RGB光源技術
關注創建者：匿名 創建時間：2026-01-04
RGB光源技術的實例教程
CINNO Research產業資訊，LG顯示宣布，作為30吋級的顯示器用OLED（有機發光二極管)面板技術，LG顯示考慮同時兼顧W-OLED和RGB-OLED兩種技術。
根據韓媒Thelec報道，在4月7日在韓國釜山舉行的“2022 OLED Korea Conference”大會上，針對“30吋以上的大尺寸顯示器，更看好W-OLED與RGB-OLED哪種技術？”這一問題，LG顯示李賢宇專務表示：“作為顯示器用OLED技術，正在同時考慮W-OLED和RGB-OLED兩種技術?！?目前，LG顯示和三星顯示正在開發8.5代(2200x2500mm)OLED技術，以應用于10-20吋的平板電腦、筆記本電腦等IT產品。用于IT的8.5代OLED技術，就像現有的六代(1500x1850mm)OLED技術一樣，采用FMM（精細金屬掩模版）方式。使用FMM將RGB OLED像素相鄰蒸鍍到發光層上，該技術被稱為“RGB-OLED”技術。而LG顯示在電視上采用的大尺寸OLED技術則不使用FMM，而是使用開放式金屬掩模版(OMM)將發光層堆疊到三層。這種技術使用White-OLED光源，用WRGB彩色濾光片實現色彩，因此被稱為“W-OLED”技術。
展開 CINNO Research產業資訊，三星顯示為了開發“RGB” OLEDoS技術，預計將優先考慮美國A公司的方式。三星顯示已經制定了在短期開發“WOLED+CF”方式的OLEDoS，但長期將開發“RGB”OLEDoS的計劃。
據業界10月7日消息，三星顯示計劃長期為了開發紅(R)、綠(G)、藍(B)硅基OLED(OLEDoS:OLED on Silicon)，將優先考慮美國A公司的技術。
OLEDoS是一種在硅基板上蒸鍍有機發光二極管(OLED)的技術?？捎糜谠鰪姮F實(AR)、虛擬現實(VR)元宇宙設備的1吋左右微顯示（Micro Display）。在OLEDoS技術上，目前正優先開發以索尼為代表的采用白光OLED和彩色濾光片(CF)的WOLED+CF方式。索尼計劃將這種方式的OLEDoS供應給蘋果的第一臺混合現實(MR)設備，該設備將于明年推出。與索尼、LG顯示一樣，三星顯示眼下也將開發WOLED+CF方式的OLEDoS。
同時，三星顯示已經制定了開發RGB OLEDoS的目標。RGB OLEDoS是一種直接蒸鍍RGB子像素的技術。目前主力技術WOLED+CF方式的OLEDoS采用WOLED作為發光源，采用RGB彩色濾光片實現色彩的方式。在直接蒸鍍RGB子像素的RGB OLEDoS方式中，無需彩色濾光片，即可在OLED上實現光和色彩。
A公司一直強調，其通過FMM直接蒸鍍RGB子像素的OLEDoS的效率和產品壽命優于WOLED+CF方式。在目前商業化的OLED中，只有智能手機等中小尺寸OLED使用FMM進行發光源蒸鍍，其余大尺寸OLED和WOLED+CF方式OLEDoS采用開放式金屬掩模版(OMM)。
展開 01/簡介
隨著集成電路制程向3nm及以下節點突破，光刻系統面臨的光學畸變（如衍射、偏振效應）愈發顯著，光源作為光刻成像的“源頭變量”，其圖形優化直接決定空間像保真度與芯片制造良率。
傳統光源優化方法依賴全像素維度尋優，受限于光源像素矩陣規模龐大（常達數百甚至數千維度），存在迭代收斂慢、計算資源消耗高、易陷入局部最優等問題，難以適配先進制程對優化效率與精度的雙重需求。
壓縮感知技術憑借“稀疏性約束降維”的核心邏輯，為光源優化提供了突破口——通過將光源在稀疏基（如2D-DCT）下表示為少量非零系數，大幅削減優化變量維度。但壓縮感知光源優化的落地效果，關鍵取決于“優化技術”的工程化實現：算法迭代步驟的合理性決定了優化收斂速度與全局最優性，需明確初始值求解、變量更新、收斂判定的完整邏輯；算法實施細節的精準度（如稀疏基適配選擇、測量矩陣構建、噪聲抑制策略）則直接影響優化結果的穩定性與可制造性，是技術從理論走向工程的核心橋梁。
本文聚焦壓縮感知光源優化的優化技術核心，系統拆解算法迭代的完整流程，深入剖析關鍵實施細節，厘清技術落地的核心環節，為壓縮感知光源優化在先進光刻工程中的高效應用提供可復用的技術框架與實施參考。
02/算法迭代步驟
通過解決l1范數優化問題，可以獲得最佳光源圖形。該問題可以使用在CS領域開發的多種算法來解決。在優化前計算Iscc矩陣，可以減少運行時間。
展開 02/非線性壓縮感知光源-掩模優化的優化技術
目標函數對光源、掩模稀疏系數的梯度為?d(ΩS)、?d(ΩM)，采用Newton-IHTs算法迭代更新：
ΩSn+1=PSA（ΩSn-stepxHsn?d（ΩSn））
ΩMn+1=PSAM（ΩMn-stepxHMn?d（ΩMn））
03/仿真條件
技術節點：28nm（CD=45nm）
目標圖形：水平條塊、豎直線條、復雜圖形
(28nm技術節點的目標圖形）
光刻參數：193nm ArF浸沒式光刻，像方NA=1.35，浸沒介質折射率1.44，初始光源為AI光源(σin=0.82, σout=0.97)。
評價指標：PAE、收斂速度、運行時間。
04/不同SMO技術的性能對比
水平條塊圖形：
（不同SMO技術對水平條塊條塊圖形的仿真結果）
（不同SMO技術對水平條塊圖形的收斂曲線）
（不同SMO技術對水平條塊圖形仿真的運行時間）
結論：
? Newton-IHTs方法的PAE（3195）遠低于SD方法（4294）和IHTs方法（3218）。
? 收斂速度：Newton-IHTs方法收斂最快。
? 運行時間：Newton-IHTs方法僅461s，比SD方法（4294s）提速8.31倍。
展開 1、簡介
對于常用的光源文件，有些光源如.IES文件，可以在SPEOS和Zemax中直接載入和讀取。然而IES源文件只包含角數據，只有當光學系統位于光源遠場時才適用。如果我們想要在光源文件中包含位置數據，則對應的光源文件格式在SPEOS和Zemax中是不同的。在SPEOS中，對應文件為.RAY文件；而在Zemax中，有兩種對應文件格式，分別是.DAT（單色）和.SDF（多色）文件。下面分別介紹一下Zemax與SPEOS使用的光源文件格式。
2、SPEOS以及ZEMAX光源文件格式
Zemax和SPEOS的光源文件格式不同，下面我們分別介紹一下對應的文件格式：
.RAY、.SDF和.DAT的文件格式都是以二進制形式定義的。二進制光源文件包含一個數據頭結構，然后是每條光線的數據。SPEOS和Zemax光源文件包含不同的數據標題信息，光線數據也將按照不同的順序定義。
2.1、SPEOS光源文件格式
SPEOS光源文件數據標題結構包含28字節，即7個雙精度數值，分別表示如下內容：
1：輻射功率
2、3、4、5、6：定義光線文件的版本
7：光度學功率
在文件數據標題之后定義了每條光線的數據，每條光線將包含8個雙精度數據：X、Y、Z、L、M、N、Wavelength、Energy
其中X、Y、Z代表光線的位置，L、M、N代表光線的方向，Wavelength代表光線的波長，Energy代表光線的能量，以Watts為單位。
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01/簡介
隨著集成電路制程向3nm及以下先進節點演進，光刻成像系統中的光學衍射、掩模三維效應與光致抗蝕劑非線性響應相互疊加，使光源-掩模協同優化（SMO）成為保障圖形保真度與芯片良率的核心技術。傳統線性壓縮感知（CS）驅動的SMO技術，因難以精準刻畫掩模與成像之間的強非線性映射關系，在復雜圖形優化中常面臨精度不足、工藝窗口收縮等問題
01/簡介
隨著集成電路制程向3nm及以下節點突破，光刻系統的光學畸變、掩模三維衍射及光致抗蝕劑非線性響應等效應疊加，使光源-掩模協同優化（SMO）成為保障成像精度的核心技術。
傳統線性壓縮感知技術雖在光源單變量優化中實現了降維高效求解，但面對SMO場景中掩模-成像的強非線性映射關系，其線性假設難以精準刻畫優化變量與成像質量的關聯，導致優化精度與可制造性失衡
01/簡介
當前，壓縮感知光源優化的仿真技術已實現標準化與精準化雙重突破，為技術落地奠定堅實基礎。仿真條件層面，通過構建統一的光源參數基準、掩模圖形庫及光學成像模型，建立了可復現的標準化仿真環境，解決了傳統仿真中參數離散導致的對比誤差問題。
接下來以豎直線條為目標圖形進行仿真分析，對比分析在不同變量下曝光圖像的情況。
02/仿真條件
01/簡介
隨著集成電路制程向3nm及以下節點突破，光刻系統面臨的光學畸變（如衍射、偏振效應）愈發顯著，光源作為光刻成像的“源頭變量”，其圖形優化直接決定空間像保真度與芯片制造良率。
傳統光源優化方法依賴全像素維度尋優，受限于光源像素矩陣規模龐大（常達數百甚至數千維度），存在迭代收斂慢、計算資源消耗高、易陷入局部最優等問題，難以適配先進制程對優化效率與精度的雙重需求
1、簡介
對于常用的光源文件，有些光源如.IES文件，可以在SPEOS和Zemax中直接載入和讀取。然而IES源文件只包含角數據，只有當光學系統位于光源遠場時才適用。如果我們想要在光源文件中包含位置數據，則對應的光源文件格式在SPEOS和Zemax中是不同的。在SPEOS中，對應文件為.RAY文件；而在Zemax中，有兩種對應文件格式，分別是.DAT（單色）和.SDF（多色）文件。下面分別介紹一下
本課程提供照明系統中光源的介紹，作為照明系統光源的信息中心。本課是照明學習路徑的第二課。在這一課中，將描述照明系統中的各種光源類型以及如何這些使用光源。光源是照明系統的起點和支點，可以說是照明設計中最關鍵的部分。
作者 Katsumoto Ikeda
簡介：照明系統中光源的剖析
光源有許多不同的形狀、大小和形式，但用于照明設計的數據是：來自光源光線的位置x、 y、 z，光線的方向角l、
本文解釋了如何將用于文件光源的二進制文件轉換為 ASCII 文本文件。文本輸出文件對于研究其中的光線數據很有用。一旦生成，文本輸出文件也可以用于文件光源當中。但是，建議盡可能使用二進制文件作為文件光源輸入，因為使用文本文件來表示光線數據時，光線追跡速度會慢上很多。
作者 Sanjay Gangadhara
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簡介
文件光源物體可在非序列模式中用于直接指定一組光源光線的坐標
CINNO Research產業資訊，三星顯示為了開發“RGB” OLEDoS技術，預計將優先考慮美國A公司的方式。三星顯示已經制定了在短期開發“WOLED+CF”方式的OLEDoS，但長期將開發“RGB”OLEDoS的計劃。
據業界10月7日消息，三星顯示計劃長期為了開發紅(R)、綠(G)、藍(B)硅基OLED(OLEDoS
CINNO Research產業資訊，LG顯示宣布，作為30吋級的顯示器用OLED（有機發光二極管)面板技術，LG顯示考慮同時兼顧W-OLED和RGB-OLED兩種技術。 根據韓媒Thelec報道，在4月7日在韓國釜山舉行的“2022 OLED Korea Conference”大會上，針對“30吋以上的大尺寸顯示器，更看好W-OLED與RGB-OLED哪種技術？”這一問題，LG顯示李賢宇專務表示
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