剪切干涉測(cè)量
關(guān)注創(chuàng)建者：匿名 創(chuàng)建時(shí)間：2026-01-05
剪切干涉測(cè)量的實(shí)例教程
因此，對(duì)準(zhǔn)直度的測(cè)量也很重要，而剪切干涉法經(jīng)常被用于此類(lèi)任務(wù)中。 在此示例中，我們演示了如何構(gòu)建剪切干涉儀并將其用于測(cè)量準(zhǔn)直。 通過(guò)改變光束準(zhǔn)直系統(tǒng)(例如該示例中兩個(gè)透鏡之間的距離)，我們觀察到了來(lái)自剪切干涉儀的干涉條紋。
建模任務(wù)
擴(kuò)展和準(zhǔn)直后的波前評(píng)估
剪切干涉條紋
剪切干涉條紋
VirtualLab Fusion一瞥
VirtualLab Fusion中的工作流程
?設(shè)置輸入高斯場(chǎng)
?基礎(chǔ)光源模型 [教程視頻]
?從ZemaxOpticStudio?導(dǎo)入鏡頭系統(tǒng)
?從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng) [用例]
?設(shè)置組件的位置和方向
?LPD II：位置和方向 [教程視頻]
?設(shè)置組件的非序列通道
?非序列追跡的通道設(shè)置 [用例]
?通過(guò)參數(shù)運(yùn)行檢查所選參數(shù)的影響
?參數(shù)運(yùn)行文檔的使用 [用例]
VirtualLab Fusion技術(shù)
文件信息
更多閱覽
- Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
- Fizeau Interferometer for Optical Testing
展開(kāi) 剪切干涉法是一種測(cè)試光束準(zhǔn)直質(zhì)量的簡(jiǎn)便方法，我們?cè)赩irtualLab Fusion中進(jìn)行了演示。 干涉儀中的關(guān)鍵設(shè)備是剪切板，具有高質(zhì)量的平面，通常具有較小的楔角。 借助VirtualLab Fusion中的通道概念，我們可以輕松地模擬光線(xiàn)與剪切板之間的多種相互作用。
用剪切干涉法進(jìn)行準(zhǔn)直檢驗(yàn)
我們展示了如何建立剪切干涉儀，來(lái)檢驗(yàn)激光光束準(zhǔn)直。 我們觀察到由于改變準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)而引起的干涉條紋的變化。
界面和光柵區(qū)域的通道配置
通過(guò)VirtualLab Fusion中靈活的通道配置，用戶(hù)可以輕松控制仿真中任何界面和/或區(qū)域的響應(yīng)。
可發(fā)送信息了解更多詳情: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com
展開(kāi) 因此，對(duì)準(zhǔn)直度的測(cè)量也很重要，而剪切干涉法經(jīng)常被用于此類(lèi)任務(wù)中。 在此示例中，我們演示了如何構(gòu)建剪切干涉儀并將其用于測(cè)量準(zhǔn)直。 通過(guò)改變光束準(zhǔn)直系統(tǒng)(例如該示例中兩個(gè)透鏡之間的距離)，我們觀察到了來(lái)自剪切干涉儀的干涉條紋。
建模任務(wù)
擴(kuò)展和準(zhǔn)直后的波前評(píng)估
剪切干涉條紋
剪切干涉條紋
VirtualLab Fusion一瞥
VirtualLab Fusion中的工作流程?設(shè)置輸入高斯場(chǎng)
?基礎(chǔ)光源模型[教程視頻]
?從ZemaxOpticStudio?導(dǎo)入鏡頭系統(tǒng)
?從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng)[用例]
?設(shè)置組件的位置和方向
?LPD II：位置和方向[教程視頻]
?設(shè)置組件的非序列通道
?非序列追跡的通道設(shè)置[用例]
?通過(guò)參數(shù)運(yùn)行檢查所選參數(shù)的影響
?參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例]
VirtualLab Fusion技術(shù)
文件信息
展開(kāi) 因此，對(duì)準(zhǔn)直度的測(cè)量也很重要，而剪切干涉法經(jīng)常被用于此類(lèi)任務(wù)中。 在此示例中，我們演示了如何構(gòu)建剪切干涉儀并將其用于測(cè)量準(zhǔn)直。 通過(guò)改變光束準(zhǔn)直系統(tǒng)(例如該示例中兩個(gè)透鏡之間的距離)，我們觀察到了來(lái)自剪切干涉儀的干涉條紋。
建模任務(wù)
擴(kuò)展和準(zhǔn)直后的波前評(píng)估
剪切干涉條紋
剪切干涉條紋
VirtualLab Fusion一瞥
VirtualLab Fusion中的工作流程
?設(shè)置輸入高斯場(chǎng)
?基礎(chǔ)光源模型[教程視頻]
?從ZemaxOpticStudio?導(dǎo)入鏡頭系統(tǒng)
?從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng)[用例]
?設(shè)置組件的位置和方向
?LPD II：位置和方向[教程視頻]
?設(shè)置組件的非序列通道
?非序列追跡的通道設(shè)置[用例]
?通過(guò)參數(shù)運(yùn)行檢查所選參數(shù)的影響
?參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例]
VirtualLab Fusion技術(shù)
文件信息
更多閱覽
- Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
- Fizeau Interferometer for Optical Testing
展開(kāi) 白光干涉儀測(cè)量原理
基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射
光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起。通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化，就可以測(cè)量出被測(cè)表面的相關(guān)物理量。
白光的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)：白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會(huì)出現(xiàn)彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會(huì)出現(xiàn)清晰的、對(duì)比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測(cè)量時(shí)能夠通過(guò)精確尋找零光程差位置來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，對(duì)于微觀形貌的測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。
干涉測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用
1、在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用：
（1）半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，白光干涉儀可用于測(cè)量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺(tái)階高度等參數(shù)，對(duì)芯片的制造工藝進(jìn)行監(jiān)控和質(zhì)量檢測(cè)。例如，在光刻工藝后，可檢測(cè)光刻膠的厚度和表面平整度；在刻蝕工藝后，可測(cè)量刻蝕深度和表面粗糙度，確保芯片的性能和可靠性。而具備雙重防撞保護(hù)功能的白光干涉儀，在操作過(guò)程中更加安全可靠。Z 軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器以及軟件 ZSTOP 防撞保護(hù)功能，為精密的測(cè)量過(guò)程提供了雙重保障，讓用戶(hù)在進(jìn)行半導(dǎo)體制造的高精度測(cè)量時(shí)多一重安心。
（2）光學(xué)加工：用于光學(xué)鏡片、透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面形貌測(cè)量和質(zhì)量檢測(cè)。可以測(cè)量光學(xué)元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數(shù)，幫助優(yōu)化光學(xué)加工工藝，提高光學(xué)元件的質(zhì)量。例如，在高精度光學(xué)鏡頭的制造中，白光干涉儀可以檢測(cè)鏡頭表面的微觀形貌，確保鏡頭的成像質(zhì)量。
展開(kāi) 
剪切干涉測(cè)量的相關(guān)專(zhuān)題、標(biāo)簽、搜索
剪切干涉測(cè)量的最新內(nèi)容
摘要
眾所周知，在干涉儀中，條紋對(duì)比度可能取決于光源的相干性。例如，在配有一定帶寬源的邁克爾遜干涉儀中，干涉條紋對(duì)比度隨著兩臂之間的光程差的增加而減小。通過(guò)測(cè)量可移動(dòng)反射鏡在不同位置的干涉圖對(duì)比度，可以得出光源的相干長(zhǎng)度。典型的傅立葉變換光譜學(xué)通常是基于這類(lèi)光學(xué)裝置。
建模任務(wù)
非序列追跡
探測(cè)器附加組件
參數(shù)運(yùn)行
總結(jié)-組件…
光學(xué)干涉測(cè)量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實(shí)驗(yàn)測(cè)量技術(shù)，主要通過(guò)相干重疊場(chǎng)之間的相對(duì)相位差所產(chǎn)生的強(qiáng)度調(diào)制--應(yīng)用于從顯微鏡到天文學(xué)等許多不同領(lǐng)域。雖然其中許多應(yīng)用可以在忽略衍射效應(yīng)的情況下進(jìn)行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當(dāng)系統(tǒng)中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時(shí)，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
VirtualLab Fusion 在單一平臺(tái)上提供了靈活的可交互建模技術(shù)，可幫助您在仿真中實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)木扰c速度平衡
光學(xué)干涉測(cè)量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實(shí)驗(yàn)測(cè)量技術(shù)，主要通過(guò)相干重疊場(chǎng)之間的相對(duì)相位差所產(chǎn)生的強(qiáng)度調(diào)制--應(yīng)用于從顯微鏡到天文學(xué)等許多不同領(lǐng)域。雖然其中許多應(yīng)用可以在忽略衍射效應(yīng)的情況下進(jìn)行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當(dāng)系統(tǒng)中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時(shí)，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
VirtualLab Fusion 在單一平臺(tái)上提供了靈活的可交互建模技術(shù)，可幫助您在仿真中實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)木扰c速度平衡
摘要
該用例將多色光源（24個(gè)波長(zhǎng)）與邁克爾遜干涉儀設(shè)置中的反射鏡位置（121個(gè)位置）的參數(shù)掃描相結(jié)合。由此產(chǎn)生2904個(gè)基本模擬，其中每個(gè)模擬在標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算機(jī)上只需不到一秒鐘的時(shí)間。
如果沒(méi)有分布式計(jì)算，整個(gè)集合需要46?分55?秒。在由六個(gè)本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)中，分布式計(jì)算由25個(gè)客戶(hù)端執(zhí)行，CPU時(shí)間減少到2?分50?秒。
基本仿真任務(wù)
基本任務(wù)集合：波長(zhǎng)
[圖片]
摘要
本用例以眾所周知的邁克爾遜干涉儀為例，展示了分布式計(jì)算的能力。多色光源與干涉測(cè)量裝置的一個(gè)位置掃描的反射鏡相結(jié)合，以執(zhí)行詳細(xì)的相干測(cè)量。使用具有六個(gè)本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)分布式計(jì)算，所得到的2,904個(gè)基本模擬的模擬時(shí)間可以從一個(gè)多小時(shí)顯著減少到不到3分鐘。
模擬任務(wù)
基本模擬任務(wù)
基本任務(wù)集合#1：波長(zhǎng)
基本任務(wù)集合#2：反射鏡位置
使用分布式計(jì)算進(jìn)行模擬
超表面計(jì)量學(xué)的光學(xué)屬性4個(gè)月前
2）剪切波干涉測(cè)量法，其示意圖如圖3（b）所示。不使用參考光束，光通過(guò)超表面后被復(fù)制并在傳感器上干涉產(chǎn)生多光束自干涉圖案。該方法測(cè)量的相位是相對(duì)的，通過(guò)對(duì)干涉強(qiáng)度圖案進(jìn)行數(shù)值積分來(lái)恢復(fù)入射光束的相位。
圖3 （a）參考光束干涉測(cè)量系統(tǒng)；（b）剪切波干涉法測(cè)量系統(tǒng)
相位恢復(fù)法：
由衍射理論可知，通過(guò)光在給定平面上的場(chǎng)分布、振幅和相位，就有可能確定遠(yuǎn)場(chǎng)的場(chǎng)分布。
最佳使用案例NO.1–干涉測(cè)量6個(gè)月前
用于光學(xué)測(cè)量的Fizeau 干涉儀
在第一份“最佳”時(shí)事通訊中，我們關(guān)注的是Fizeau和Mach-Zehnder干涉儀。
基于物理光學(xué)的VirtualLab Fusion是用于復(fù)雜系統(tǒng)建模的統(tǒng)一平臺(tái)，并具有非常人性化的用戶(hù)界面。
用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀6個(gè)月前
斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備，它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀，并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
摘要
[NEWSLETTER] 最佳使用案例NO.1–干涉測(cè)量6個(gè)月前
在VirtualLab Fusion中所實(shí)現(xiàn)的快速物理光學(xué)技術(shù)為著名的干涉儀的快速仿真提供了強(qiáng)有力的工具，從而使我們能夠研究干涉圖樣中的相干和色散效應(yīng)。
基于物理光學(xué)的VirtualLab Fusion是用于復(fù)雜系統(tǒng)建模的統(tǒng)一平臺(tái)，并具有非常人性化的用戶(hù)界面。
在第一份“最佳”時(shí)事通訊中，我們關(guān)注的是Fizeau和Mach-Zehnder干涉儀。
