由于微波的預激功能,極大的提高等離子體區,極板區的激發能力和處理效果,由于微波技術的運用,本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。2:低溫等離子體激發本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區,低溫等離子體區是工藝的核心技術,國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。
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