測量儀器行業的案例
從微納米到百米測量，中圖國產智能精密測量儀器著力突破核心技術，增強高端供給
可廣泛應用于芯片、半導體制造及封裝工藝檢測、精密配件、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，能夠對芯片Z向實現微納尺度的3D掃描和重建，精確測量表面的高度輪廓尺寸；全自動上下料平臺，配置掃描槍，高效實現產線全自動化生產。
4、強化人才培養
中圖儀器攜手深圳職業技術學院，共同培養集成電路創新型技術技能人才。雙方就校企聯合開發、人才培養、實訓基地等方面進行了深入的交流并達成初步合作共識，2023年2月20-24日，第一批精英實訓班圓滿結課。
中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊。歷經20年的技術積累和發展實踐，研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。
未來，中圖儀器仍將繼續專注于精密測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新，為中國制造技術的快速發展貢獻力量！
展開 AI影像測量：開啟測量儀器的智能之眼
中圖AI影像測量效率和精度
1、測量效率對比
單個工件的單次測量時間由131s縮短至AI測量28s，效率提升4.5倍
2、重復性對比
重復性大于0.02mm的尺寸占比降低81%，測量數據更穩定，重復性更佳
3、人員一致性對比
三個不同的操作員分別使用AI測量的數據一致性比手動測量的一致性要好很多
中圖儀器的影像測量AI自動尋邊技術，可以大幅提高測量效率，助力企業打造自動化、無人化、智能化生產線。
中圖儀器高端裝備亮相2023深圳工業展，推進精密測量儀器自主智能化進程
中圖儀器是一家自主研發型精密測量儀器公司，堅持以技術創新為發展基礎，歷經20年的技術積累和發展實踐，致力于推進高端裝備產品向自主化、智能化、高端化邁進，能為不同客戶、不同行業、不同應用場景提供全尺寸鏈解決方案，助力先進制造業發展。
中圖儀器高端裝備亮相2023深圳工業展
1、Mars Classic系列三坐標測量機
移動橋式結構的Mars Classic系列三坐標測量機開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。配備高精度的導軌、測頭和控制系統，并結合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結果。
Mars Classic系列三坐標測量機支持觸發、掃描和非接觸式探測系統，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。常規機型有575、686、7106、8106等。
2、GTS激光跟蹤儀
激光跟蹤儀是大尺寸三維空間測量利器，航空航天、高鐵動車、船舶、汽車、電力能源、大型裝備、工業機器人等行業都離不開它。
GTS激光跟蹤儀百米工作空間高性能，突破了百米的測量范圍、毫秒級的測量時間、微米級的測量精度以及動態實時跟蹤測量等各項技術難點，具有三維坐標、位置、姿態、尺寸、形狀、動態運動參數等測量功能，可實現最大半徑80米范圍內的測量。
3、Novator系列全自動影像儀
Novator系列全自動影像儀多種測量新特性、新功能的創新支持，具有獨立升降、可更換表光，支持頻閃照明、高速飛拍，融入閃測拼接測量，發揮綜合優勢。
Novator系列全自動影像儀量程從200mm到1500mm全覆蓋，測量簡捷、穩定高效，滿足多種復雜尺寸測量需求。
展開 國產三坐標測量機|中圖儀器全自主研發，實現高精度三維尺寸測量
2、全自主研發控制器、測頭測座、軟件
Power DMIS測量軟件
Power DMIS測量軟件是中圖儀器自主研發的三坐標測量分析軟件，擁有自主可控的核心技術。該軟件支持DMIS與I++標準協議，并通過了德國PTB認證。
主要特點：
（1）界面簡潔友好，互動性強。各功能模塊易識別和理解，用戶可以快速上手；
（2）機型庫、測頭系統、I++插件、DMIS轉化功能，極大提高軟件的兼容性和適配性，并得以豐富各種應用場景；
（3）概要程序模式消除掉冗長的DMIS代碼顯示，大大降低對用戶編程技能的要求，參數化視圖交互功能實現所設即所測；
（4）創建元素提供多種測量和構造方法，用戶可以按需設置，既增加測量應用場景，又通過豐富的視圖工具快捷設置視圖顯示；
（5）提供路徑顯示和碰撞檢測，利于直觀形象的查看設備運動路徑，保證安全高效測量；
（6）數據中心提供豐富多樣的數據管理功能，可實現數據的本地化管理，也可按客戶需求導入數據庫，適用于各類企業和行業。
在選擇合適的測量方法時，需要綜合考慮不同測量設備的特點和優勢。無論是工作過程、測量精度，還是應用領域，三坐標測量機都展現出了強大的優勢和潛力。同時，中圖儀器國產三坐標測量機也在不斷迎頭趕上，為用戶提供測量解決方案。
展開 
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌
2、二維超精密測量
CP系列臺階儀，亞埃級垂直分辨率。作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。
顯微測量技術在先進制造業中具有至關重要的意義。它為制造業提供了準確、可靠的測量手段，幫助企業實現了更高水平的制造和更高質量的產品。隨著科技的不斷進步，相信顯微測量技術將會在未來取得更大的突破和應用。
展開 從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測量儀在拋光至粗糙表面測量中的技術突破
最小至8nm的臺階高標準塊的測量能力，以及臺階測量精度（0.3%）和重復性（0.05%），奠定了臺階儀在微納米臺階與膜厚快速測量領域絕對的實力。
3.小尺寸特征測量：臺階儀能夠測量非常小的特征尺寸，這對于微電子和微機電系統（MEMS）等領域非常重要。
4.適應性：具有很強的應用場景適應性，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位。
在納米級表面粗糙度分析中的測量優勢：
具備透光性的薄膜，光學儀器無法測量獲取準確的膜厚數值，而臺階儀測量膜厚不受基材透射率影響，規避光學儀器的弱點。
選擇合適的測量技術，取決于包括被測材料的特性、所需的測量精度、測量范圍、表面特性以及預算等因素。在某些情況下，也可能需要結合使用多種測量技術，以獲得最全面和準確的測量結果。
展開 2026江蘇測量控制與儀器儀表展會
相約長三角儀器展，鏈接全球智造伙伴
2026江蘇測量控制與儀器儀表展會
時間:2026年7月16日-18日 地點: 南京國際展覽中心
邀請函
扎根長三角與機遇相擁
聚焦前沿科技、共探行業未來
匯聚行業頂尖力量、搭建專業交流平臺
相約長三角儀器儀表展 一站式解鎖行業寶藏資源
市場概況
本屆展會恰逢行業智能化轉型加速期與國產替代黃金期，我們匯聚全球前沿技術與優質資源，聚焦工業AI芯片、智能傳感、精密檢測等核心領域，集中呈現高端儀器國產化率突破52%后的創新成果。在這里，您將見證AI技術與儀器設備的深度融合，對接產業鏈上下游的協同機遇。我們堅信，這場立足長三角、輻射全國、鏈接全球的行業盛會，終將成為技術交流的橋梁、合作共贏的平臺、產業升級的引擎，與所有從業者攜手書寫中國儀器儀表高質量發展的嶄新篇章！
展品范圍
★自動化儀表及控制：
工業自動化儀表（溫度，壓力，流量，物位）、自動化控制系統、傳感器與無線傳感器網絡系統、智能調節閥與執行系統等。
★在線分析：
在線實時監測、分析、傳輸系統。
★專用儀器儀表：
分析儀器、光學儀器、實驗儀器、計量測試儀器、地址儀器、測繪儀器、食品/農產品檢測裝置、電子測試儀器與電工儀表、氣象儀器、海洋儀器、空間儀器等。
★產業鏈：
芯片、傳感器、元器件、材料、包裝、軟件、集成、儀器儀表賦能的行業觖決方案等。
★戰略新興產業技術：
微納米技術與器件、核電儀控技術與設備、國防高科技民品化技術設備。
展開 納米級測量儀器：窺探微觀世界的利器
納米科技的迅猛發展將我們的視野拓展到了微觀世界，而測量納米級尺寸的物體和現象則成為了時下熱門的研究領域。納米級測量儀器作為一種重要的工具，扮演著重要的角色。那么，如何才能準確測量納米級物體呢？
在納米級測量中，由于物體尺寸的相對較小，傳統的測量儀器往往無法滿足精確的要求。而納米級測量儀器具備高精度、高分辨率和非破壞性的特點，可以測量微小的尺寸。
1、光學3D表面輪廓儀
SuperViewW1光學3D表面輪廓儀以白光干涉技術原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
2、激光共聚焦顯微鏡
VT6000激光共聚焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法共同組成測量系統，能用于各種精密器件及材料表面的非接觸式微納米測量。能測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
3、臺階儀
CP200臺階儀不同于光學輪廓儀和顯微鏡的是它的測量方式是接觸式探針測量。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
除了上述所提及的儀器外，還有一些其他的納米級測量儀器也日益成為研究的熱點，例如激光干涉儀。這些測量工具各有特點，可用于不同的納米級尺寸測量需求。
納米級測量儀器在納米科技研究領域中扮演著重要的角色。通過共聚焦顯微鏡、光學輪廓儀等的運用，科研人員們能夠更加深入地了解納米世界的奧秘。
展開 單片機控制的直流瞬態響應測量儀器
用單片微型計算機控制直流(電路或電源)瞬態響應測量儀器是一種數據采集和處理系統,也是一種機械、電子一體化的設備,其組成部分包括12位A/D轉換器、同步采樣電路、存貯器、單片計算機、D/A轉換及微型打印機等。瞬態特性可用普通示波器觀測或由微型打印機記錄。經過數據處理直接給出瞬態特征參數。實際應用證明,儀器便于操作、準確度高而成本低。研究成果已通過鑒定。
單片機控制的直流瞬態響應測量儀器.pdf
幾何量測量基本原理及精密儀器
在現代科技的發展中，幾何量測量已經成為許多工程領域的重要部分。通過準確測量物體的形狀、尺寸等幾何屬性，可以為產品設計、機械加工、工程測量等提供重要的依據。如何進行幾何量測量以及如何選擇合適的儀器？
幾何量測量主要涉及到長度、角度、形狀等幾個方面，其中長度測量是基本的一種。長度測量的基本原理是利用測量儀器的刻度尺或測量傳感器，通過對物體兩個端點之間的距離進行測量，從而確定物體的長度。而角度測量則是通過測量物體之間的夾角來確定物體的角度。形狀測量則是通過測量物體表面的曲率、彎曲程度等指標，來描述物體的形狀特征。
傳統的幾何量測量儀器包括千分尺、角度尺、游標卡尺等，這些儀器能夠滿足一般的幾何量測量需求。但是隨著科技的發展，越來越多高精度測量儀器被應用于幾何量測量領域。從納米級光學3D表面輪廓儀通過光學原理測量物體的三維形狀，到百米級激光跟蹤儀高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的坐標和空間姿態測量，大大提高了幾何量測量的精度和效率：
1、光學3D表面輪廓儀
SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，從0.1nm級別的超光滑表面到數十微米級別的粗糙度表面，儀器均能實現高精度測量。
2、三坐標測量機
MarsClassic系列三坐標是國產三坐標測量機，控制器、測頭測座、軟件全自主研發，安全可控。最大允許示值誤差（1.5+L/350）μm，測量行程從500mmx700mmx500mm延伸到800mmx1000mmx600mm，提供了豐富的計量解決方案。
展開 表面粗糙度測量儀器常見故障
表面粗糙度測量儀是一種專門用于對物體表面粗糙度進行測量的設備，能夠為各種產品提供精確的表面質量檢測結果。它通過檢測測試件表面形貌的參數來反映表面粗糙度的測量值。精加工的表面粗糙度計算https://techinfo.misumi.com.cn/tools/caculation/37/表面粗糙度測量儀主要有兩種類型：直接型和非直接型。
表面粗糙度測量儀器在長期使用過程中，可能會出現一些常見故障。以下是一些常見的故障及其可能的原因：
計算結果不正常：這可能是由于探測器與驅動裝置連接不正確引起的。解決方法是重新將探測器正確連接至驅動器。
超出測量范圍：當顯示器頂部出現紅色提示時，通常表示結果超出了測量范圍。此時，需要正確安裝并設置測量儀器，或考慮增大測量范圍。
儀器無法開機：這可能是由于AC電源適配器未連接、電池電量低或電池開關關閉導致的。解決方法是給電池充電或打開電池開關。
傳感器故障：傳感器是表面粗糙度測量儀器中使用頻率最高的部件，也是最容易出現故障的部件之一。傳感器可能因塵土、水分、油漬、碰撞等原因損壞，導致測量結果不準確或測量范圍有問題。此時，最好的解決方法是更換新的傳感器。
記錄筆無反應：這可能是由于接通記錄儀的插頭接觸不良、放大器（電子裝置）部件故障、記錄筆機構內的線圈電阻下降、記錄器線圈斷路或記錄器變換電阻的插銷接觸不良等原因引起的。對于這類故障，可以嘗試更換記錄筆機構，或排除其他故障。
此外，表面粗糙度測量儀器的其他零部件，如顯示屏、鍵盤、內部電路板等，也可能出現故障。如果出現這些問題，通常需要打開機器進行檢查和更換零部件。
展開 
測量食用油品質的折射率可以用什么儀器？
為測量食用油折射率，基于泰曼-格林干涉儀，在室溫20℃、光源波長632.8 nm條件下，通過面陣CCD相機拍照獲取食用油的干涉條紋圖像，并利用圖像處理技術，快速測量出不同食用油樣品干涉條紋的移動量，進而求得其折射率。為提高檢測效率關于測量食品的折射率儀器工采網推薦使用加拿大FISO 光纖折射率傳感器 - FRI。
FRI是一種光纖折射率傳感器，作為一種小型傳感器，FRI可以提供在線折射率測量，同時使用它可以持續對任何過程進行監控，不管這種過程是工業過程還是食品工程的化學過程，這樣就排除了人工采樣和測量一致性的問題。此外，FRI傳感器還可在不同的溫度、EMI和其他條件變化的環境下正常工作。在任何涉及流體化學和流體質量控制的應用中，包括冷卻系統，上述研發部門的工程師們可能需要通過在一段時間內，監控具體特性的性能來改善過程和產品技術。而在運行、過程、制造過程或產品的整個生命周期，特定的產品性能變化將在折射率上表現出來。
FRI光纖折射率傳感器是測量工業、化學和食品加工過程中流體折射率的理想產品。它們也常被用來測量油濃度比例。對于儀器行業的工程師而言，這種經現場驗證的解決方案無疑是一種寶貴的資產。FRI光纖折射率傳感器為業內現有應用提供了更好更可靠的折射率測量，同時，該傳感器也具備惡劣條件下持續在線監控流體折射率的新擴展能力。我們能夠提供兩種FRI光纖折射率傳感器型號：FRI-BA 和 FRI-NP。前者為小型迷你封裝，后者為堅固的不銹鋼封裝 ，適合工業領域的應用。
展開 微納米表面輪廓形貌用什么測量儀器
準備工作：在使用微納米表面輪廓儀進行測量之前，需要對儀器進行校準和調試。同時，需要保證被測物體表面干凈、光滑，避免灰塵、油污等物質的干擾。
2. 正確操作：在進行測量時，需嚴格按照儀器的操作手冊進行操作。同時，要注意保持儀器的穩定性，避免震動和溫度變化對測量結果的影響。
3. 數據處理：測量完成后，需要對測量得到的數據進行處理。通常可以使用專業的數據處理軟件進行數據導出、曲線擬合、參數計算等步驟，以獲得準確的測量結果。
4. 維護保養：長期使用微納米表面輪廓儀需要注意儀器的維護保養。定期清潔儀器表面和光路，檢查和更換損壞部件，以保證儀器的正常使用和準確測量。
展開 “軟件即儀器”——全新架構 Xtreme Vision顯微測量軟件平臺
“軟件即儀器”，工業測量軟件較為復雜，涵蓋了軟件架構、信號處理、圖像處理、數值計算、空間幾何、三維建模、3D渲染、并行計算、人機交互等多種交叉軟學科，是測量儀器系統極為重要的組成部分，中圖儀器一直致力于自主化工業測量軟件的開發和應用。
Xtreme Vision顯微測量軟件是中圖儀器為SuperView系列光學3D表面輪廓儀、VT系列共聚焦顯微鏡打造的一款功能強大的微觀形貌測量分析平臺,廣泛應用于對器件表面質量要求極高的光學加工、半導體制造與封裝、超精密加工、3C產業鏈、航空航天、國防工業以及科學研究等領域。
XtremeVision顯微測量軟件平臺集成了3D形貌重建，多工具測量分析，影像觀察測量以及自動化測量四大功能模塊，全力滿足不同領域材料的高精度形貌表征需求：
1、非接觸式無損檢測，高精度全面三維成像，簡明流暢的界面設計致力于為用戶帶來更加舒適的測量體驗，告別繁瑣流程，新手小白也能迅速上手;
2、3D測量界面可以對掃描數據進行分析，豐富的測量工具包可還原樣品微小細節；
3、2D影像可用于直接對視場內樣品標注測量，記錄樣品二維尺寸；
4、自動化綜合了所有測量場景，模板一鍵導入，就能自動高效完成任意多點位的測量分析所有流程，解放雙手省心省力。
展開 制冷系統測量的方法、意義和儀器儀表的選擇、檢定
例：標準電阻電阻值和溫度之間的數值關系
測量儀器的分類
按其用途可分為范型儀器和實用儀器兩類。
一、范型儀器：
對其他測量儀器進行標定和刻度。準確度很高，對它的保存和使用有較高的要求。精度0.2級以上（0.1、0.01、0.02、0.05）。
二、實用儀器：
1、試驗室用儀器：必須要提供關于它們讀數的標定曲線或數值表，使用時應考慮周圍環境對示值的影響(如溫度、壓力、磁場、振動等)，其測量結果具有較高的準確度；精度0.2～0.5級（0.2）。
2、工程用儀器：不需要標定資料。其準確度是預先根據其結構、制造和運用條件定出的。對它的要求是動作迅速，使用簡單、可靠，其測量結果應能滿足工程測量誤差所允許的范圍。精度0.5～4級（0.5、1、1.5、2.5、4）。
測量儀器的主要性能指標
性能指標決定所得測量結果的可靠程度。主要有：精確度、恒定度、靈敏度、靈敏度阻滯、指示滯后時間等。
1、精確度。測量結果與真值一致的程度。它是系統誤差和隨機誤差的綜合反映。常用精度表示，為儀器滿量程時所允許的最大相對誤差的百分數，即：
2、恒定度。儀器多次重復測量時，其指示值穩定的程序，稱為恒定度。通常以讀數的變差來表示。
3、靈敏度。它以儀器指針的線位移或角位移與引起這些位移的被測量的變化值之間的比例S來表示。
4、靈敏度阻滯。靈敏度阻滯又稱為感量,感量是足以引起儀器指針從靜止到作極微小移動的被測量的變化值。一般儀器的靈敏度阻滯應不大于儀器允許誤差的一半。
5、指示滯后時間。
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