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摘要：為了快速、直觀地檢測(cè)出周期性結(jié)構(gòu)的微小偏移，提出了基于４ｆ光學(xué)系統(tǒng)的周期性結(jié)構(gòu)微小偏移檢測(cè)方法。 首先使用ＶｉｒｔｕａｌＬａｂ Ｆｕｓｉｏｎ 光學(xué)仿真軟件進(jìn)行理論研究，建立預(yù)設(shè)偏移的周期性微結(jié)構(gòu)模型，構(gòu)造了光學(xué)傳遞函數(shù)，利用４ｆ空間濾波方法，獲得與周期性微結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的像面幅值圖。

關(guān)鍵詞：位移檢測(cè)；４ｆ光學(xué)系統(tǒng)；光強(qiáng)分布；ＶｉｒｔｕａｌＬａｂ Ｆｕｓｉｏｎ 摘要：為了快速、直觀地檢測(cè)出周期性結(jié)構(gòu)的微小偏移，提出了基于４ｆ光學(xué)系統(tǒng)的周期性結(jié)構(gòu)微小偏移檢測(cè)方法。

任務(wù)描述微結(jié)構(gòu)晶圓通過在堆棧中定義適當(dāng)形狀的表面和介質(zhì)來模擬諸如在晶片上使用的周期性結(jié)構(gòu)的柵格結(jié)構(gòu)。然后，該堆?？梢詫?dǎo)入到各種不同的組件中，具體取決于預(yù)期用途。在這種情況下，我們將堆棧加載到一般光學(xué)設(shè)置中的一個(gè)光柵組件中，以便模擬整個(gè)系統(tǒng)。

任務(wù)描述微結(jié)構(gòu)晶圓通過在堆棧中定義適當(dāng)形狀的表面和介質(zhì)來模擬諸如在晶片上使用的周期性結(jié)構(gòu)的柵格結(jié)構(gòu)。然后，該堆?？梢詫?dǎo)入到各種不同的組件中，具體取決于預(yù)期用途。在這種情況下，我們將堆棧加載到一般光學(xué)設(shè)置中的一個(gè)光柵組件中，以便模擬整個(gè)系統(tǒng)。

衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)與優(yōu)化 3. 周期性微納結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)4.超表面微納結(jié)構(gòu) 下午 2. 衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)與優(yōu)化3. 周期性微納結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì) 5. 微納加工工藝方案6.

利用FP腔研究鈉原子D線光譜 光學(xué)相干層析掃描系統(tǒng) Inces - Gaussian光束產(chǎn)生渦旋陣列激光光束的觀測(cè) 利用剪切干涉法的準(zhǔn)直測(cè)量 基于菲索干涉儀的面型檢測(cè) Mirau干涉儀 基于零位檢測(cè)的CGH設(shè)計(jì)4微觀與宏觀結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真 結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng) 用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng) 摩爾紋的仿真

摘要 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 1.

系統(tǒng)中可以包含光柵，全息光學(xué)元件以及衍射透鏡。1)衍射透鏡2)高級(jí)PSF/MTF3)鬼像4)包含光柵的成像系統(tǒng) 基于高NA物鏡對(duì)微結(jié)構(gòu)晶圓進(jìn)行成像檢測(cè)5.激光物理/激光系統(tǒng)高速物理光學(xué)可以有效地實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光源、衍射、干涉、偏振的建模，并且可以使用任意感興趣的光束參數(shù)。

4先進(jìn)顯微鏡系統(tǒng)的物理光學(xué)級(jí)仿真 顯微鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 通過瑞利判據(jù)對(duì)顯微鏡物鏡進(jìn)行分辨率研究 熒光顯微鏡的彩色效應(yīng)分析 高NA傅里葉顯微鏡單分子成像 高NA顯微鏡系統(tǒng)分析偶極子源的PSF 顯微鏡系統(tǒng)中來自光圈的衍射5光學(xué)系統(tǒng)的公差分析 考慮加工公差下的傾斜光柵魯棒性優(yōu)化 鏡頭粗糙度對(duì)PSF的影響 衍射光學(xué)元件的加工圓角和高度公差分析

圖4.對(duì)于100μm周期性結(jié)構(gòu)的1×2分束器，輸入光束直徑0.4mm，當(dāng)輸入分別是一個(gè)800nm高斯脈沖（a），一個(gè)100 fs USP（b）和一個(gè)5 fs USP（c）時(shí)，輸出都不同；同樣，對(duì)于一個(gè)78.25μm周期性結(jié)構(gòu)的3×3多點(diǎn)DOE，輸入光束直徑5mm，當(dāng)輸入分別是高斯（d），100 fs USP（e），5 fs USP（f），輸出結(jié)果如圖所示。

摘要 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。1.

? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型 ? 計(jì)算之前修改高級(jí)選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 ? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。

鑒于每個(gè)超元胞（meta-atom）都被相鄰的超元胞所包圍，因此矩陣分析并非針對(duì)單個(gè)孤立的超元胞進(jìn)行，而是基于周期性重復(fù)的超元胞進(jìn)行分析。這種周期性重復(fù)形成了一個(gè)亞波長(zhǎng)光柵，其中超元胞作為周期單元用于分析。

晶圓檢測(cè)系統(tǒng) 晶圓雙面光柵圖案的成像分析 共聚焦顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)6超表面微納結(jié)構(gòu) 超構(gòu)表面偏振/波長(zhǎng)/角度響應(yīng)分析 超光柵的構(gòu)建 基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的超構(gòu)透鏡設(shè)計(jì) 設(shè)計(jì)和分析超透鏡 基于超構(gòu)透鏡（PCA）實(shí)現(xiàn)聚焦與成像

? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型 ? 計(jì)算之前修改高級(jí)選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 ? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。

從理論到仿真的全流程超細(xì)內(nèi)窺鏡光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)精度要求極高，任何微小的參數(shù)偏差都可能導(dǎo)致系統(tǒng)失效。向陽教授團(tuán)隊(duì)借助Zemax軟件的強(qiáng)大功能，完成了從初始結(jié)構(gòu)搭建、像差優(yōu)化到性能驗(yàn)證的全流程仿真設(shè)計(jì)，確保了方案的可行性與先進(jìn)性。

圖4.對(duì)于100μm周期性結(jié)構(gòu)的1×2分束器，輸入光束直徑0.4mm，當(dāng)輸入分別是一個(gè)800nm高斯脈沖（a），一個(gè)100 fs USP（b）和一個(gè)5 fs USP（c）時(shí)，輸出都不同；同樣，對(duì)于一個(gè)78.25μm周期性結(jié)構(gòu)的3×3多點(diǎn)DOE，輸入光束直徑5mm，當(dāng)輸入分別是高斯（d），100 fs USP（e），5 fs USP（f），輸出結(jié)果如圖所示。

VirtualLab Fusion –光學(xué)系統(tǒng)的初始化 ? 初始系統(tǒng) - 通常， VirtualLab中定義的每個(gè)光學(xué)系統(tǒng)都可以使用optiSLang進(jìn)行優(yōu)化 - 在本例中，光學(xué)系統(tǒng)由平面波光源和用于周期性介質(zhì)的光導(dǎo)耦合探測(cè)器組成。 4.

?為了對(duì)結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行高精度檢查（通常用于半導(dǎo)體行業(yè)），可以使用基于干涉效應(yīng)的光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。對(duì)這些設(shè)置的完整模擬需要包括所有物理光學(xué)效應(yīng)，如結(jié)構(gòu)處的衍射、相干性以及在圖像平面上產(chǎn)生的干涉。為了幫助光學(xué)工程師完成這項(xiàng)任務(wù)，快速物理光學(xué)軟件VirtualLab Fusion提供了一系列工具，包括系統(tǒng)中的衍射和非序列建模。