衍射光束整形器可調(diào)控輸入光束的特性，以改變輸出光束的形狀。輸出光束通常為環(huán)形或矩形，但也可以獲得其他光束幾何結(jié)構(gòu)輪廓。衍射光束整形器可用于光刻、全息照明、光學(xué)傳感器、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用和激光材料加工等領(lǐng)域。 衍射勻光器 衍射勻光器也可將入射激光束轉(zhuǎn)換為多個(gè)輸出光束，但主要區(qū)別在于，這些輸出光束會(huì)相互重疊和干涉，從而形成均勻的分布。它們通常由特定的微觀結(jié)構(gòu)組成，用于確定光的衍射和分布方式。

利用FP腔研究鈉原子D線光譜 光學(xué)相干層析掃描系統(tǒng) Inces - Gaussian光束產(chǎn)生渦旋陣列激光光束的觀測(cè) 利用剪切干涉法的準(zhǔn)直測(cè)量 基于菲索干涉儀的面型檢測(cè) Mirau干涉儀 基于零位檢測(cè)的CGH設(shè)計(jì) 4 微觀與宏觀結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真 結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng) 用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng) 摩爾紋的仿真

鏡頭中名義雙凸透鏡與導(dǎo)入數(shù)據(jù)透鏡一起完美地聚焦準(zhǔn)直入射光束，而不會(huì)產(chǎn)生殘余波前誤差。我們使用多重結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其中第一個(gè)結(jié)構(gòu)包含名義雙凸透鏡，而第二個(gè)結(jié)構(gòu)添加了干涉測(cè)量結(jié)果。 與以前類似，光圈類型設(shè)置為按光闌尺寸浮動(dòng)，但光闌表面是具有 25.85 mm半直徑的虛擬表面，位于雙凸透鏡前 5 mm處。

正如預(yù)期的那樣，在雙通道仿真設(shè)置中，峰谷（0.8686 waves）和 RMS（0.1617 waves）波前誤差的數(shù)值是測(cè)量時(shí)報(bào)告的兩倍。波前映射的形狀似乎是倒置的，在中心顯示谷值而不是峰值，這是因?yàn)樵?OpticStudio 中，波前誤差被定義為主光線和光瞳光線之間的光程差。這可以解釋為沿光線傳播方向查看波前，因此在這種情況下，從鏡子向圖像平面看。

這種現(xiàn)象可以對(duì)在自然界中發(fā)現(xiàn)的雙折射樣本進(jìn)行簡(jiǎn)單的識(shí)別，如浮游生物、淀粉粒子和脂肪分子。當(dāng)局部y偏振光的擴(kuò)展光束通過兩個(gè)正交取向的線偏振片時(shí)，馬耳他十字也可以形成。圖1顯示了由FRED構(gòu)建的這樣一個(gè)系統(tǒng)，用來模擬正交線偏振片的輻照度。 圖1 馬耳他十字。左邊：系統(tǒng)橫截面。右邊：探測(cè)器上的輻照度圖樣。

用于光學(xué)表面測(cè)量的菲索干涉儀 切爾尼-特納光譜儀的仿真 Mirau干涉儀系統(tǒng)分析-顯微干涉檢測(cè) 3 高端精密成像系統(tǒng)（半導(dǎo)體 / 工業(yè)檢測(cè)方向） 半導(dǎo)體晶圓微結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng) 晶圓兩側(cè)光柵圖案的成像 激光共聚焦掃描顯微鏡成像分析 大數(shù)值孔徑聚焦中的粒子散射與反射 晶圓多層膜厚非接觸式光學(xué)測(cè)量仿真

FRED是美國(guó)Photon Engineering 公司開發(fā)的光學(xué)工程仿真軟件，其在雜散光分析中獨(dú)特的算法、高效的準(zhǔn)確性，使其與其它同類產(chǎn)品相比更具優(yōu)勢(shì)。本案例我們重點(diǎn)講述如何由RPC Photonics的BSDF數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)為FRED可識(shí)別的散射數(shù)據(jù)。

仿真模型構(gòu)建 1.利用Rsoft軟件的RCWA功能，生成折疊光柵、出耦合光柵、入耦合光柵的雙向散射分布函數(shù)（BSDF），精準(zhǔn)描述光柵的衍射特性； 2.在Lighttools中搭建L型光柵波導(dǎo)的三維模型，導(dǎo)入Rsoft生成的BSDF文件，設(shè)置波導(dǎo)的全內(nèi)反射（TIR）條件，模擬光在波導(dǎo)中的傳播、耦合、出瞳擴(kuò)展過程； 3.考慮光的偏振特性，采用9點(diǎn)法評(píng)價(jià)眼動(dòng)范圍均勻性：在16mm×12mm的眼動(dòng)范圍內(nèi)均勻選取

</p><p><strong>1.核心設(shè)計(jì)原理仿真</strong>：采用雙鏡頭單圖像傳感器的分離式雙光路設(shè)計(jì)，僅在直角棱鏡處共光路（避免雜散光），通過Zemax搭建雙目成像模型，模擬待測(cè)點(diǎn)成像與視差計(jì)算過程，確定雙光路基線距離5mm，既保證立體視差滿足三維測(cè)量，又預(yù)留足夠觀測(cè)空間。加入共用式直角棱鏡，經(jīng)Zemax仿真驗(yàn)證，有效保證雙光路光線平行性，大幅降低裝配難度。

仿真成果：可模擬雙折射透鏡組的偏振調(diào)控效果，生成光強(qiáng)透射率曲線，驗(yàn)證填充因子提升效果；同時(shí)通過公差分析功能，評(píng)估加工誤差對(duì)整形效果的影響，為工程化生產(chǎn)提供風(fēng)險(xiǎn)預(yù)判。仿真圖（圖3）清晰展示偏振器、雙折射透鏡、空間濾波器的光路布局與光束傳輸特性。 圖3 雙折射透鏡整形系統(tǒng) （3）衍射光學(xué)元件（DOE） 衍射光學(xué)元件利用光的波動(dòng)性實(shí)現(xiàn)相位與振幅調(diào)控，在小型化、集成化光學(xué)系統(tǒng)中不可或缺。