03/先進(jìn)技術(shù)與未來發(fā)展方向反向光刻技術(shù)(ILT)是計(jì)算光刻的前沿發(fā)展方向,其核心邏輯是在既定工藝條件下,以光刻目標(biāo)圖形為已知量,反向求解適配的掩膜圖形。與傳統(tǒng)技術(shù)僅修正設(shè)計(jì)圖形不同,ILT直接以晶圓需實(shí)現(xiàn)的圖形為目標(biāo),通過復(fù)雜數(shù)學(xué)計(jì)算反演生成理想掩膜圖形,可顯著提升成像對(duì)比度。近年來,借助算法優(yōu)化與硬件加速,全芯片級(jí)ILT已成功應(yīng)用于量產(chǎn)產(chǎn)線。