特定衍射級(jí)與波長(zhǎng)的衍射角光柵的衍射角也取決于工作波長(zhǎng),并且對(duì)于不同的階數(shù)表現(xiàn)出不同的值。唯一的例外是(0,0)階,它由入射光束的角度固定(在本例中為theta=0和 phi=0)。下圖根據(jù)波長(zhǎng)顯示了透射(0,1)級(jí)的衍射角。這個(gè)特定的階數(shù)開(kāi)始出現(xiàn)在 0.9μm并且傳播幾乎平行于基板。隨著波長(zhǎng)變短,其傳播方向移向極軸(本例中為z軸)。
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Ansys中國(guó) ??? 3年前