結構光(Structured Light)該技術通過投射特定圖案(如條紋、點陣)到物體表面,攝像頭捕捉變形后的圖案。通過對比變形前后的圖案差異,計算出物體表面的三維形狀。二相較于傳統手段的優勢 真三維,全字段數據捕獲:提供包含X, Y, Z坐標的完整表面空間信息,不僅能測高度、臺階,更能全面評估面形輪廓、波紋度、彎曲變形等,評價參數更全面、真實。
光學 3D 表面輪廓儀能夠精確測量芯片的微觀結構,確保芯片的質量和性能符合嚴格的標準; 在機械制造領域,它可以用于檢測零部件的表面質量,為加工工藝的優化提供依據; 例如,光學 3D 表面輪廓儀通過納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術實現0.1nm級表面粗糙度測量,在光通信行業中輕松實現針對光纖端面粗糙度的測量