使用參數(shù)更新模型光柵幾何形狀SRG 幾何體被定義為結(jié)構(gòu)組 ,這使得創(chuàng)建用戶(hù)指定的幾何體參數(shù)(如傾斜角度和填充因子)變得更加容易。用戶(hù)可以通過(guò)更改結(jié)構(gòu)組的設(shè)置腳本來(lái)修改此 SRG 幾何形狀,例如在光柵上添加欠蝕刻或過(guò)度蝕刻。或者,可以通過(guò)添加新的結(jié)構(gòu)組并編寫(xiě)自定義安裝腳本來(lái)創(chuàng)建不同的光柵幾何體。優(yōu)化參數(shù)優(yōu)化變化的參數(shù)及其邊界在優(yōu)化掃描對(duì)象中定義。