研究背景 焦平面陣列(Focal Plane Array,F(xiàn)PA)作為一種重要的全固態(tài)光束掃描技術(shù),通過光開關(guān)陣列控制光信號從不同位置處的光柵輻射器發(fā)射信號,經(jīng)過置于其上的透鏡后產(chǎn)生一個和輻射器位置相關(guān)的偏轉(zhuǎn)角,從而在無可動部件的情況下實現(xiàn)光束掃描。現(xiàn)有FPA要么使用MEMS結(jié)構(gòu)實現(xiàn)光開關(guān)陣列,要么通過熱光效應構(gòu)建光開關(guān)陣列。