裝配線上，還是在機(jī)器人操作中，激光跟蹤儀都能夠快速獲取物體的位置信息，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的自動(dòng)化識(shí)別和操作，提高生產(chǎn)效率和準(zhǔn)確性。
三維輪廓測(cè)量儀作為一項(xiàng)革命性技術(shù)，在制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)和工業(yè)自動(dòng)化中具有重要的意義。
展開(kāi) 在現(xiàn)代科技發(fā)展的今天，微納米表面輪廓形貌測(cè)量已成為許多領(lǐng)域的重要研究?jī)?nèi)容。微納米表面輪廓形貌的測(cè)量可以幫助我們了解材料的物理特性、表面形態(tài)以及質(zhì)量狀況。那么，有哪些微納米表面輪廓形貌測(cè)量儀器？
1、白光干涉儀
白光干涉儀是一種常見(jiàn)的微納米表面輪廓儀測(cè)量儀器，常用于研究產(chǎn)品的微觀形貌和粗糙度。它利用光的波長(zhǎng)差異產(chǎn)生干涉條紋，通過(guò)計(jì)算條紋的變化情況來(lái)確定物體表面的輪廓。
針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿(mǎn)足的高精度、大掃描范圍的需求，W1白光干涉儀復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。
白光干涉儀具有測(cè)量范圍寬、測(cè)量快速、精度高等優(yōu)點(diǎn)，在許多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。但主要還是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量，特別是從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量，精度一般是亞納米級(jí)別。
2、共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，對(duì)大傾角的產(chǎn)品有更好的成像效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)。大傾角超清納米測(cè)量，在滿(mǎn)足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。
微納米表面輪廓形貌測(cè)量儀器的選擇取決于所需分辨率、材料類(lèi)型、實(shí)驗(yàn)條件等因素。選擇適合的測(cè)量儀器對(duì)于準(zhǔn)確獲取樣品表面形貌和特征至關(guān)重要，有助于推進(jìn)科學(xué)研究和技術(shù)應(yīng)用的發(fā)展。
我們應(yīng)該怎樣使用？
微納米表面輪廓儀的使用技巧：
1.
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輪廓測(cè)量的相關(guān)專(zhuān)題、標(biāo)簽、搜索
輪廓測(cè)量的最新內(nèi)容
超表面計(jì)量學(xué)的光學(xué)屬性4個(gè)月前
而測(cè)量技術(shù)也分為多種類(lèi)型：
1）時(shí)間分割偏振測(cè)量法：通過(guò)順序獲取強(qiáng)度輪廓來(lái)測(cè)量偏振態(tài)，但該方法不適用于需要高速測(cè)量的應(yīng)用場(chǎng)景，且使用波片會(huì)使表征裝置具有色散性。
2）振幅分割偏振測(cè)量法：通過(guò)將光束分割為多束并分別分析來(lái)同時(shí)獲取斯托克斯參數(shù)，可提高采集速度，但受振幅細(xì)分?jǐn)?shù)量限制。
在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的葉型掃描中，這種真實(shí)性讓型面輪廓度的測(cè)量偏差比傳統(tǒng)設(shè)備降低40%以上。
當(dāng)前檢測(cè)手段的不足
1、測(cè)量計(jì)量室常規(guī)手段如輪廓測(cè)量儀，卡尺等無(wú)法測(cè)量到閥體各表面的平面度，各圓柱內(nèi)孔的同軸度、位置度、內(nèi)孔與安裝密封面的垂直度參數(shù)；
2、傳統(tǒng)測(cè)量方式精度無(wú)法達(dá)到測(cè)量需求，部分零部件軸孔位置度、同軸度、垂直度使用傳統(tǒng)測(cè)量方法無(wú)法達(dá)到檢測(cè)精度；
3、通常液壓閥體存在數(shù)十倍深徑比的深孔加工，此類(lèi)深孔常規(guī)的檢測(cè)手段：卡尺、影像、輪廓類(lèi)設(shè)備無(wú)法進(jìn)行制定位置的孔徑檢測(cè)
5.異形孔（如鍵槽孔、D形孔）：
大幅增加輪廓測(cè)量點(diǎn)密度。
軟件擬合為自定義形狀（非圓），測(cè)量關(guān)鍵尺寸（如內(nèi)切圓、外接圓、寬度等）。
- 輪廓檢測(cè)：對(duì)物體的輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量，獲取物體表面的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，與設(shè)計(jì)模型對(duì)比，分析輪廓偏差，檢測(cè)物體外形是否合格。
- 動(dòng)態(tài)測(cè)量：可實(shí)時(shí)跟蹤運(yùn)動(dòng)目標(biāo)的位置和姿態(tài)變化，測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體的速度、加速度等參數(shù)，用于監(jiān)測(cè)生產(chǎn)線上運(yùn)動(dòng)部件的運(yùn)行狀態(tài)，或?qū)C(jī)器人等運(yùn)動(dòng)設(shè)備進(jìn)行性能測(cè)試。
2、應(yīng)用實(shí)例
- 汽車(chē)制造：在汽車(chē)工裝檢測(cè)中，如某型號(hào)汽車(chē)總拼工裝定位銷(xiāo)位置檢測(cè)。
- 儀器的分辨率有多高：儀器X軸和Z軸方向的分辨率一般可達(dá)0.01μm，高分辨率可保證測(cè)量微小輪廓變化和粗糙度細(xì)節(jié)的準(zhǔn)確性。
通過(guò)輪廓儀測(cè)量分析滾子素線和凸度，操作簡(jiǎn)單，軟件自動(dòng)處理分析數(shù)據(jù)，快捷高效，已成為主流檢測(cè)手段。
輪廓儀在軸承應(yīng)用非常廣泛，除了測(cè)量滾子素線和凸度外，還可以測(cè)量滾子粗糙度以及內(nèi)外圈保持架相關(guān)尺寸和粗糙度，是軸承行業(yè)十分重要的量測(cè)儀器！
3.研究
測(cè)繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測(cè)量
利用VirtualLab軟件可對(duì)邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。
光學(xué) 3D 表面輪廓儀能夠精確測(cè)量芯片的微觀結(jié)構(gòu)，確保芯片的質(zhì)量和性能符合嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)；
在機(jī)械制造領(lǐng)域，它可以用于檢測(cè)零部件的表面質(zhì)量，為加工工藝的優(yōu)化提供依據(jù)；
例如，光學(xué) 3D 表面輪廓儀通過(guò)納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1nm級(jí)表面粗糙度測(cè)量，在光通信行業(yè)中輕松實(shí)現(xiàn)針對(duì)光纖端面粗糙度的測(cè)量
最初使用白光干涉儀測(cè)量表面輪廓。然后進(jìn)行了金相學(xué)研究，揭示了橫向熔池剖面，并觀察了沿激光掃描方向的熔池形狀變化。另外，以熱流數(shù)值模型(FLOW-3D)進(jìn)行分析，以了解樣品不同區(qū)域熔池差異的機(jī)理。
研究結(jié)果表明，掃描長(zhǎng)度和掃描間距對(duì)熔池行為具有顯著影響。此外，第一層的表面輪廓會(huì)影響第二層的實(shí)際粉層厚度，并影響第二層的形貌。
