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在該用例中，討論了由FMM實(shí)現(xiàn)衍射級(jí)次偏振狀態(tài)的研究。 概述 ?本文的主題是光在周期性微結(jié)構(gòu)處的衍射后的偏振態(tài)。?為此，如示意圖所示，在示例性二元光柵結(jié)構(gòu)和錐形入射處研究零級(jí)反射光。?為了在特定示例中討論該主題，在第二部分中根據(jù)Passilly等人的工作（2008年）選擇光柵配置和相應(yīng)參數(shù)。

在該用例中，討論了由FMM實(shí)現(xiàn)衍射級(jí)次偏振狀態(tài)的研究。 概述 ?本文的主題是光在周期性微結(jié)構(gòu)處的衍射后的偏振態(tài)。?為此，如示意圖所示，在示例性二元光柵結(jié)構(gòu)和錐形入射處研究零級(jí)反射光。?為了在特定示例中討論該主題，在第二部分中根據(jù)Passilly等人的工作（2008年）選擇光柵配置和相應(yīng)參數(shù)。

在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級(jí)次的偏振態(tài)的研究。 任務(wù)說(shuō)明 簡(jiǎn)要介紹衍射效率與偏振理論某個(gè)衍射級(jí)次（??）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級(jí)次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來(lái)的，瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級(jí)次（矢量）電磁場(chǎng)的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對(duì)光柵的特征值問(wèn)題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。

在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級(jí)次的偏振態(tài)的研究。任務(wù)說(shuō)明簡(jiǎn)要介紹衍射效率與偏振理論某個(gè)衍射級(jí)次（??）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級(jí)次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來(lái)的，瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級(jí)次（矢量）電磁場(chǎng)的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對(duì)光柵的特征值問(wèn)題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。

在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級(jí)次的偏振態(tài)的研究。任務(wù)說(shuō)明簡(jiǎn)要介紹衍射效率與偏振理論某個(gè)衍射級(jí)次（??）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級(jí)次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來(lái)的，瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級(jí)次（矢量）電磁場(chǎng)的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對(duì)光柵的特征值問(wèn)題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。

研究衍射級(jí)次的偏振狀態(tài) VirtualLab Fusion能夠?qū)鈻沤Y(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)分析，包括分析可能的衍射級(jí)次和偏振態(tài)的變化。

光柵的一個(gè)特征是對(duì)入射光的偏振敏感性，以及通常情況下較強(qiáng)的矢量特性。 研究衍射級(jí)次的偏振狀態(tài) 此功能用例演示了偏振分析器分析和優(yōu)化光柵結(jié)構(gòu)的能力。

因此，不需要配置光源的位置，光學(xué)系統(tǒng)中的探測(cè)器或光源中的偏振態(tài)。 級(jí)次選擇 對(duì)于一個(gè)層堆棧，如果沒(méi)有橫向周期性，則應(yīng)選擇級(jí)次(0,0)。 如果使用光柵結(jié)構(gòu)作為樣品，可以通過(guò)在x和y上定義所研究的衍射級(jí)次的指數(shù)，來(lái)選擇所考慮的衍射級(jí)次。 對(duì)于一維周期光柵，第二指數(shù)應(yīng)為零。

例如，通過(guò)選擇TE和TM偏振作為兩個(gè)正交基，分別執(zhí)行光柵仿真，然后通過(guò)功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果。 光柵仿真中的偏振相關(guān)分析器 ?光柵偏振分析器 ?為計(jì)算光柵衍射效率，VirtualLab Fusion提供了偏振分析器，用于研究偏振相關(guān)效應(yīng)。 ?偏振分析器，例如：光柵級(jí)次分析器對(duì)入射的偏振態(tài)具有額外控制。

因此，不需要配置光源的位置，光學(xué)系統(tǒng)中的探測(cè)器或光源中的偏振態(tài)。級(jí)次選擇對(duì)于一個(gè)層堆棧，如果沒(méi)有橫向周期性，則應(yīng)選擇級(jí)次(0,0)。如果使用光柵結(jié)構(gòu)作為樣品，可以通過(guò)在x和y上定義所研究的衍射級(jí)次的指數(shù)，來(lái)選擇所考慮的衍射級(jí)次。對(duì)于一維周期光柵，第二指數(shù)應(yīng)為零。輸出角度定義入射角可以用度(Deg)或弧度(Rad)來(lái)定義。

當(dāng)φ0分別為0和π/2對(duì)應(yīng)兩種特殊形式：徑向偏振光（圖1(b)）和角向偏振光（圖1(c)），它們的電矢量振動(dòng)方向分別沿徑向和切向。下面我們將討論這兩種特殊的矢量偏振光束在高數(shù)值孔徑透鏡下形成的聚焦光場(chǎng)分布。2 基于矢量衍射理論的聚焦光場(chǎng)根據(jù)惠更斯-菲涅爾原理，光傳播過(guò)程中，從點(diǎn)波源發(fā)射出的球面波在某一時(shí)刻波前的任意一點(diǎn)都可以視為次波源，各次波在空間某點(diǎn)上相干疊加形成該點(diǎn)上的總波擾。

光柵仿真中的非偏振光? 光柵分析– 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。? 非偏振平面波– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。

網(wǎng)格化的三維偏振像差獲取方法示意圖 ?某級(jí)次衍射光的光瞳坐標(biāo)(fx,fy)可能恰好位于一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)，也可能不位于一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)處。當(dāng)需要某級(jí)衍射光(fx,fy)對(duì)應(yīng)的三維偏振追跡矩陣Pfx,fy時(shí)，如果(fx,fy)恰好是一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)，直接用該點(diǎn)的三維偏振追跡矩陣，關(guān)聯(lián)物方與像方的矢量。

當(dāng)隨機(jī)模式工作時(shí)，DLL會(huì)讓光線隨機(jī)衍射，如圖17所示。跟蹤每個(gè)衍射級(jí)次的概率基于衍射級(jí)次之間的能量比。 圖17. 隨機(jī)模式下，任意入射光線會(huì)隨機(jī)衍射，產(chǎn)生衍射的級(jí)次的概率取決于每個(gè)級(jí)次的能量比。這張圖片顯示了只有1條光線隨機(jī)衍射的情況。 對(duì)于每條入射光線，可能有任意數(shù)量的出射光。要衍射的光線數(shù)量由計(jì)算決定（截至級(jí)次-初始級(jí)次+1）。

光柵仿真中的光源設(shè)置 ? 光柵分析 – 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算 例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。 ? 非偏振平面波 – 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。

光柵仿真中的非偏振光? 光柵分析– 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。? 非偏振平面波– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。

光柵仿真中的非偏振光? 光柵分析– 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。? 非偏振平面波– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。

任務(wù)描述 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數(shù)的偏振狀態(tài)。 光柵式光學(xué)裝置中的偏振分析器 編輯偏振分析器 -該分析器計(jì)算了所定義結(jié)構(gòu)的每個(gè)衍射階數(shù)的兩個(gè)正交偏振狀態(tài)的效率之和（無(wú)論是透射還是反射）。-為此，在相應(yīng)系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。

說(shuō)明：探測(cè)器 結(jié)果：3D光線追跡 結(jié)果：光線追跡 角向偏振光 結(jié)果：光線追跡衍射級(jí) 角向偏振光 結(jié)果：場(chǎng)追跡角向偏振光 結(jié)果：光線追跡徑向偏振光 結(jié)果：光線追跡衍射級(jí)徑向偏振光

因此，成像模型中各級(jí)次衍射光在物方和像方的i-j坐標(biāo)系，與光線追跡中對(duì)應(yīng)光線的i-j坐標(biāo)系相同，即Oo與To、Oi與Ti相等，三維矢量成像模型和二維矢量成像模型仿真結(jié)果相同。03/先進(jìn)技術(shù)與未來(lái)發(fā)展方向1. 先進(jìn)制程與新光源適配升級(jí)面向3nm及以下節(jié)點(diǎn)，開(kāi)發(fā)EUV光刻雙遠(yuǎn)心物鏡適配的三維矢量模型，深化極紫外光與遠(yuǎn)心偏振光路的耦合作用機(jī)制研究。