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摘要：為了探究原子光刻中基片與會(huì)聚激光場(chǎng)間距對(duì)沉積納米光柵質(zhì)量的影響，我們基于VirtualLab Fusion平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了基片定位控制方案中光學(xué)系統(tǒng)的建模和仿真。

張寶武1，霍劍鋒1，饒鵬輝2，張明月1，劉媛媛1，余桂英1，王道檔1 （1.中國(guó)計(jì)量大學(xué)計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院，浙江 杭州310018； 2.訊技光電科技（上海）有限公司，上海200092） 摘要：為了探究原子光刻中基片與會(huì)聚激光場(chǎng)間距對(duì)沉積納米光柵質(zhì)量的影響，我們基于VirtualLab Fusion平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了基片定位控制方案中光學(xué)系統(tǒng)的建模和仿真。

張寶武1,2，霍劍鋒1，張明月1，劉媛媛1，余桂英1，姚蘆鷸1（1.中國(guó)計(jì)量大學(xué)計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院，浙江 杭州310018；2.比薩大學(xué)物理系，意大利 比薩56127）摘要：基于VirtualLab Fusion構(gòu)建了時(shí)域光學(xué)相干層析技術(shù)（ｔｉｍｅ　ｄｏｍａｉｎ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ　ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ，ＴＤＯＣＴ）光路系統(tǒng)，導(dǎo)入不同顆數(shù)發(fā)光二極管（ｌｉｇｈｔ　ｅｍｉｔｔｉｎｇ

張寶武1,2，霍劍鋒1，張明月1，劉媛媛1，余桂英1，姚蘆鷸1 （1.中國(guó)計(jì)量大學(xué)計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院，浙江 杭州310018；2.比薩大學(xué)物理系，意大利 比薩56127） 摘要：基于VirtualLab Fusion構(gòu)建了時(shí)域光學(xué)相干層析技術(shù)（ｔｉｍｅ　ｄｏｍａｉｎ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ　ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ，ＴＤＯＣＴ）光路系統(tǒng)，導(dǎo)入不同顆數(shù)發(fā)光二極管（ｌｉｇｈｔ

VirtualLab Fusion可以從Zemax OpticStudio?導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng)，包括完整3D位置信息和鏡片玻璃。導(dǎo)入后，光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)將顯示為單獨(dú)的表面或可以組合成VirtualLab Fusion中的組件。VirtualLab Fusion可以對(duì)導(dǎo)入的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行光線(xiàn)追跡仿真，更重要的是可以進(jìn)行場(chǎng)追跡以進(jìn)一步分析系統(tǒng)。

利用FP腔研究鈉原子D線(xiàn)光譜 光學(xué)相干層析掃描系統(tǒng) Inces - Gaussian光束產(chǎn)生渦旋陣列激光光束的觀測(cè) 利用剪切干涉法的準(zhǔn)直測(cè)量 基于菲索干涉儀的面型檢測(cè) Mirau干涉儀 基于零位檢測(cè)的CGH設(shè)計(jì)4微觀與宏觀結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真 結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng) 用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng) 摩爾紋的仿真

多元化光學(xué)仿真平臺(tái)的仿真原理VirtualLab Fusion 多元化光學(xué)仿真平臺(tái)的解決方案VirtualLab Fusion的用戶(hù)受益于其在不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用范圍內(nèi)的突破性技術(shù)，包括但不限于以下解決方案:?透鏡系統(tǒng)?激光系統(tǒng)和fs/as脈沖?光纖耦合?衍射光學(xué)?光柵& Metasurfaces?微透鏡陣列?擴(kuò)散片和DOEs?AR / VR /

課程大綱1VirtualLab Fusion軟件介紹 光之?dāng)?shù)字模型平臺(tái)原理介紹 VirtualLab Fusion用戶(hù)界面的基礎(chǔ)操作2衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)與優(yōu)化 VirtualLab Fusion自由空間傳播方法 迭代傅里葉變化及角譜方法 將高斯光整形成矩形平頂光束的設(shè)計(jì)優(yōu)化 衍射光學(xué)元件分束設(shè)計(jì)優(yōu)化 生成圖案的衍射擴(kuò)散器設(shè)計(jì)

前言在光學(xué)設(shè)計(jì)領(lǐng)域，鏡頭系統(tǒng)是核心研究對(duì)象，鏡頭相關(guān)設(shè)計(jì)與仿真在光學(xué)設(shè)計(jì)中占據(jù)著重要比重。傳統(tǒng)鏡頭分析多依托幾何鏡頭設(shè)計(jì)等專(zhuān)業(yè)工具，而在需要精細(xì)化衍射分析的實(shí)際場(chǎng)景中，光學(xué)仿真需兼顧衍射效應(yīng)等關(guān)鍵物理特性。本次我將以像散轉(zhuǎn)換器為實(shí)操案例，為大家講解如何通過(guò) VirtualLab Fusion 導(dǎo)入鏡頭文件，完成包含衍射分析的光學(xué)系統(tǒng)仿真。圖1.

VirtualLab Fusion軟件可以設(shè)計(jì)和分析包含掃描鏡和f-theta光學(xué)透鏡的激光掃描儀 激光掃描系統(tǒng)使用可移動(dòng)的光學(xué)元件，能夠使激光光束的位置動(dòng)態(tài)變化。這類(lèi)系統(tǒng)的典型應(yīng)用有：?激光材料加工?激光投影?3D物體掃描?條形碼閱讀器 軟件VirtualLab Fusion提供了基于光線(xiàn)追跡以及物理光學(xué)的模擬技術(shù)以用于激光掃描儀系統(tǒng)。

摘要 將在 VirtualLab Unity 中設(shè)計(jì)好的顏色膜導(dǎo)出為 VirtualLab Fusion 文件，并在 VirtualLab Fusion 中導(dǎo)入該文件，放置到一個(gè)簡(jiǎn)化的光學(xué)系統(tǒng)中進(jìn)行驗(yàn)證。

相反，它需要一個(gè)全面的策略，基于高階物理光學(xué)理論，為光學(xué)軟件提供堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)。對(duì)不同尺度的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行建模，需要在統(tǒng)一的物理光學(xué)框架內(nèi)集成多種不同的仿真模型。這正是我們?cè)?VirtualLab Fusion 軟件中所采用的方法。

課程大綱1VirtualLab Fusion光之?dāng)?shù)字模型平臺(tái) 光之?dāng)?shù)字模型平臺(tái)在精密系統(tǒng)檢測(cè)方面的工作原理 VirtualLab Fusion 用戶(hù)界面的基礎(chǔ)操作 VirtualLab Fusion中非序列追跡的通道配置2典型光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)建模與性能驗(yàn)證 基礎(chǔ)邁克爾遜干涉儀建模仿真 OCT系統(tǒng)仿真-光學(xué)相干層析掃描干涉儀

對(duì)天文現(xiàn)象的系統(tǒng)觀測(cè)是最古老的光學(xué)形式之一。隨著時(shí)間的推移，越來(lái)越先進(jìn)的望遠(yuǎn)鏡和其他相關(guān)光學(xué)設(shè)備已經(jīng)被開(kāi)發(fā)出來(lái)，讓科學(xué)家們能夠更深入地了解我們的星系和宇宙。為了分析此類(lèi)系統(tǒng)的性能，快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了多種工具，從基于光線(xiàn)追跡的快速系統(tǒng)可視化到光的全電磁物理光學(xué)傳播，包括衍射現(xiàn)象。

VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有： ?干涉儀?光譜儀&單色儀?表面計(jì)量系統(tǒng) VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。

相應(yīng)地，光柵分析必須使用基于矢量電磁場(chǎng)原理的方法。本課程使用光之?dāng)?shù)字模型平臺(tái)VirtualLab Fusion，介紹如何使用傅里葉模態(tài)法對(duì)光柵進(jìn)行嚴(yán)格精確的仿真。課程涵蓋的光柵示例既有表面型光柵，也有全息型體光柵，例如傾斜光柵、閃耀光柵、用于光學(xué)超透鏡的Nanopillar結(jié)構(gòu)等。此外還會(huì)介紹超表面的設(shè)計(jì)和參數(shù)優(yōu)化和大角度超光柵仿真。該課程無(wú)需軟件基礎(chǔ)。

而當(dāng)前主流的基于模型的OPC技術(shù)，通過(guò)構(gòu)建完整的光刻系統(tǒng)仿真體系實(shí)現(xiàn)了精度突破——其不僅建立了涵蓋光源、鏡頭、掩膜等核心要素的光學(xué)成像模型，還融入了光刻膠曝光、顯影全過(guò)程的物理化學(xué)模型，通過(guò)軟件仿真模擬光刻全流程，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)圖形誤差的精準(zhǔn)預(yù)測(cè)與校正。該技術(shù)的核心體系涵蓋光學(xué)成像物理仿真、光學(xué)鄰近效應(yīng)校正以及光源-掩膜協(xié)同優(yōu)化等關(guān)鍵技術(shù)。

摘要 因?yàn)閱蝹€(gè)軟件很難為研究中的不同領(lǐng)域提供所需的功能，所以通常復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的建模和設(shè)計(jì)通常需要同時(shí)使用多個(gè)軟件。 通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)批處理模式，我們演示了如何使用MATLAB訪問(wèn)VirtualLab Fusion的場(chǎng)解算器并使用MATLAB執(zhí)行光學(xué)仿真。 本示例展示了基于多種配置的嚴(yán)格光柵分析，參數(shù)掃描和優(yōu)化。

摘要 因?yàn)閱蝹€(gè)軟件很難為研究中的不同領(lǐng)域提供所需的功能，所以通常復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的建模和設(shè)計(jì)通常需要同時(shí)使用多個(gè)軟件。 通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)批處理模式，我們演示了如何使用MATLAB訪問(wèn)VirtualLab Fusion的場(chǎng)解算器并使用MATLAB執(zhí)行光學(xué)仿真。 本示例展示了基于多種配置的嚴(yán)格光柵分析，參數(shù)掃描和優(yōu)化。

VirtualLab Fusion允許從Zemax文件導(dǎo)入具有完整3D位置信息和玻璃的光學(xué)系統(tǒng)。 導(dǎo)入在兩個(gè)軟件包之間有著人性化的接口。 導(dǎo)入過(guò)程后，光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)將在VirtualLab Fusion中顯示為幾個(gè)組件。 VirtualLab允許將單個(gè)光學(xué)界面組合成組件。 將Zemax系統(tǒng)導(dǎo)入VirtualLab后，可以通過(guò)光線(xiàn)追跡和場(chǎng)追跡來(lái)分析光學(xué)裝置。