光整形>衍射光學(xué)

 

任務(wù)說明

 

靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù)：

-平滑的界面

-量化界面

-鏡子/棱鏡/光柵單元陣列

 

亮點(diǎn)

?導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù)

?導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面

   

 

一般界面的制造數(shù)據(jù)

 

支持文件格式：

-純文本

-ASCII碼

-點(diǎn)云

-CAD格式（例如，STL，IGES）

 

STL導(dǎo)出平滑界面（例如Asphere）

 

采樣高度剖面的STL導(dǎo)出

 

 

 

量化界面的GDSII導(dǎo)出

?量化的界面數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到GDSII的文件格式。

?這個(gè)文件格式主要是用于，如光刻曝光技術(shù)。

 

 

文檔和技術(shù)信息

 

 

PC用于模擬的規(guī)格