範例檔案可由文章頂端的連結下載。注意,上圖中Jones Matrix表面並沒有曲率半徑(Radius)的欄位。如上一個小節所說,這種表面通常用在準直光束垂直入射的情況,因此必須是一個平面。我們可以在下圖的分類數據報告(Prescription data)看到矩陣中的元素已被輸入鏡頭數據編輯器(Lens Data Editor)。
相反,光柵的表面是由周期性的微結構組成的。為了對SRG進行建模,需要採用類似傅里葉模態法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。關於SRG的工具,請參見知識庫文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。
cmname, &
ndi,nshr,ntens,nstatv,props,nprops,coords,drot,pnewdt, &
celent,dfgrd0,dfgrd1,noel,npt,layer,kspt,kstep,kinc)
use plastic_iso_pack
include 'aba_param.inc