微納制造的案例
2024年-深圳國際納米材料及微納制造展會
◆重點邀請：電子通訊、航空航天、高低壓電器、電力、家電、電器制造商等渠道買家。
參展范圍：
納米新材料：納米碳納米材料（石墨烯、富勒烯、碳納米管），納米金屬及其氧化物材料（納米金、納米銀、納米氧化鋁、納米氧化鐵等），納米粉體材料，納米微球，納米涂層，納米陶瓷，納米復合材料，納米生物材料，納米光學材料，氮化鎵襯底材料等。
分析與檢測：光學顯微鏡，SPM，AFM，LSI測試探測器，超精確度測量儀器，設計工具，模擬，電子顯微鏡(SEM，TEM)，分子設計軟件，壓力平臺，探針，電爐，白光干涉儀，橢偏儀，ZETA電位分析，實驗室粉體制備與檢測儀器（激光粒度儀，顆粒計數器等）。
微納制造：納米研磨設備(干濕法研磨、臥式砂磨機、珠式砂磨機、三棍研磨機），納米微粒混合物，分散技術，薄膜制造技術，蝕刻，離子束激光處理器，電子束處理，填裝充電處理，微電路制造，超精度表面加工技術，融合接合技術，下一代光刻技術，納米壓印技術，飛秒激光曝光設備，MEMS、噴墨機，NEMS，傳感器，納米電子，光電，射流，模型，WCM。
納米防疫展區：納米生物與醫藥、生物傳感器，納米生物材料，靶向藥物釋放，熒光標記、納米診斷試劑、納米診斷設備、納米醫藥，納米抗菌與消毒、RNA、納米探針、人工心臟等。
納米環保清潔：光觸媒、納米抗菌消毒、HVAC系統、凈化設備、納米空氣凈化與水處理技術、空氣凈化器、空氣過濾器、水處理探測與處理設備、新型環境治理技術、PM2.5預防設備和耗材等。
石墨烯薄膜、氧化石墨烯溶液、石墨烯粉體設備、石墨烯薄膜生長CVD設備等。
展開 測量結構深、角度大、反射差？?用共聚焦顯微鏡就對啦！
隨著超精密加工技術的不斷進步，各種微納結構元件廣泛應用于超材料、微電子、航空航天、環境能源、生物技術等領域。其中超精密3D顯微測量技術是提升微納制造技術發展水平的關鍵，中圖儀器自主研發的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術，廣泛應用于涉足超精密加工領域的三維形貌檢測與表面質量檢測方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結構復雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構與檢測方面具有不俗的表現。
一、結構深、角度大
電子產品中一些光學薄膜表面存在一些特殊的微結構，這些結構表現為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測量此類結構時，由于形貌陡峭、角度大，無法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過窄而無法準確地解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀。
二、反射差、信號弱
碳纖維紙類的表面反射率低，結構復雜且呈立體狀。白光干涉儀因其對樣品表面反射形成的干涉條紋光信號對比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大，導致部分位置因反射率低形成的干涉條紋對比度較低甚至無法形成干涉條紋，從而難以解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現出其對弱光信號解析能力優勢，對樣件表面的低反射率特性適應能力更強。
中圖儀器以其自主研發的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構成光學3D顯微測量領域的姊妹雙姝，為國內超精密加工與微納制造領域提供專業的3D顯微形貌檢測方案。
展開 微納3D打印有望實現突破
增材制造新項目正式啟動微納3D打印有望實現突破作為前沿技術之一，3D打印的發展狀況受到了我國有關部門的高度重視。為支持3D打印產業的發展，讓3D打印在經濟建設過程中發揮出應有的作用，我國先后出臺了《“十三五”國家戰略性新興產業發展規劃》、《增材制造產業發展行動計劃(2017-2020年)》等多項政策。
兩年，在政策引導和業界人士的共同推動下，我國3D打印產業進入了快速發展時期。11月3日，國家重點研發計劃——《微納結構增材制造工藝與裝備》項目啟動會隆重召開。在業界人士的見證下，《微納結構增材制造工藝與裝備》項目正式啟動?！?em>微納結構增材制造工藝與裝備》項目正式啟動的消息一經傳出，就引發了業界人士的熱烈討論。一些業內人士表示，微納3D打印在最近幾年已經受到了社會各界的高度關注，該項目的啟動對于微納3D打印的應用及推廣具有重要意義。
從總體來看，3D打印主要有兩個不同的發展方向。一個是宏觀方面的，即大尺寸的3D打印技術；另一個是微觀方面的，即能夠制造出精密結構的3D打印技術，這種技術被研究人員稱為微納3D打印。在宏觀應用方面，3D打印已經應用于汽車零部件、航空航天、醫療器械、建筑、陶瓷潔具、動漫手辦等諸多領域。與傳統方式相比，3D打印在大尺寸產品制造過程中具有獨特的優勢。其中，在飛機零部件、汽車發動機等形狀復雜的零部件制造方面，3D打印可以最大限度的還原出設計對象的面貌，讓產品更加逼真和生動。
在微觀應用方面，3D打印可以用于可穿戴設備、生物醫療、生物科技、微電子等領域。尤其值得注意的是，3D打印在光學、醫療、電子等行業微型精密器件制造方面具有極大的發展潛力。目前，社會公眾對于3D打印在宏觀方面的應用較為熟悉、認知較為深刻，對于其在微觀方面的認識還不夠全面。
展開 光刻技術第7期 | 二維與三維矢量成像模型對比-零波像差雙遠心成像
多領域跨場景拓展應用
拓展模型至微納光學制造領域，為雙遠心光刻制備微透鏡陣列、全息元件等三維微結構提供理論支撐。面向生物芯片三維光刻場景，開發生物相容性材料適配的三維矢量模型，解決細胞載體三維圖形的高精度成型問題。探索模型在量子芯片三維量子點陣列光刻中的應用，實現亞納米級三維定位精度的預測與優化。
大連理工大學機械工程學院采購數巧云端CAE
該學院在高性能制造、精密和超精密加工、微納制造、智能機電、重大裝備設計等研究領域具有鮮明特色。學院科研基礎雄厚，擁有一批高水平的科研平臺，承擔了一大批國家級科研任務。
大連理工大學機械工程學院宋學官教授團隊已在科研工作中使用Simright Simulator軟件進行各類結構的仿真分析，并對軟件給予了高度評價。
大工機械學院宋學官教授團隊使用Simulator軟件
Simright Simulator是一款通過Web瀏覽器在線使用的結構仿真分析軟件。 Simright Simulator簡潔易用，用戶上傳CAD模型后，經過簡單的設置便可提交仿真分析，并實現云端求解與數據存檔。目前已支持線性/非線性的靜力分析，支持線彈性、彈塑性、超彈等材料本構并內置常見工程材料庫，支持常見的荷載類型，支持面面接觸、綁定接觸與螺栓連接，支持設置網格剖分尺寸與階次，并提供豐富的后處理可視化功能，可滿足高校在結構仿真方面教學與科研的需求。
Simulator 產品展示
目前，國內高校和科研機構使用的軟件基本被歐美國家的軟件所壟斷，而美國針對我國高校和科研機構實施的“軟件禁用”的制裁已屢見不鮮。數巧科技提供的國產云端CAE軟件，為廣大高校用戶的教學和科研提供了國產的替代產品，并憑借其特有云化優勢和按需訂閱的SaaS化應用模式，為用戶大大降低了軟硬件應用成本，得到了用戶的廣泛歡迎和高度認可。目前，除大連理工外，浙江臺州學院、新疆石河子大學等高?？蒲性核c數巧科技建立了合作。
未來，數巧科技將充分發揮國產云端CAE軟件的技術優勢與行業經驗，在教育領域縱深發展，繼續加大研發力度和資源投入，為高校科研項目和人才培養計劃賦能，為解決行業人才困境，突破產業生態鏈瓶頸做出積極的貢獻。
展開 光刻技術第9期 | 二維與三維矢量成像模型對比-含相差物鏡的應用
01/簡介
零波像差雙遠心物鏡以“視場全域波前畸變趨近于零、物像比例恒定”的特性，成為3D NAND、精密微納制造等場景的核心光學器件，但其對成像模型的維度適配性提出嚴苛要求。
二維矢量成像模型雖能滿足平面圖形的偏振態表征需求，卻因忽略深度方向光場耦合與厚掩模衍射效應，無法適配三維堆疊圖形的成像預測。三維矢量成像模型通過全空間矢量光場建模，可精準捕捉雙遠心光路下三維偏振演化與深度衍射規律，成為破解該瓶頸的關鍵。本文以零波像差雙遠心成像為視角，對比二維與三維矢量模型的適配性差異，重點聚焦三維模型的應用機理，為先進三維制程光刻精度提升提供理論支撐。
02/三維矢量成像模型在含相差物鏡中的應用
含像差物鏡下的模型差異
仿真條件與結果對比：
考慮投影物鏡F1視場點的波像差和偏振像差，對比二維與三維矢量成像模型的空間像相對強度分布差異，結果均為10-2量級。
投影物鏡示意圖
投影物鏡F1視場點波像差數據
仿真條件一（45nm線寬一維PSM掩模、X偏振照明）：最大絕對差值1.3x10-2、平均絕對值差8.4x10-3、差值均方根9.4x10-3。
二維和三維矢量成像模型仿真結果的差異
仿真條件二（接觸孔掩模、Y偏振照明）：最大絕對差值5.0x10-2、平均絕對值差2.8x10-2、差值均方根3.2x10-2。
二維和三維矢量成像模型仿真結果的差異
結論：在成像物鏡為存在像差的非理想系統時，三維矢量成像模型較二維矢量成像模型預測成像特性更精確。
展開 廈大侯旭教授團隊《Adv. Mater.》：基于液體門控技術的新型磁彈性膜實現自驅動氣/液釋放調控
課題組目前開展的研究工作包括：膠體與界面化學，仿生/智能多尺度孔道系統，膜科學與技術，微流體，納流離子學，界面科學，物理化學，電化學和用于節能和生物醫學應用的微納制造。團隊常年招收優秀教師、本科生、研究生和博士后，聯系方式：houxugroup@163.com。
浙江大學劉平偉《自然·材料》：規?；兄萍毎笮〉哪z體機器人
利用自動打孔技術這種新的微納加工技術，研究人員可將原子般薄的表面裁剪成所需的形狀，并包裹不同的微納材料，以便應用到不同的學科和領域?？傊?，自動打孔技術也提供了一種全新的在微粒尺度內集成不同微納電子器件的方法，有望用來大批量生產具有更復雜功能的微型自驅動的膠體機器人。
劉平偉介紹細胞大小的智能機器人具有很大的應用潛力，如將其分散、流動到傳統電子器件難以進入的封閉環境中，如石油、天然氣管道或人體的胃腸道以及血管中等，去采集、記錄和發送相應環境的信息。
新加坡南洋理工大學科研人員在同期的雜志上專門撰寫了點評文章，認為該研究提供了一種全新的微納制造技術，為二維材料和微納米顆粒的可控復合及表面功能性集成提供了新的思路。
劉平偉的這項研究從2015年開始，持續三年。論文第一作者為劉平偉研究員，美國麻省理工學院Michael Strano教授是該論文的通訊作者。該工作后期得到了浙江大學“百人計劃”啟動基金等項目的支持。（本文圖片由課題組提供，文 柯溢能）
論文鏈接：
https://www.nature.com/articles/s41563-018-0197-z
展開 超薄高效散熱和液膜蒸發領域最新研究進展
針對均熱板內部的毛細蒸發過程，鐘敏霖教授團隊利用激光方法在銅片上制備出具有三級毛細路徑的超吸液復合微納結構表面，克服了薄液膜與低流速之間的固有矛盾，實現了連續可控的大面積3D薄液膜蒸發，大大提高了表面蒸發效率。該蒸發器實現了一個太陽光直射下3.33 kg·m-2·h-1的雙面光熱水蒸發效率，同時展現了優異的電熱蒸發效率和蒸發冷卻性能。該蒸發表面制備過程相對簡單可控、重復性高、可工程化批量制備，能夠集成到多種能源系統上實現多場景蒸發功能，具有廣泛的應用潛力。
02
成果掠影
近日，清華大學材料學院鐘敏霖教授課題組利用激光微納制造方法，制備出具有高光熱蒸發效率的高效薄液膜蒸發表面，并進一步提出復合構型超薄吸液芯結構，實現目前國際最薄之一（0.22mm）的智能手機高效散熱超薄均熱板（VC）的全激光制備。隨著5G智能手機厚度的不斷減少，均熱板厚度和內部空間也不斷壓縮。理論計算表明，當均熱板內空腔厚度降低到0.3mm時，氣液傳輸阻力將顯著增加，超薄均熱板（VC）的傳熱性能極度劣化，因此，制備散熱性能良好的0.3mm均熱板面臨很大的技術挑戰。
鐘敏霖教授團隊提出了蒸發區、輸運區與冷凝區的分區微納結構設計與配合方案，研發出全激光制備超薄均熱板的新方法，用激光技術制備出復合構型超薄吸液芯，實現了毛細蒸發性能與氣液輸運效率的同時最優化，在均熱板整體厚度僅0.22mm的情況下實現了12032 W/(m?K)的高等效熱導率，為0.3mm以下極薄均熱板的內部結構設計與大規模工程制備提供了全新思路。該團隊在國際上首次運用全激光方法制備的0.22mm的極薄均熱板也是目前已知最薄的高效散熱均熱板（VC）之一。
展開 關于舉辦“2014（第二屆）先進制造業大會”的通知
具體議題如下：
1、新時期、新形勢下先進制造業的發展趨勢與機遇
2、傳統產業轉型升級促進戰略新興產業集群
3、中國（上海）自由貿易試驗區對先進制造業的影響
4、國外現代服務業與先進制造業融合發展的現狀、模式和趨勢
5、精益管理改善制造業生產模式
6、汽車、航空與船舶生產中的材料與生產工藝變革
7、生物制造的研究內容與發展趨勢
8、數字制造技術結合機器人與機床實現高效生產
9、3D打印與高端醫療裝備產業
10、智能制造裝備產業發展趨勢及前景分析
11、工業機器人在焊接領域的應用前景與趨勢分析
12、3D打印技術在汽車制造領域的應用
13、微納制造技術的發展現狀與發展趨勢
14汽車整車裝配智能化技術展望
15、高端裝備制造與航空發動機關鍵件生產線
五、參展范圍：
1、國家先進制造技術成果、科技創新型企業成果、高校及科研機構研究成果、個人技術創新成果;
2、3D打印機、快速成型機、三維激光掃描、三維測量儀等；三維設計系統、三維攝影測量系統、檢測與逆向工程軟件等；光敏樹脂、塑料粉末材料、金屬粉末材料等;
3、工業機器人本體、應用產品與解決方案、開發平臺與軟件、功能部件及零部件、動小車及有軌小車等;
4、汽車制造、航空制造、軌道交通裝備制造、海洋工程裝備等應用領域的先進制造技術與裝備;
5、先進生產管理軟件與系統、一站式解決方案等;
6、仿生制造、生物質和生物體制造技術、納米加工制造技術等新型制造技術;
7、數控機床、數控系統、滾動功能部件、檢測儀器、切削刀具系統、涂附磨具、超硬材料等；高速切削技術、復合加工技術、智能制造技術、綠色制造技術及專用制造設備等;
8、特種金屬功能材料、高端金屬結構材料、先進功能高分子材料、新型無機非金屬材料、高性能復合材料等;
9、代理商、經銷商、分銷商等;
10、
展開 Light | 復消色差X射線聚焦
然而，囿于制造技術水平的限制，這種解決方案的設計僅限于理論階段。
近年來，微納制造技術快速發展，基于雙光子聚合的3D打印技術日趨成熟，使適用于該系統的高數值孔徑的復合折射透鏡的制造成為可能。
近日，瑞士保羅謝爾研究所的Umut T. Sanli、齊鵬，巴塞爾大學的Griffin Rodgers和德國電子同步加速器研究所（DESY）的Jan Garrevoet等研究人員以 “Apochromatic X-ray focusing（復消色差X射線聚焦）”為題在Light: Science & Applications發表研究論文。
消色差(achromatic)透鏡由具有不同色散能力的兩個透鏡組成，可將兩個不同波長的光聚焦到同一點，從而在一定波長范圍內達到消色差效果。
復消色差(apochromatic) 透鏡可以認為是消色差透鏡的改進版，色偏移曲線是三次方程，可將三個不同波長的光聚焦到一點，使消色差的波長范圍提升數倍，見圖1。
圖1：X射線復消色差聚焦原理：折射透鏡和菲涅爾波帶片以特定間隔前后放置，色差相互糾正，三種不同的能量/波長的X射線可同時聚焦于點F。
在可見光領域，消色差和復消色差透鏡存在已有百年之久。而在X射線領域，直到2022年世界上首個消色差透鏡才剛剛問世。本文報道了該研究團隊在消色差透鏡的工作基礎上，使用滿足特殊條件的菲涅爾波帶片 (FZP) 和復合折射透鏡 (CRL)，成功研制的世界上首個X射線復消色差透鏡系統。
展開 
研究人員使用單個AlGaN緩沖層開發出硅基綠色InGaN LED，內部量子效率提高了78%
盡管沒有具體提供該器件的電致發光結果，但這里提到的IQE的大幅度提升非常引人注意，因為它將能夠助力更低功耗綠色和紅色Micro-LED的制造和商業化。
如業內所熟知，直接在硅基板上制造藍色LED有很多問題，所以通常需要使用AlN成核層和一些分級AlGaN緩沖層來橋接硅和GaN之間的非常大的熱膨脹失配。不過即使這樣，隨著溫度從工藝所需高溫冷卻到室溫時，在上述緩沖結構上生長的GaN層往往還是會留下一些殘余應力，這一應力殘余最終會阻礙銦元素摻入用于發射可見光的后續InGaN層。另一方面，對于更長的綠色和紅色光而言，起發光作用的InGaN層中需要的銦元素要比藍色光更多。
在此背景下，來自中國科學技術大學、蘇州納米技術與納米離子研究所、廣東半導體微納制造技術研究所和蘇州樂金光電技術有限公司的合作團隊給出了新的方案。對此，他們解釋道：“我們的研究成果表明，GaN-on-Si器件制造過程中合適的應力管理，對于基于硅基晶圓制造InGaN長波長Micro-LED甚至全彩色微型顯示器至關重要。
除了硅之外，市場上還有很多其他基板材料可用于制造LED芯片，但通常這些基板的尺寸都比較小，且價格昂貴，不利于批量低成本制造生產。相比較而言，硅基板的優勢巨大，它不僅具有較大的直徑尺寸，能夠實現低成本的大規模生產，而且還能夠更好的和驅動背板實現集成，因為目前絕大多數驅動系統都基于硅電子技術實現的。硅基驅動和發光元件的單片集成可以進一步降低電子系統的復雜性和成本。
如下圖1所示，本研究所用外延材料是通過使用金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）技術在硅基板上生長的。研究人員對比處理了兩種不同設計的樣品，一個在AlN上使用傳統的階梯式AlGaN緩沖層，另一個在n-GaN接觸/緩沖/模板層之前僅使用一個AlN緩沖層。
圖1.
展開 氮化硼在電子工程，冶金及激光技術中的應用
這種加工方式具有高精度、高效率和高柔性的特點，在微納制造、集成電路制造等領域有廣泛應用。
2. 激光雷達：氮化硼可以作為激光雷達的介質材料，用于目標探測、距離測量和速度測量等應用。由于其高透過率和穩定性，氮化硼能夠有效地傳遞激光信號，提高雷達系統的精度和可靠性。
3. 激光光譜學：氮化硼在激光光譜學中可以作為樣品池材料，用于檢測和分析物質的吸收光譜、發射光譜等特性。由于其化學穩定性和熱穩定性，氮化硼能夠保護樣品免受激光輻射的損傷，提高光譜測量的準確性和可靠性。
4. 激光顯示：在激光顯示領域，氮化硼可以作為藍光轉換材料，通過吸收藍光激光束并將其轉換成所需的波長，實現高色域和高亮度的顯示效果。這種顯示技術具有高清晰度、高亮度和低能耗等優點，在投影顯示、顯示器制造等領域有廣泛應用。
展開 機械與運載工程領域顛覆性技術
MEMS以微納尺度理論為支撐，通過微納制造及工藝，融入微機械、微電子、微光學、微能源、微流動等各種技術，具有微感知、微處理、微控制、微傳輸、微對抗等功能，并通過功能模塊的集成，實現單一或多類用途的綜合性前沿技術。
MEMS 是近年興起的高新技術，具有多學科交叉特征，應用領域廣泛，持續不斷發展對我國保持技術領先優勢意義重大。
另外，在高端數控機床、先進成形裝備、關鍵機械基礎件、3D 打印、機器人等技術領域存在疑似顛覆性技術。
2.航空航天運載領域
根據近期航空航天領域技術發展狀況、基礎學科技術突破情況等，按照能源動力技術、航空器技術、航天器技術三個技術分類篩選出已有和疑似顛覆性技術。
能源動力技術領域包括：垂直起降發動機、超燃沖壓發動機、太陽能飛機、全電飛機。
超燃沖壓發動機技術
高超聲速飛行器“是人類在發明飛機、突破音障、進入太空之后又一項具有跨時代意義的里程碑，是未來航空航天領域的另一發展方向”。高超聲速飛行器在進行超過5Ma飛行時，需要應用超燃沖壓發動機來完成工作。超燃沖壓發動機技術作為高超聲速飛行器技術的核心關鍵技術，將推動吸氣式噴氣發動機的進一步突破。
航空器技術領域包括：超聲速客機、無人智能化、航空母機、超長航時無人機、仿生智能集群技術。
仿生智能集群技術
仿生智能集群技術基于仿生微型飛行器和智能集群技術。研制仿生飛行器，將會突破目前大型航空飛行器設計過程中固化的設計理念和技術限制，微小型飛行器將具備極佳的隱蔽性和在狹小空間的飛行能力。協同集群技術的發展能夠克服單個微型飛行器能力不足的缺陷，將顛覆傳統單一飛行器的作戰模式，產生重大軍事變革。
航天器技術領域包括：可重復使用火箭、大型火箭、星際高速飛行器。
可重復使用航天運載技術
可重復使用航天運載技術基于可重復使用運載器。
展開 仿真研究推進納米光刻工藝的升級，助力計算機芯片制造
如今，納米技術的應用已經深入人們的日常生活，我們平時使用的計算機芯片以及各種電子產品的制造都離不開納米技術。
納米光刻技術
納米光刻技術是一種利用光刻手段在物體上制作納米量級圖形的加工方法，目前是集成電路制造領域的主流納米加工技術。雖然傳統的光刻工藝可以滿足一定的生產需求，但它卻存在著諸多局限性：首先，光學衍射效應會降低分辨率，在一定程度上影響產品的質量；其次，較低的生產效率和高昂的生產成本也是制約相關產業發展的重要因素。
清華大學摩擦學國家重點實驗室（以下簡稱“摩擦實驗室”）是清華大學首批建成的國家重點實驗室之一，主要從事摩擦學理論與技術、機械表面科學與性能控制、生物摩擦學與生物機械、微納制造理論與技術等方面的研究。目前，摩擦實驗室的研究人員正在借助仿真手段探索一種低成本、高效率的新型納米光刻工藝。
旋轉式近場光刻技術
在光學領域，由于衍射現象的存在，傳統的光學系統很難突破半波長的成像分辨率。近年來，為突破這一限制，研究人員利用表面等離子共振能夠產生場強熱點（hotspot）的現象，研發出了等離子體透鏡，以實現超高分辨率聚焦。然而，這種超高分辨率成像和聚焦方法的工作距離很短，僅適用于介質表面，因此在實際應用中很難控制。為了能夠穩定控制透鏡及聚焦點，摩擦實驗室的研究人員基于硬盤驅動器的飛行原理和近場光學理論，提出了一種名為旋轉式近場光刻技術的新型光刻工藝。
硬盤在運行時，磁頭滑塊會在盤片表面穩定飛行，其飛行高度的高低取決于盤片的旋轉速度和磁頭滑塊的形狀。通過將表面等離子體透鏡集成在磁頭滑塊表面、并將超高分辨率的光刻膠涂于盤片表面，當磁頭在盤片表面穩定飛行時，表面等離子體透鏡即可對光刻膠進行曝光。由于表面等離子體透鏡具有優異的聚光效應，因此能夠形成突破衍射極限的近場光斑，進而實現高分辨率、快速、無掩膜的納米光刻加工。
展開 