摘要

 

雙螺旋(DH) PSF工程在縱向上為三維成像提供了高分辨率，它可以通過在光瞳平面上增加一個帶有漩渦的相位掩膜來產生[Ginni Grover等，Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一種快速方便的方法來計算高NA顯微鏡系統小離焦的DH PSFs。這個用例說明了DH-PSFs在離焦約130nm時有明顯的變化。

 

建模任務

 

在VirtualLab Fusion中構建系統

 

系統構建塊

 

元件解算器

 

利用光線追跡進行幾何光學仿真

 

結果：幾何光線追跡

 

利用場追跡進行物理光學仿真

 

不同離焦像面的雙螺旋PSF

 

文件信息

 

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