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摘要 干涉測(cè)量是一種光學(xué)計(jì)量的重要技術(shù)。 它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓，缺陷，機(jī)械和高精度熱變形等領(lǐng)域的測(cè)量。 作為一個(gè)典型的例程，在非序列場(chǎng)追跡的幫助下，我們?cè)赩irtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉儀，本案例清楚地展示了光學(xué)元件的傾斜和移位對(duì)干涉條紋圖案的影響。

摘要 干涉測(cè)量是一種光學(xué)計(jì)量的重要技術(shù)。 它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓，缺陷，機(jī)械和高精度熱變形等領(lǐng)域的測(cè)量。 作為一個(gè)典型的例程，在非序列場(chǎng)追跡的幫助下，我們?cè)赩irtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉儀，本案例清楚地展示了光學(xué)元件的傾斜和移位對(duì)干涉條紋圖案的影響。

器件采用多模干涉（MMI）實(shí)現(xiàn)光束合分，并通過(guò)不對(duì)稱馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉儀構(gòu)建推挽結(jié)構(gòu)，兩臂路徑差達(dá)100微米，從而獲得10.4納米的自由光譜范圍（FSR）。在實(shí)驗(yàn)中，我們將激光器波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)正交偏置點(diǎn)，以確保線性和高效率的EO調(diào)制。與此同時(shí)，我們采用地-信號(hào)-地（GSG）集總電極布局以實(shí)現(xiàn)寬帶電響應(yīng)。移相器的長(zhǎng)度僅為15微米（圖1f），較傳統(tǒng)TFLN MZM縮小兩個(gè)數(shù)量級(jí)。

馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉結(jié)構(gòu)可解決諧振傳輸導(dǎo)致的光學(xué)工作帶寬受限于<1nm的問(wèn)題。基于TFLN平臺(tái)的Traveling-wave Mach–Zehnder調(diào)制器（MZM）已經(jīng)實(shí)現(xiàn)調(diào)制效率 達(dá)2.2Vcm，3dB調(diào)制帶寬達(dá)100GHz。此外，混合型TFLN-Si MZMs與相干TFLN MZMs的 值均達(dá)≈2.3Vcm。為降低微波損耗，采用容性加載慢波電極，同時(shí)保持石英基TFLN平臺(tái)的調(diào)制效率。

說(shuō)明 本案例將Lumerical和HFSS在行波MZM調(diào)制器建模中的功能與optiSLang相結(jié)合，提供了強(qiáng)大的優(yōu)化能力以尋找最佳性能設(shè)計(jì)。 下載 聯(lián)系工作人員獲取附件

建模任務(wù)非序列追跡探測(cè)器附加組件參數(shù)運(yùn)行總結(jié)-組件…橫向干涉條紋–50?nm帶寬橫向干涉條紋–100?nm帶寬軸上點(diǎn)的輻射通量測(cè)量VirtualLab Fusion 技術(shù)文件信息更多閱覽-基于激光的邁克爾遜干涉儀與干涉條紋探測(cè)-馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉儀-用于光學(xué)測(cè)試的斐索干涉儀

附件下載聯(lián)系工作人員獲取附件前言在本示例中，Lumerical和HFSS在建模行波波導(dǎo)調(diào)制器方面的功能與optiSLang相結(jié)合，提供了強(qiáng)大的優(yōu)化能力，用于尋找具有最佳性能的設(shè)計(jì)。綜述本文基于現(xiàn)有的硅波導(dǎo)建模示例，該波導(dǎo)通過(guò)反向偏置的pn結(jié)進(jìn)行相位調(diào)制，并由鋁共面?zhèn)鬏斁€驅(qū)動(dòng)。我們的目標(biāo)是找到具有最佳性能指標(biāo)的設(shè)計(jì)，特別是相位偏移、損耗和速度失配作為選定輸入、施加的摻雜和電極幾何形狀的函數(shù)

建模任務(wù)非序列追跡探測(cè)器附加組件參數(shù)運(yùn)行總結(jié)-組件…橫向干涉條紋–50?nm帶寬橫向干涉條紋–100?nm帶寬軸上點(diǎn)的輻射通量測(cè)量VirtualLab Fusion 技術(shù)文件信息更多閱覽-基于激光的邁克爾遜干涉儀與干涉條紋探測(cè)-馬赫-曾德?tīng)?/em>干涉儀-用于光學(xué)測(cè)試的斐索干涉儀