光整形>衍射光學

 

任務說明

 

靈活地導出制造數據：

- 平滑的界面

- 量化界面

- 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列

 

亮點

? 導出各種表面形狀的制造數據

? 導出像光刻制造技術的二元掩膜的量化界面

     

 

一般界面的制造數據

 

支持文件格式：

- 純文本

- ASCII碼

- 點云

- CAD格式（例如，STL，IGES）

 

STL導出平滑界面（例如Asphere）

 

采樣高度剖面的STL導出

 

 

 

量化界面的GDSII導出

? 量化的界面數據可以直接導出到GDSII的文件格式。

? 這個文件格式主要是用于，如光刻曝光技術。

 

 

文檔和技術信息

 

 

PC用于模擬的規格