通過(guò)高斯函數(shù)擬合離焦MTF曲線,提取峰值位置z?參數(shù),該參數(shù)直接表征場(chǎng)曲與像散大小。在小誤差假設(shè)下,建立z?與透鏡組偏心的線性關(guān)系,構(gòu)建靈敏度矩陣:式中:為各視場(chǎng)z?與理想焦移的差值,Si,j為一階靈敏度矩陣,ΔD為系統(tǒng)誤差量。基于z?參數(shù)定義損失函數(shù),采用BFGS算法極小化損失,快速校正透鏡組偏心,初步消除場(chǎng)曲與像散,全程無(wú)需復(fù)雜波前測(cè)量,數(shù)據(jù)采集與標(biāo)定僅需3分鐘。
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摩爾芯創(chuàng) ??? 15天前