[VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析

1. 摘要

在最近的幾十年里,COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時,這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。  

 

2. 建模任務

 

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖1

采用的幾何參數來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

 

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖2

采用的幾何參數來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

 

 

3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖3

  

4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖4

 

5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖5

 

6. 3D仿真與結果對比

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖6

 

7. 走進VirtualLab Fusion

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖7

 

8. VirtualLab Fusion的工作流程

? 構造光柵結構

- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [應用案例]

- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [應用案例]

? 計算光柵結構內部的場分布

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖8

 

9. VirtualLab Fusion技術

 

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖9

10. 文件信息

 [VirtualLab] 集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析的圖10

 

更多信息

-     Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers

-     Configuration of Grating Structures by Using Interfac es

-     Configuration of Grating Structures by Using Special Media

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