RSoft軟件的DiffractMOD是一種用于衍射光學(xué)元件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和仿真工具,基于嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)算法,包括快速傅里葉分解和廣義傳輸線公式,可以處理復(fù)雜的周期性結(jié)構(gòu),其中包含具有有損或色散材料的介電和金屬成分。 2、達(dá)曼光柵設(shè)計(jì)仿真 達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以基于matlab或者mathematica軟件進(jìn)行優(yōu)化,然后在RSoft軟件進(jìn)行仿真。