釋氣性評價
關注創建者：匿名 創建時間：2026-01-05
釋氣性評價的實例教程
PC/CP和EBM載具在吹掃4小時后才出現了明顯釋氣，而EBM/CNT和PEI/CNT載具在24小時后監測空氣中氟濃度仍低于0.6ppbV。5種聚合物材料釋氣性排序：PC > PC/CP > EBM > PEI/CNT > EBM/CNT。
▲晶圓評估：吹掃后轉移至晶圓表面氟濃度變化
測試發現，各種材料FOUP在第一天都出現了污染物向晶圓表面迅速轉移的情況。有意思的是，晶圓表面濃度與FOUP釋氣對應材料類型排序一致，這是巧合還是有必然聯系？換句話說，高釋氣性的FOUP是不是意味著一定會轉移較多的污染物到晶圓表面？
▲浸提評估：釋氣后浸提FOUP內表面氟濃度變化
測試發現，多數材料在第三次浸提后都出現了濃度下降的情況。這表明污染物在聚合物體內擴散是一個極其緩慢的過程，而且不同材料間的擴散動力學差異很大。同樣的問題，高釋氣性的FOUP是不是意味著一定會萃取到更多污染物？
總結
該文獻通過采用釋氣、晶圓和浸提三種方式，組成了一套高氟污染下評估聚合物材料釋氣性的方案。當FOUP被污染后，短時間內通過吸附和解吸在微環境空氣中氟濃度會達到高值。靜置24小時后再做吹掃，不同聚合物釋氣性就會有差異化。同樣，在吹掃后微環境空氣污染物向晶圓表面轉移程度同樣也有差異。結合多次浸提實驗結果表明，聚合物由體向表的擴散是一個緩慢過程。由此產生一個疑問，半導體化學分析從業者到底如何在實踐中綜合運用以上方式并對材料釋氣性進行有效評估，是值得思考的話題。
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