白光干涉儀主要用于測量微觀表面的形貌、粗糙度、臺階高度等參數。

1. 表面形貌測量

原理：白光干涉儀利用白光的干涉特性。當兩束相干光（一束參考光和一束從被測表面反射回來的光）疊加時，會形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的形狀和位置，可以獲取被測表面的高度信息。因為不同位置的表面高度不同，反射光的光程差也不同，從而導致干涉條紋的變化。

應用場景：在精密機械加工領域，例如汽車發動機的零部件表面，如活塞、曲軸等。這些部件的表面質量對發動機的性能和壽命有重要影響。白光干涉儀可以精確測量其表面形貌，確保加工精度達到設計要求。在光學元件制造中，比如高精度的透鏡、反射鏡等，需要對其表面進行精確的形貌測量，以保證光學性能。

2. 表面粗糙度測量

原理：表面粗糙度是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。白光干涉儀通過測量微觀表面的高度變化來量化粗糙度。它可以在小范圍內獲取大量的高度數據點，然后根據這些數據計算出粗糙度參數，如Ra（算術平均粗糙度）、Rz（微觀不平度十點高度）等。

應用場景：在模具制造行業，模具表面的粗糙度直接影響塑料制品的表面質量。使用白光干涉儀可以對模具表面進行粗糙度測量，確保模具達到所需的表面光潔度。在電子芯片制造中，芯片的封裝表面粗糙度也很重要，合適的粗糙度有助于芯片散熱和電氣性能的穩定，白光干涉儀可以為其提供精確的粗糙度測量。

3. 臺階高度測量

原理：當被測表面存在臺階結構時，白光干涉儀可以通過測量臺階兩側的高度差來確定臺階高度。干涉條紋在臺階處會出現明顯的變化，通過對條紋的分析和計算可以得到臺階的精確高度。

應用場景：在半導體制造過程中，芯片上的不同功能區域之間可能存在臺階結構，例如金屬布線層與有源區之間的臺階。準確測量這些臺階高度對于后續的光刻、刻蝕等工藝的精度控制非常關鍵。在微機電系統（MEMS）制造中，也經常需要測量微小結構的臺階高度，以保證MEMS器件的性能和可靠性。