MEMS（微電子機械系統）的案例
基于MEMS技術的新一代航空電子系統的實現
為了進一步增強性能，iSensor MEMS子系統在部署時針對每一條測量軸均采用多個（四通道諧振器）傳感器，其中兩個傳感器根據第二對傳感器進行機械重定向，從而提供一階系統性普通非旋轉信號的消除能力和靈敏度（熱、電和殘留加速度靈敏度）。 為了保留內核傳感器元件和子系統設計所實現的高性能，該器件以較高的數據速率進行數據處理（充分過采樣）。
這些器件的特性開發借鑒了多年的傳感器、信號處理和應用經驗，可滿足器件在惡劣的航空電子、汽車和軍事環境下的耐用性與性能要求。 目前內核傳感器為第三代，產品出貨量已超過1000萬片，用于高度可靠的高性能終端應用。
ADIS16485內核傳感器處理元件將獲得DO178/254 DAL-B認證。硬件與軟件均遵循嚴格的規范、設計、驗證和認證流程，這些均嚴格管理并處于配置控制之下。 ADI的內核慣性檢測技術量產已有三十年，而根據目前和未來的航空電子、國防以及工業應用等領域的設計需要，其ADIS1648X IMU系列預計產品生命周期將遠在2030年之后。 同時，ADI進一步完善其性能領先的SWAP和具有成本優勢的MEMS技術，將應用范圍擴大到光纖和傳統軍事慣性檢測領域。
展開 AR｜英飛凌推出MEMS光學模組！可深度應用于AR領域
來源 ：新浪VR
8月9日，來自德國的半導體解決方案供應商英飛凌科技公司發布了其最新MEMS（微電子機械系統），它包括一個MEMS鏡子和MEMS驅動器。公司發言人表示，該產品的微型尺寸和低功耗將構成使增強現實（AR）解決方案更廣泛地用于消費類應用的基礎，如可穿戴設備和汽車平視顯示器，并將允許進行全新的產品設計。
英飛凌汽車MEMS產品線負責人Charles Chan表示：“增強現實（AR）解決方案用有價值的數據豐富了現實環境，幫助人們在日常生活中更方便、更安全地移動。它也能被用于商業和休閑活動，特別是在街上——投射在日常眼鏡上的地圖、信息娛樂或信息引導人們去最近的超市或拐角處的共享停車場。在汽車領域，它能將有價值的信息，從路線導航到駕駛輔助系統，疊加在汽車的整個擋風玻璃上，而不是僅僅疊加在駕駛員面前的一小塊區域，是提高駕駛安全性和便利性的重要一步。”
對于用戶基數更大的AR眼鏡領域，英飛凌表示，其MEMS掃描器芯片組將使AR微型投影儀的設計成為可能，這種投影儀重量輕，可以美觀地集成到全天佩戴的眼鏡和運動眼鏡中。由于該芯片組的低功耗，小型電池可以很容易地集成到眼鏡框中，使其可以方便地全天佩戴，而不需要經常給電池充電。
展開 機械強國搶高點 德國微電子布局未來
德國制造業的優勢給德國微電子發展提供很多有利的因素，規劃中的諸多細節明顯的借助了德國強大的汽車工業（寶馬、奔馳、大眾）、電子制造（西門子、倍福）、芯片制造（英飛凌，全球半導體排名11）、MEMS傳感器（博世），希望在汽車工業、醫療電子、工業4.0和微電子集成系統等方面做到持續性的創新領先。
德國框架計劃
在德國的規劃中，除了技術上有明確的方向，在實施的具體措施方面也提出了幾個設想。
1.增加國家的經費，經由德國科學基金會的參與，希望籌措到4億歐元的規模。
德國聯邦政府通過新的高科技戰略，已經為自己設定好目標——與工業界和研究界合作，發揮和強化微電子技術的潛力。相關科研經費的重點目標領域，既包括德國和歐洲的社會需求和技術目標，也包括微電子技術及其應用的全球發展。
這方面的措施范圍很廣，從通過多種形式的研討會開展討論（如未來的微電子制造技術），到與專家就個別議題進行討論。特別是，在機械及工廠工程領域的利益相關者參與下，討論了工業4.0中電子和傳感器系統的研究需求。對正在開展的研究項目進行持續分析（如電力電子技術）是聯邦教育和研究部制定戰略的額外因素。例如，在德國科學基金會參與的專家討論中，聯邦教育和研究部已經討論了一維電子技術（它為電子和傳感器系統提供了創新潛力）未來的前景和研究計劃。
展開 關于對自動駕駛傳感器的理解
其中除了發射和接收光學鏡頭外，都是電子部件。隨著半導體技術的快速演進，性能逐步提升的同時成本迅速降低。但是光學組件和旋轉機械則占據了激光雷達的大部分成本。
按驅動形式分，可分為機械式，MEMS，相控陣，泛光面陣式（FLASH）。
激光通過測定傳感器發射器與目標物體之間的傳播距離（Timeof Flight TOF），分析目標物體表面的反射能量大小、反射波譜的幅度、頻率和相位等信息，從而呈現出目標物精確的三維結構信息。TOF激光雷達也類似有毫米波雷達的工作方式，分dTOF和iTOF。一般使用直接脈沖的方式進行dTOF測量。目前主要使用波長為905nm和1550nm的激光發射器，波長為1550nm的光線不容易在人眼液體中傳輸。故1550nm可在保證安全的前提下大大提高發射功率。大功率能得到更遠的探測距離，長波長也能提高抗干擾能力。
激光雷達的結構分為機械式、MEMES、相控陣OPA。其中機械式以Velodyne在2007年推出的64線雷達為例。它把64個激光器垂直堆疊在一起，以20rpm速度旋轉。簡單理解就是通過旋轉將激光點變成線，通過64線堆疊將線轉化為面，得到點云數據獲取3D環境信息。
機械式結構需要復雜的機械結構，同時點云的測量又需要對安裝進行精確定位。考慮環境和老化的影響，平均的失效時間僅1000-3000小時，難以達到車廠最低13000小時的要求。且由于LiDAR安裝在車頂，民用領域需考慮外界養護的問題，如洗車的影響。因此機械式結構極大的限制了成本和應用推廣。
MEMS式利用微電子機械系統的技術驅動旋鏡，反射激光束指向不同方向。
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