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光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬的形狀、表面缺陷、幾何尺寸等多個(gè)方面：1、形狀測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以快速、準(zhǔn)確地獲取金屬表面的曲率、凹凸等特征。2、表面缺陷檢測(cè)。光學(xué)3D表面輪廓儀可以實(shí)時(shí)捕捉金屬表面的瑕疵、劃痕、凹陷等問題，以便及時(shí)修復(fù)和改進(jìn)。3、幾何尺寸測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬制品的長(zhǎng)度、寬度、高度等維度參數(shù)。

3D輪廓掃描服務(wù)國高材分析測(cè)試中心配備高精度3D輪廓掃描儀，可精確獲取材料與零部件的三維形貌及微觀尺寸，為企業(yè)開展工業(yè)檢測(cè)、逆向工程及產(chǎn)品設(shè)計(jì)提供核心數(shù)字化支撐。

它是以白光干涉技術(shù)為原理，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。 2、測(cè)量應(yīng)用（1）臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。

光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。 在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè)，表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。

尤其在近幾年，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測(cè)量?jī)x適配芯片制造生產(chǎn)線，致力于滿足時(shí)下半導(dǎo)體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測(cè)量需求，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。W1白光3D輪廓測(cè)量?jī)xX/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高、彈坑等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。

多種高精度測(cè)量?jī)x器被用于微觀尺寸的測(cè)量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評(píng)估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。 光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀） 光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測(cè)量的高精度儀器。

微光學(xué)器件同時(shí)具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點(diǎn)，該特點(diǎn)導(dǎo)致的測(cè)量需求，3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。 3d光學(xué)輪廓儀通過利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象，能夠?qū)ξ⑿〉谋砻娓叨炔町愡M(jìn)行精確測(cè)量，并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。

SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，又或者是測(cè)量薄膜、涂層的厚度、光學(xué)膜的質(zhì)量、光學(xué)器件的性能等，在材料科學(xué)、光電子學(xué)、微電子學(xué)等領(lǐng)域都扮演著重要的角色。

WX-S1000，升級(jí)版超大行程光學(xué)3D表面輪廓儀（龍門結(jié)構(gòu)，超大行程，氣浮隔振，穩(wěn)如泰山），2D表面測(cè)量/3D立體重建一鍵全自動(dòng)測(cè)量，高精度微納尺寸形貌檢測(cè)利器。 多種產(chǎn)品滿足各種特殊需求 除了高精度和大尺寸測(cè)量的產(chǎn)品外，SuperViewW 系列還包括了多種不同功能和規(guī)格的光學(xué) 3D 表面輪廓儀，以滿足不同行業(yè)和應(yīng)用場(chǎng)景的特殊需求。

光學(xué)3D表面輪廓儀助力科研課題研究，服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展 浙江工業(yè)大學(xué)趙軍、呂冰海團(tuán)隊(duì)對(duì)磨料旋轉(zhuǎn)射流拋光(ARJP)技術(shù)，剪切增稠拋光技術(shù)等開展深入研究，并利用SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)拋光后表面粗糙度進(jìn)行檢測(cè)驗(yàn)證，多篇論文在國際TOP期刊發(fā)布。

在工業(yè)應(yīng)用中，光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm的縱向分辨能力能夠高精度測(cè)量物體的表面形貌，可用于質(zhì)量控制、表面工程和納米制造等領(lǐng)域。 與其它表面形貌測(cè)量方法相比，SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀達(dá)到納米級(jí)別的相移干涉法(PSI)和垂直掃描干涉法(VSI)，具有快速、非接觸的優(yōu)點(diǎn)。

SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀結(jié)合機(jī)械制造、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像出處理技術(shù)，以非接觸的掃描方式，實(shí)現(xiàn)針對(duì)樣品表面的高重復(fù)精度的3D測(cè)量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。 儀器集合PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，從0.1nm級(jí)別的超光滑表面到數(shù)十微米級(jí)別的粗糙表面，都能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。

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2、光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）（1）產(chǎn)品概述光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量，主要是測(cè)微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級(jí)別的。能夠非接觸式快速測(cè)量精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸。（2）產(chǎn)品特點(diǎn)光學(xué)3D表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

微納三維輪廓測(cè)量：光學(xué)3D表面輪廓儀 在產(chǎn)品制造、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)過程中，精確的尺寸控制和表面質(zhì)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。接觸式測(cè)量方法不僅測(cè)量效率低下，而且可能會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成損傷。 光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉原理，3D非接觸快速測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

專注于2D汽車輪廓避免了生成大型3D模擬訓(xùn)練集的成本，但也幫助我們確定了關(guān)鍵成分，從而為空氣動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)任務(wù)提供實(shí)時(shí)反饋和建議。

注：如果已有具有 3D 輪廓曲線的曲線模型，可以匯入并透過屬性精靈為其指定金線屬性和直徑。注: 如需反轉(zhuǎn)曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)，請(qǐng)使用工具頁簽的 反轉(zhuǎn)曲線 功能。金線樣版 (Wire Template)Moldex3D 在金線精靈中提供了 IC 金線設(shè)計(jì)的預(yù)設(shè)樣版。 在金線樣版中，它使用戶能夠建立和編輯自己的聯(lián)機(jī)模板到金線精靈中。

作為一家專業(yè)的微納3D形貌檢測(cè)儀器廠商，中圖儀器的SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀已在國內(nèi)高校從事化學(xué)機(jī)械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應(yīng)用，因樣件多為超光滑拋光表面，采用光學(xué)3D表面輪廓儀較為合適，其中較為關(guān)鍵的粗糙度Sa和Ra等參數(shù)，能夠確保0.1nm的精度。

注：如果已有具有 3D 輪廓曲線的曲線模型，可以匯入并透過屬性精靈為其指定金線屬性和直徑。注: 如需反轉(zhuǎn)曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)，請(qǐng)使用工具頁簽的 反轉(zhuǎn)曲線 功能。金線樣版 (Wire Template)Moldex3D 在金線精靈中提供了 IC 金線設(shè)計(jì)的預(yù)設(shè)樣版。 在金線樣版中，它使用戶能夠建立和編輯自己的聯(lián)機(jī)模板到金線精靈中。

注：如果已有具有 3D 輪廓曲線的曲線模型，可以匯入并透過屬性精靈為其指定金線屬性和直徑。注: 如需反轉(zhuǎn)曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)，請(qǐng)使用工具頁簽的 反轉(zhuǎn)曲線 功能。金線樣版 (Wire Template)Moldex3D 在金線精靈中提供了 IC 金線設(shè)計(jì)的預(yù)設(shè)樣版。 在金線樣版中，它使用戶能夠建立和編輯自己的聯(lián)機(jī)模板到金線精靈中。