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2、復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。 白光干涉儀在半導(dǎo)體封裝中對(duì)彈坑的測(cè)量 同時(shí)，白光干涉儀還可以結(jié)合其他測(cè)量手段，如激光共聚焦顯微鏡等，以獲得更全面的形貌信息。

SuperViewW1白光干涉儀是一個(gè)光學(xué)干涉顯微測(cè)量系統(tǒng)，基于白光干涉原理研制而成，采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型。

研究了理想結(jié)構(gòu)分束器和實(shí)際結(jié)構(gòu)分束器的不同性能，并演示了相對(duì)相移變化引起的互補(bǔ)干涉圖樣。 建模任務(wù) 理想分束器干涉圖樣 理想的分束器提供未修改的傳輸場(chǎng)和鏡像反射場(chǎng)。 在傳播過(guò)程中沒(méi)有觀察到相移。

臺(tái)階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測(cè)量利器，但還是有所不同。

仿真任務(wù)：馬赫澤德干涉儀 ? 通過(guò)使用這種干涉儀設(shè)置，可測(cè)量?jī)赏耆嗤馐€間的相對(duì)相移。 這使得可以對(duì)一個(gè)樣品元件引起的相移進(jìn)行研究。 2. 說(shuō)明：光源 ? 使用一個(gè)頻率穩(wěn)定、單模氦氖激光器。? 因此，相干長(zhǎng)度大于1m? 此外，由于發(fā)散角很小，所以不需要額外的準(zhǔn)直系統(tǒng)。? 在入射干涉儀之前，高斯波以瑞利長(zhǎng)度傳播。

帶棱鏡分束器的馬赫曾德?tīng)?em>干涉儀中互補(bǔ)干涉圖案的觀察 本案例研究了理想和實(shí)際棱鏡分束器的不同性能。 實(shí)驗(yàn)表明棱鏡引入的附加相移導(dǎo)致了互補(bǔ)的干涉圖案。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 2. 建模任務(wù) 3.

3.研究不同對(duì)齊誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移 利用VirtualLab軟件可對(duì)馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。 應(yīng)用示例詳細(xì)內(nèi)容 系統(tǒng)參數(shù) 1.仿真任務(wù)：馬赫澤德干涉儀 ?通過(guò)使用這種干涉儀設(shè)置，可測(cè)量?jī)赏耆嗤馐€間的相對(duì)相移。 這使得可以對(duì)一個(gè)樣品元件引起的相移進(jìn)行研究。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。

帶棱鏡分束器的馬赫曾德?tīng)?em>干涉儀中互補(bǔ)干涉圖案的觀察 本案例研究了理想和實(shí)際棱鏡分束器的不同性能。 實(shí)驗(yàn)表明棱鏡引入的附加相移導(dǎo)致了互補(bǔ)的干涉圖案。

簡(jiǎn)介 傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個(gè)平移反射鏡來(lái)產(chǎn)生干涉圖樣的光學(xué)儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測(cè)量速度、分辨率的提升和簡(jiǎn)潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)性[1]，F(xiàn)TS方法通常優(yōu)于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復(fù)雜。在本案例中，在FRED中將會(huì)使用一個(gè)嵌入式腳本來(lái)創(chuàng)建和運(yùn)行FTS模型。將會(huì)使用該模型分析三種不同的光譜。

傅里葉變換光譜儀 傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個(gè)平移反射鏡來(lái)產(chǎn)生干涉圖樣的光學(xué)儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測(cè)量速度、分辨率的提升和簡(jiǎn)潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)性[1]，F(xiàn)TS方法通常優(yōu)于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復(fù)雜。在本案例中，在FRED中將會(huì)使用一個(gè)嵌入式腳本來(lái)創(chuàng)建和運(yùn)行FTS模型。

簡(jiǎn)介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個(gè)平移反射鏡來(lái)產(chǎn)生干涉圖樣的光學(xué)儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測(cè)量速度、分辨率的提升和簡(jiǎn)潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)性[1]，F(xiàn)TS方法通常優(yōu)于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復(fù)雜。在本案例中，在FRED中將會(huì)使用一個(gè)嵌入式腳本來(lái)創(chuàng)建和運(yùn)行FTS模型。將會(huì)使用該模型分析三種不同的光譜。

簡(jiǎn)介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個(gè)平移反射鏡來(lái)產(chǎn)生干涉圖樣的光學(xué)儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測(cè)量速度、分辨率的提升和簡(jiǎn)潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)性[1]，F(xiàn)TS方法通常優(yōu)于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復(fù)雜。在本案例中，在FRED中將會(huì)使用一個(gè)嵌入式腳本來(lái)創(chuàng)建和運(yùn)行FTS模型。將會(huì)使用該模型分析三種不同的光譜。

簡(jiǎn)介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個(gè)平移反射鏡來(lái)產(chǎn)生干涉圖樣的光學(xué)儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測(cè)量速度、分辨率的提升和簡(jiǎn)潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)性[1]，F(xiàn)TS方法通常優(yōu)于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復(fù)雜。在本案例中，在FRED中將會(huì)使用一個(gè)嵌入式腳本來(lái)創(chuàng)建和運(yùn)行FTS模型。將會(huì)使用該模型分析三種不同的光譜。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 2. 建模任務(wù) 3.

針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，W1白光干涉儀復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。 白光干涉儀具有測(cè)量范圍寬、測(cè)量快速、精度高等優(yōu)點(diǎn)，在許多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

恒星由一個(gè)多色光光源模擬，它在一個(gè)小的角度范圍內(nèi)照射干涉儀，這對(duì)應(yīng)于它的角直徑。正常入射在兩個(gè)路徑P1和P2之間沒(méi)有光程差。然而，進(jìn)入到干涉儀中光線的光程差會(huì)隨著角度的增大而增大。探測(cè)器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。 圖2 左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測(cè)器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長(zhǎng)為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。