衍射及微納光學系統(tǒng)的分析、設(shè)計與加工技術(shù)
時間地點:
主辦單位:訊技光電科技(上海)有限公司(微信公眾號:infotek);蘇州黌論教育咨詢有限公司(微信公眾號:honglun-seminary)
授課時間:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
授課地點:上海市嘉定區(qū)南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室
課程講師:訊技光電高級工程師
課程概要:
課程大綱:
1.波動光學基礎(chǔ)
□ 雙光束干涉及楊氏干涉
□ 相干及非相干光源的傳播特性
□ 衍射光學與傅里葉變換
2.衍射元件概述
□ 衍射光學元件概念
□ 衍射光學元件優(yōu)點
□ 光束分束、整形、擴散
□ 傅里葉變換
□ 角譜理論
□ 工作裝置類型
3.衍射光學元件理念及設(shè)計
□ 基本理念
□ 透鏡和衍射光學元件的作用
□ 分束、整形和擴散的實質(zhì)
□ 衍射光學元件的特征尺寸
□ 衍射光學元件優(yōu)化設(shè)計方法
4.IFTA簡介
□ 基本設(shè)計步驟
□ 光學系統(tǒng)結(jié)構(gòu)——1f、2f、Fresnel、Far-field、角譜
□ 參數(shù)估算——周期和線寬的估算
□ 光學系統(tǒng)分辨率——不同結(jié)構(gòu)的分辨率
□ 配置設(shè)計過程的優(yōu)化評價函數(shù)
5.衍射元件設(shè)計案例
□ 衍射分束器參數(shù)選擇
□ 衍射分束器設(shè)計流程:規(guī)則和任意形狀
□ 衍射整形器參數(shù)選擇
□ 衍射整形器設(shè)計流程:1D和2D平頂型
□ 衍射擴散器參數(shù)選擇
□ 衍射擴散器設(shè)計流程:平頂型和任意圖案
6.光柵模擬分析
□ 構(gòu)建stack
□ 調(diào)整模擬參數(shù)——精度因子和衍射級次
□ 近場分析、衍射效率分析、內(nèi)部場分析
□ 2D光柵表面鍍膜分析
□ 3D表面具有減反結(jié)構(gòu)的光柵分析
□ 光柵單元陣列及透鏡陣列的建模與分析
7.光柵概述
□ 2D和3D光柵,亞波長光柵,及二元光學元件
□ 標量衍射和傅里葉變換
□ 矢量衍射和傅里葉模態(tài)法
□ 納米光學元件的應(yīng)用:抗反射、偏振控制、成像、傳感等
8.微納光學元件制作
□ 多階器件加工
□ 連續(xù)器件加工
□ 傳統(tǒng)套刻法
□ 激光直寫法
□ 納米光子器件制作概述
□ 衍射光學元件公差分析
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