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2、復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。 白光干涉儀在半導體封裝中對彈坑的測量 同時，白光干涉儀還可以結合其他測量手段，如激光共聚焦顯微鏡等，以獲得更全面的形貌信息。

SuperViewW1白光干涉儀是一個光學干涉顯微測量系統，基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型。

研究了理想結構分束器和實際結構分束器的不同性能，并演示了相對相移變化引起的互補干涉圖樣。 建模任務 理想分束器干涉圖樣 理想的分束器提供未修改的傳輸場和鏡像反射場。 在傳播過程中沒有觀察到相移。

仿真任務：馬赫澤德干涉儀 ? 通過使用這種干涉儀設置，可測量兩完全相同光束線間的相對相移。 這使得可以對一個樣品元件引起的相移進行研究。 2. 說明：光源 ? 使用一個頻率穩定、單模氦氖激光器。? 因此，相干長度大于1m? 此外，由于發散角很小，所以不需要額外的準直系統。? 在入射干涉儀之前，高斯波以瑞利長度傳播。

臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。

帶棱鏡分束器的馬赫曾德爾干涉儀中互補干涉圖案的觀察 本案例研究了理想和實際棱鏡分束器的不同性能。 實驗表明棱鏡引入的附加相移導致了互補的干涉圖案。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3.

3.研究不同對齊誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移 利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。 應用示例詳細內容 系統參數 1.仿真任務：馬赫澤德干涉儀 ?通過使用這種干涉儀設置，可測量兩完全相同光束線間的相對相移。 這使得可以對一個樣品元件引起的相移進行研究。

帶棱鏡分束器的馬赫曾德爾干涉儀中互補干涉圖案的觀察 本案例研究了理想和實際棱鏡分束器的不同性能。 實驗表明棱鏡引入的附加相移導致了互補的干涉圖案。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

簡介 傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個平移反射鏡來產生干涉圖樣的光學儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測量速度、分辨率的提升和簡潔的機械結構性[1]，FTS方法通常優于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復雜。在本案例中，在FRED中將會使用一個嵌入式腳本來創建和運行FTS模型。將會使用該模型分析三種不同的光譜。

傅里葉變換光譜儀 傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個平移反射鏡來產生干涉圖樣的光學儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測量速度、分辨率的提升和簡潔的機械結構性[1]，FTS方法通常優于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復雜。在本案例中，在FRED中將會使用一個嵌入式腳本來創建和運行FTS模型。

簡介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個平移反射鏡來產生干涉圖樣的光學儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測量速度、分辨率的提升和簡潔的機械結構性[1]，FTS方法通常優于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復雜。在本案例中，在FRED中將會使用一個嵌入式腳本來創建和運行FTS模型。將會使用該模型分析三種不同的光譜。

簡介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個平移反射鏡來產生干涉圖樣的光學儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測量速度、分辨率的提升和簡潔的機械結構性[1]，FTS方法通常優于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復雜。在本案例中，在FRED中將會使用一個嵌入式腳本來創建和運行FTS模型。將會使用該模型分析三種不同的光譜。

簡介傅里葉變換光譜儀（FTS）是利用干涉儀與一個平移反射鏡來產生干涉圖樣的光學儀器。干涉圖的傅里葉變換提供了光源的頻譜。由于FTS提高了測量速度、分辨率的提升和簡潔的機械結構性[1]，FTS方法通常優于單色儀。在FRED中模擬FTS并不復雜。在本案例中，在FRED中將會使用一個嵌入式腳本來創建和運行FTS模型。將會使用該模型分析三種不同的光譜。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3.

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，W1白光干涉儀復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。 白光干涉儀具有測量范圍寬、測量快速、精度高等優點，在許多領域廣泛應用。

恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。 圖2 左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。