JCMsuite案例展示

閃耀光柵的仿真分析

這是一維周期線光柵案例的一個變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中，周期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度

S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度

后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。

參數掃描

Matlab?腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度:

在腳本data_analysis/run_scan_height.m中,在一個固定的照明角度下，其中一條三角形線的高度從50nm增至120nm。這將產生以下高度依賴關系