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圖2突出顯示了此過程的概念。當系統僅包含單個超穎透鏡時，設計人員可以直接從Lumerical FDTD中的超穎透鏡上入射平面波前開始。將超穎透鏡之後的電場輸出導出為ZBF檔，然後將其進一步導入OpticStudio POP中以評估最終的PSF。但是，當超穎透鏡置於透鏡之間並且入射光束不是平面波前時，設計人員可以使用POP中的平面波開始模擬。

基于這個假設的位移場，代入幾何方程中就得到了節點位移矢量和形函數一起表示的應變場，進一步代入本構方程就得到了應力場。基于這些場，結合虛功原理就可以列出一個剛度方程，該方程以剛度矩陣為系數（積分就發生在這里，剛度矩陣需要積分得到），以上面設的節點位移向量為未知數，方程右邊是通過邊界條件給出的節點載荷。解這個剛度方程就得到了節點位移向量。

有限元計算的中心問題就是求得節點的位移 （進而應變、應力），以使內力和 外力達到平衡： （3-1） d 是節點位移矩陣，黑體字表示矩陣或矢量。除了小變形、線彈性問題，方程2-1是非性的，要用迭代的方法解出： （3-2） (3-3) i 表示一個增量步內的第i 次迭代，n表示第n個增量步。