微透鏡集成技術
關注創建者：匿名 創建時間：2026-01-04
微透鏡集成技術的實例教程
光通過介質傳播到微透鏡，然后我們使用Coordinate Breaking，使之與光纖對準相關的各種參數相對應 。Lumerical 得到的傳播角度在 System Explorer 的 Field 部分手動設置為 ZOS。
為了使耦合高效，重要的是設計一個具有最佳曲率的微透鏡，同時考慮到與光纖的距離。OpticStudio 提供了優化系統的工具，或者通過簡單的掃描一個或兩個參數來可視化對耦合效率的影響。我們在下面顯示了鏡頭曲率和光纖在 x 方向上橫向偏移對耦合效率的影響。
上面的掃描表明，對于微透鏡中心和光纖之間 300μm 的給定距離，曲率半徑約為 500μm 時達到最大耦合效率。然后將微透鏡的曲率半徑設置為 500μm。
公差分析
微尺度耦合器設計可以實現高光纖-波導耦合效率，其效率通常對錯位非常敏感。在封裝中，滿足所需的對準公差具有挑戰性且成本高昂。雖然可以注意到它會導致峰值耦合效率降低，放寬對準容差的常見方法是在微尺度耦合器中添加透鏡。
添加微透鏡為從光柵中提取的光束留出了一些空間 ，以便于其擴束并朝向光纖準直。擴束和準直依賴于光和大于波長尺度的特征結構進行宏觀相互作用。這可以通過 OpticStudio 中的物理光學傳播 （POP） 進行完全模擬。POP 使用標量衍射理論在宏觀系統中傳播標量場。
對于 300μm 硅層頂部帶有400μm曲率半徑的微透鏡的光柵耦合器，ZBF 平面旋轉 5 度并耦合到 13μm 束腰的光纖中，這表示光纖具有擴展的纖芯。然后，可以通過 Universal Plot 工具對 coordinate breaks執行掃描來評估 fiber alignment對耦合效率的影響。
Zemax 提供耦合效率。
展開 光通過介質傳播到微透鏡，然后我們使用Coordinate Breaking，使之與光纖對準相關的各種參數相對應 。Lumerical 得到的傳播角度在 System Explorer 的 Field 部分手動設置為 ZOS。
為了使耦合高效，重要的是設計一個具有最佳曲率的微透鏡，同時考慮到與光纖的距離。OpticStudio 提供了優化系統的工具，或者通過簡單的掃描一個或兩個參數來可視化對耦合效率的影響。我們在下面顯示了鏡頭曲率和光纖在 x 方向上橫向偏移對耦合效率的影響。
上面的掃描表明，對于微透鏡中心和光纖之間 300μm 的給定距離，曲率半徑約為 500μm 時達到最大耦合效率。然后將微透鏡的曲率半徑設置為 500μm。
公差分析
微尺度耦合器設計可以實現高光纖-波導耦合效率，其效率通常對錯位非常敏感。在封裝中，滿足所需的對準公差具有挑戰性且成本高昂。雖然可以注意到它會導致峰值耦合效率降低，放寬對準容差的常見方法是在微尺度耦合器中添加透鏡。
添加微透鏡為從光柵中提取的光束留出了一些空間 ，以便于其擴束并朝向光纖準直。擴束和準直依賴于光和大于波長尺度的特征結構進行宏觀相互作用。這可以通過 OpticStudio 中的物理光學傳播 （POP） 進行完全模擬。POP 使用標量衍射理論在宏觀系統中傳播標量場。
對于 300μm 硅層頂部帶有400μm曲率半徑的微透鏡的光柵耦合器，ZBF 平面旋轉 5 度并耦合到 13μm 束腰的光纖中，這表示光纖具有擴展的纖芯。然后，可以通過 Universal Plot 工具對 coordinate breaks執行掃描來評估 fiber alignment對耦合效率的影響。
Zemax 提供耦合效率。
展開 使用界面配置光柵結構
使用嚴格的FMM / RCWA，我們模擬了像素大小等于或小于2 μm的CMOS傳感器，尤其是研究了微透鏡的有效性。
集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
通過連續減小CMOS傳感器的像素尺寸，近幾十年來已經實現了越來越好的空間分辨率，并且這種趨勢有望繼續。但是，這便將關注點放到位于每個像素頂部的微透鏡上。當像素尺寸接近波長時，微透鏡是否仍可以按預期聚焦光線？我們在選定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此問題。
但是，這便將關注點放到位于每個像素頂部的微透鏡上。當像素尺寸接近波長時，微透鏡是否仍可以按預期聚焦光線？我們在選定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此問題。
集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
使用嚴格的FMM / RCWA，我們模擬了像素大小等于或小于2 μm的CMOS傳感器，尤其是研究了微透鏡的有效性。
使用界面配置光柵結構
在VirtualLab Fusion中，光柵結構是在“堆棧”中配置的，根據光柵的幾何形狀，可以用一系列界面或特殊介質構造光柵結構。在這種使用情況下，說明了基于界面的光柵結構的配置。
For more information send a message to: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com
展開 與此同時，這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。
2. 建模任務
采用的幾何參數來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
采用的幾何參數來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)
4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)
5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)
6. 3D仿真與結果對比
7. 走進VirtualLab Fusion
8. VirtualLab Fusion的工作流程
? 構造光柵結構
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [應用案例]
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [應用案例]
? 計算光柵結構內部的場分布
9. VirtualLab Fusion技術
10.
展開 
微透鏡集成技術的相關專題、標簽、搜索
微透鏡集成技術的最新內容
本文介紹了一種用于光子集成電路光纖-波導耦合系統的多尺度仿真工作流程。光與光柵耦合器在微觀上的相互作用使用 Ansys Lumerical 進行仿真，而 Ansys Zemax OpticStudio 則用于宏觀傳播和公差分析。此示例的工作流由四個步驟組成。前兩個步驟模擬了光從光柵耦合器傳播到光纖（“出”方向），而后兩個步驟模擬了光從光纖傳播到光柵耦合器（“入”方向）。分析了兩個方向對系統損耗的貢獻
本期文章將介紹一種集成微透鏡輔助光柵耦合器（ML-VGC）的設計，以提高垂直入射條件下的耦合效率。利用熱回流工藝將微透鏡集成到一個標準的220nm的絕緣體上硅（SOI）光柵耦合器，這種集成方法在操縱垂直入射光的投射角方面提供了更大的靈活性，使其與底層光柵的最佳耦合角對準，從而有效地提高器件的總體耦合效率（CE）。
引言
從光纖到硅器件的高效光耦合是硅光子學中的關鍵技術。端面耦合器由于其需要制造在芯片表面上而面臨限制
在VirtualLab Fusion中，光柵結構是在“堆棧”中配置的，根據光柵的幾何形狀，可以用一系列界面或特殊介質構造光柵結構。在這種使用情況下，說明了基于界面的光柵結構的配置。
使用界面配置光柵結構
通過連續減小CMOS傳感器的像素尺寸，近幾十年來已經實現了越來越好的空間分辨率，并且這種趨勢有望繼續。但是，這便將關注點放到位于每個像素頂部的微透鏡上。當像素尺寸接近波長時，微透鏡是否仍可以按預期聚焦光線？我們在選定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此問題。
集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
1. 摘要
在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時，這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。
2. 建模任務
<p>本期文章將介紹一種集成微透鏡輔助光柵耦合器（ML-VGC）的設計，以提高垂直入射條件下的耦合效率<sup>[1]</sup>。利用熱回流工藝將微透鏡集成到一個標準的220nm的絕緣體上硅（SOI）光柵耦合器，這種集成方法在操縱垂直入射光的投射角方面提供了更大的靈活性，使其與底層光柵的最佳耦合角對準，從而有效地提高器件的總體耦合效率（CE）。</p><p><br></p><p><strong>引言
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本文介紹了一種用于光子集成電路光纖-波導耦合系統的多尺度仿真工作流程。光與光柵耦合器在微觀上的相互作用使用 Ansys Lumerical 進行仿真，而 Ansys Zemax OpticStudio 則用于宏觀傳播和公差分析。此示例的工作流由四個步驟組成。前兩個步驟模擬了光從光柵耦合器傳播到光纖（“出”方向），而后兩個步驟模擬了光從光纖傳播到光柵耦合器（“
大綱
為了解決傳統透鏡多組鏡片的厚度問題，因而開發出具有輕薄、多功能和數組特性的微透鏡。有別于以往使用扇形澆口制作微透鏡數組，此案例開發出快速、均勻且具備良好光學性質之微透鏡數組成型制程。藉由利用Moldex3D模流軟件，探討不同流道系統之利弊，改善傳統流道系統冷流道塑料損失，驗證基盤成型的可行性，分析仿真結果并優化產品設計。最終在實際成型實驗中，成功地于4吋基盤上制作出質量良好之雙面微透鏡數組
大綱
為了解決傳統透鏡多組鏡片的厚度問題，因而開發出具有輕薄、多功能和數組特性的微透鏡。有別于以往使用扇形澆口制作微透鏡數組，此案例開發出快速、均勻且具備良好光學性質之微透鏡數組成型制程。藉由利用Moldex3D模流軟件，探討不同流道系統之利弊，改善傳統流道系統冷流道塑料損失，驗證基盤成型的可行性，分析仿真結果并優化產品設計。最終在實際成型實驗中，成功地于4吋基盤上制作出質量良好之雙面微透鏡數組
1. 摘要
在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時，這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。
2. 建模任務
采用的幾何參數來自
