2.2 外延:可滿足不同應用領域對器件的電阻等參數要求 外延可滿足不同應用領域對器件參數要求。外延是指在碳化硅襯底上生長了一 層與襯底晶相同的單晶薄膜(外延層)的過程。為了滿足 SiC 器件在不同應用領域 對電阻等參數的特定要求,必須在襯底上進行滿足條件的外延后才可制作器件,因 此外延質量的好壞將會影響 SiC 器件的性能。
多晶材料的宏觀性能來自內部晶粒與晶界的復雜相互作用,而我們在計算中只能截取有限大小的 RVE。如果邊界處理不當,RVE 的響應會被“邊界效應”主導:例如邊界過度約束導致材料顯得過硬,或邊界過度自由導致材料顯得過軟,甚至出現非物理的應變局部化或旋轉模態。這種誤差會直接影響應力–應變曲線、各向異性參數(如 R 值)、晶粒內應變分布和損傷起裂位置等關鍵結論。
這其中,拿材料舉例,封裝材料中又涉及互連材料、襯底材料、熱界面材料、灌封材料等細分產品的知識,不可謂不難!而碳化硅封裝,又在此基礎上,困難更甚。主要是因為目前我們傳統的功率器件封裝技術都是為 Si 基功率器件設計的,將其用于寬禁帶半導體功率器件時,會在使用頻率、散熱、可靠性等方面帶來新的挑戰,封裝技術正成為寬禁帶功率器件的技術瓶頸。