(a)基于光固化成型的3D打印設備及第一個3D打印物體;(b)微 齒輪結(jié)構(gòu)及1.2μm 特征結(jié)構(gòu);(c)微轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)及線寬為0.43μm 的納米線;(d)木堆結(jié)構(gòu)及線寬為85nm 的 納米線;I螺旋光子晶體結(jié)構(gòu)及直徑為190nm 的納米點;(f)木堆光子晶體、籠結(jié)構(gòu)及直徑為85nm 的納米點 陣;(g)螺旋光子晶體及線寬為0.6μm 的納米線;(h)高精度投影光刻裝置及光刻的180nm 特征結(jié)構(gòu)微立體光刻目前能達到的分辨率在微米尺度