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通常，三軸加速度計由三個單獨的加速度計組成，安裝在相差90度的同一個外殼中。 但是，這限制了加速度計的最小尺寸，并意味著每個軸都有不同的參考點。Brüel & Kj?r應(yīng)用正交剪切型設(shè)計了多款非常緊湊的三軸加速度計，其中所有軸都具有相同的參考點。這種設(shè)計還可確保準確和一致的測量，即使加速度計暴露在復雜的振動模式下也是如此。

什么是加速度計？加速度計是一種機電傳感器，它能把振動或沖擊的加速度轉(zhuǎn)換成與之成比例的電信號輸出，并在儀表或其它合適的指示設(shè)備上讀取。Brüel & Kj?r加速度計的有源元件由壓電盤或壓電片組成，由振動質(zhì)量加載并通過夾緊裝置固定。當加速度計受到振動時，質(zhì)量彈簧系統(tǒng)的慣性質(zhì)量對壓電單元施加可變力，與慣性質(zhì)量的加速度成比例，壓電單元產(chǎn)生成比例的電荷輸出。

然而在日常使用中，加速度計也有可能會受到不當?shù)臎_擊，這會導致特性發(fā)生顯著變化，有時甚至會造成永久性損壞。當從手的高度跌落到混凝土地板上時，加速度計可能會受到數(shù)千g的沖擊，典型可達到2000g。因此，定期檢查校準加速度計的靈敏度是明智之舉，這通常足以確認加速度計沒有損壞。

即使數(shù)據(jù)采集設(shè)備具有相對較高的阻抗負載，直接加載壓電加速度計的輸出信號，也會大大降低加速度計的靈敏度并限制其頻率響應(yīng)。為了更大限度地減少這些影響，加速度計的輸出信號通過一個前置放大器饋送，前置放大器將高阻信號轉(zhuǎn)換為阻抗低得多的信號，連接到測量和分析儀器的相對較低的輸入阻抗。在CCLD加速度計中，前置放大器是內(nèi)置的，因此不需要外部單元，但需要一個能夠為單元供電的輸入。

而加速度計作為振動測量的關(guān)鍵傳感器，其性能直接決定了測量結(jié)果的準確性與可靠性。HBK作為傳感器領(lǐng)域的專家，提供的加速度計產(chǎn)品憑借卓越的性能和廣泛的應(yīng)用范圍，在全球范圍內(nèi)贏得了眾多專業(yè)人士的信賴與青睞。#HBK提供一系列高精度、高可靠性的加速度計，涵蓋單軸向和三軸向、高動態(tài)范圍和寬頻率響應(yīng)測量。

如何避免測量錯誤是測量振動時必須知曉的內(nèi)容，本文簡要解釋了以下幾點：為避免因加速度計共振而出錯，該如何為加速度計選擇安裝位置，以及如何安裝。 加速度計安裝位置 安裝加速度計，應(yīng)使所需的測量方向與其主靈敏度軸一致。加速度計對橫向振動也較敏感，但通常可以忽略這一點，因為橫向靈敏度通常小于主軸靈敏度的5%。

為了保證振動及沖擊測試測量過程中數(shù)據(jù)的準確性，我們建議要定期校準加速度計，根據(jù)加速度計使用的頻度以及使用環(huán)境條件來決定加速度計校準的周期，通常半年或一年時間。在某些關(guān)鍵的測試或成本比較高的破壞性測試，建議每次使用前校準加速度計。 加速度計校準常見的系統(tǒng)有自動掃頻校準系統(tǒng)或單點頻率測試系統(tǒng)。

如何避免測量錯誤是測量振動時必須知曉的內(nèi)容，本文簡要解釋了以下幾點：為避免因加速度計共振而出錯，該如何為加速度計選擇安裝位置，以及如何安裝。加速度計安裝位置安裝加速度計，應(yīng)使所需的測量方向與其主靈敏度軸一致。加速度計對橫向振動也較敏感，但通常可以忽略這一點，因為橫向靈敏度通常小于主軸靈敏度的5%。

CCLD/Deltatron?或者IPE加速度計CCLD（恒流源線驅(qū)動）加速度計或IEPE（集成電子Piezo Electric）加速度計是帶有集成前置放大器的壓電式加速度計，可在電源線上以電壓調(diào)制的形式提供輸出信號。HBK的IEPE加速度計具有高輸出靈敏度、高信噪比和寬帶寬，因此適用于通用和高頻振動測量。

可變電容(VC)加速度計系列，包含密封的MEMS電容傳感元件，定制集成電路放大器和低噪聲電子器件封裝在一個密封的鈦外殼。

四、美新半導體有限公司美新半導體（MEMSIC）成立于1999年，是中國最早的IDM模式慣性傳感器供應(yīng)商之一，于2007年在美國納斯達克上市，被譽為全球MEMS第一股。美新半導體致力于提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應(yīng)用方案的一站式解決方案，擁有熱式加速度計、電容式加速度計、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開關(guān)和六軸IMU等產(chǎn)品。

一個接近真實MEMS加速度計的結(jié)構(gòu)如下圖所示，中間的橙紅色物體為一個質(zhì)量塊，兩頭通過具有彈簧性質(zhì)的長條結(jié)構(gòu)與基底相連，橙紅色的短柵與淡綠色的短柵分別為電容的極板。當基底在下圖黑色雙箭頭方向有加速度時，質(zhì)量塊會沿加速度相反的方向移動，這就導致橙紅色極板與淡綠色極板之間的距離發(fā)生變化。通過測量極板電容C的變化就可以得到加速度的大小。

MEMS 加速度計仿真“積木”本文介紹的教程模型演示了如何使用 COMSOL 軟件 MEMS 模塊的機電 多物理場接口對表面微機械加速度計進行建模。該模型由三個子組件組成：質(zhì)量塊、支撐質(zhì)量塊的錨定彈簧和電極陣列。瀏覽下列圖片查看所有三個子組件以及完整模型。帶有附加電極的質(zhì)量塊的構(gòu)建塊。錨定彈簧的構(gòu)建塊。固定電極陣列的構(gòu)建塊。

但是高端解決方案正在重新定義“長期穩(wěn)定性”，以布瑯軻鍶特（Bronkhorst）的產(chǎn)品為例，采用的先進微機電系統(tǒng)（MEMS）芯片技術(shù)，相比傳統(tǒng)繞線式傳感器具有顯著優(yōu)勢，MEMS芯片體積極小，熱響應(yīng)速度極快，且由于結(jié)構(gòu)堅固，對振動和長期老化的敏感度大幅降低，這意味著在相同的工況下，基于MEMS技術(shù)的流量計能保持更長時間的初始精度，顯著延長了校準周期。

振動測量?：內(nèi)置?三軸MEMS加速度計?，可檢測X/Y/Z三個方向的加速度，量程可選（如±2g、±4g、±8g、±16g），分辨率高達?0.1mg??。采樣頻率?：默認每?1分鐘? 采集一次數(shù)據(jù)（軟件可配置），振動采樣頻率可達?1.6kHz??。

Dytran位于美國加州，是壓電和MEMS加速度計的領(lǐng)先設(shè)計和制造商，產(chǎn)品應(yīng)用于測量動態(tài)力、壓力和振動，主要市場在北美。 Dytran公司將并入思百吉集團旗下的HBK公司 （HBK在加速度計領(lǐng)域擁有悠久的品牌歷史），并將受益于HBK的全球銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。HBK總裁Ben Bryson表示：“非常歡迎Dytran員工加入HBK。

應(yīng)用領(lǐng)域包括各類微液體流量計星、制藥過程控制、化學計量、基因測序、科研實驗和醫(yī)療自動化等。 美國Siargo微液體流量計LF3000系列特點: 采用MEM S熱飛行時間(TTOF)技術(shù)量程比大于100:1良好的溫度效應(yīng)機械接口UNF 1/4?-28或N PT死腔小于7m L藍牙通訊，便于實現(xiàn)云數(shù)據(jù)存儲

質(zhì)量流量計不僅能實時監(jiān)測流體流速，而且在Bronkhorst的技術(shù)加持下，精度、響應(yīng)速度與可靠性已達到行業(yè)領(lǐng)先水平，無論您身處哪個行業(yè)，只要對流量有嚴苛要求，Bronkhorst都將是您值得信賴的合作伙伴。