光學干涉測量的案例
[NEWSLETTER] 干涉測量中的衍射效應
光學干涉測量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實驗測量技術，主要通過相干重疊場之間的相對相位差所產生的強度調制--應用于從顯微鏡到天文學等許多不同領域。雖然其中許多應用可以在忽略衍射效應的情況下進行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當系統中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
VirtualLab Fusion 在單一平臺上提供了靈活的可交互建模技術，可幫助您在仿真中實現適當的精度與速度平衡：僅在必要時才考慮衍射效應。作為演示示例，下面是對干涉測量系統中矩形物體樣品的分析。該示例包括是否考慮衍射影響的結果對比。在干涉測量方面，我們還展示了光學相干斷層掃描（OCT）的工作原理，OCT是最重要的醫學成像形式之一。
由尖銳邊緣引起的干涉儀衍射研究
T本用例展示了干涉測量應用中的衍射效應。為此，我們研究了一個具有矩形高度結構的樣品在邁克爾遜干涉儀中引起的衍射。
光學相干斷層掃描的工作原理
使用低相干性氙燈光源，建立一個邁克爾遜干涉儀來演示光學相干斷層掃描（OCT）的工作原理。
展開 [NEWSLETTER] 干涉測量中的衍射效應
光學干涉測量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實驗測量技術，主要通過相干重疊場之間的相對相位差所產生的強度調制--應用于從顯微鏡到天文學等許多不同領域。雖然其中許多應用可以在忽略衍射效應的情況下進行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當系統中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
VirtualLab Fusion 在單一平臺上提供了靈活的可交互建模技術，可幫助您在仿真中實現適當的精度與速度平衡：僅在必要時才考慮衍射效應。作為演示示例，下面是對干涉測量系統中矩形物體樣品的分析。該示例包括是否考慮衍射影響的結果對比。在干涉測量方面，我們還展示了光學相干斷層掃描（OCT）的工作原理，OCT是最重要的醫學成像形式之一。
由尖銳邊緣引起的干涉儀衍射研究
T本用例展示了干涉測量應用中的衍射效應。為此，我們研究了一個具有矩形高度結構的樣品在邁克爾遜干涉儀中引起的衍射。
光學相干斷層掃描的工作原理
使用低相干性氙燈光源，建立一個邁克爾遜干涉儀來演示光學相干斷層掃描（OCT）的工作原理。
展開 用于光學測量的菲索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
建模任務
傾斜平面下的觀測條紋
圓柱面下的觀測條紋
球面下的觀測條紋
VirtualLab Fusion 視窗
VirtualLab Fusion 流程
設置入射場
- 基本光源模型[教程視頻]
定義元件的位置和方向
- LPD II: 位置和方向[教程視頻]
正確設置通道的非序列追跡
- 非序列追跡的通道設置[用戶案例]
VirtualLab Fusion 技術
文件信息
展開 [NEWSLETTER] 使用干涉儀的光學測量
光學計量學是精確測量的重要技術。例如，它經常被用于表面測試，因此在質量控制中發揮著重要作用。VirtualLab Fusion可以幫助您對各種類型干涉儀進行建模，并將不同的光學表面和系統部件、甚至是傾斜和位移等對準錯誤都包含在模擬中。我們以兩個廣泛使用的干涉儀--Mach-Zehnder型和Fizeau型為例進行演示。
Mach-Zehnder干涉儀
我們在VirtualLab Fusion中建立了一個Mach-Zehnder干涉儀，并演示了元件的傾斜和位移是如何影響干涉條紋的。
用于光學檢測的Fizeau干涉儀
在非序列場追跡技術的幫助下，建立了一個Fizeau干涉儀，并顯示了幾個不同測試面的干涉條紋。
可發送信息了解更多詳情: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com
展開 
用于光學測量的菲索干涉儀
斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
摘要
使用干涉儀的光學測量
光學計量學是精確測量的重要技術。例如，它經常被用于表面測試，因此在質量控制中發揮著重要作用。VirtualLab Fusion可以幫助您對各種類型干涉儀進行建模，并將不同的光學表面和系統部件、甚至是傾斜和位移等對準錯誤都包含在模擬中。我們以兩個廣泛使用的干涉儀--Mach-Zehnder型和Fizeau型為例進行演示。
Mach-Zehnder干涉儀
我們在VirtualLab Fusion中建立了一個Mach-Zehnder干涉儀，并演示了元件的傾斜和位移是如何影響干涉條紋的。
用于光學檢測的Fizeau干涉儀
在非序列場追跡技術的幫助下，建立了一個Fizeau干涉儀，并顯示了幾個不同測試面的干涉條紋。
可發送信息了解更多詳情: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com
網站: http://www.infotek.com.cn / http://www.honglun-seminary.com
展開 用于光學測量的菲索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
建模任務
傾斜平面下的觀測條紋
圓柱面下的觀測條紋
球面下的觀測條紋
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定義元件的位置和方向
-LPD II: 位置和方向[教程視頻]
正確設置通道的非序列追跡
-非序列追跡的通道設置[用戶案例]
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文件信息
詳細閱讀
-Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
-Mach-Zehnder Interferometer
展開 VirtualLab Fusion用于光學測量的菲索干涉儀
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斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
建模任務
傾斜平面下的觀測條紋
圓柱面下的觀測條紋
球面下的觀測條紋
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展開 白光干涉儀(光學輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！
白光干涉儀廣泛應用于科學研究和工程實踐各個領域中。它作為一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，在測量坑的形貌方面扮演著舉足輕重的角色。
白光干涉儀怎么測量坑的形貌？它是利用干涉現象，使用白光源照射物體，并將反射光經過干涉儀的分光裝置后形成干涉圖樣。通過觀察干涉圖樣的變化，就可以獲得物體表面形貌的細節信息。
如何使用白光干涉儀來測量坑的形貌？在使用白光干涉儀測量坑的形貌時，將白光干涉儀的出光口對準坑樣的表面，調整儀器的焦距和位置，直到能夠得到清晰的干涉圖樣。然后，記錄下干涉圖樣的形狀和變化，最后進行數據處理和分析，就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉儀進行測量的過程中，我們需要注意一些細節：
1、保持儀器穩定性和準確性。
在使用過程中，盡量避免外界干擾和震動，以確保測量結果的準確性。
2、選擇適當的測量參數和條件。
根據不同的實際情況，可以調整白光干涉儀的參數，如照射角度、光源強度等，以獲得更精確的測量結果。
SuperViewW1白光干涉儀結合數字圖像處理技術和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學研究和工程實踐提供更有力的支持。
1、可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調節。
2、復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀在半導體封裝中對彈坑的測量
同時，白光干涉儀還可以結合其他測量手段，如激光共聚焦顯微鏡等，以獲得更全面的形貌信息。
展開 白光干涉儀測量原理及干涉測量技術的應用
白光干涉儀測量原理
基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射
光最終匯聚并發生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關物理量。
白光的特點及優勢：白光屬于多色光，具有連續的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內會出現彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內才會出現清晰的、對比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現高精度的測量，對于微觀形貌的測量具有獨特的優勢。
干涉測量技術的應用
1、在工業生產中的應用：
（1）半導體制造：在半導體芯片制造過程中，白光干涉儀可用于測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數，對芯片的制造工藝進行監控和質量檢測。例如，在光刻工藝后，可檢測光刻膠的厚度和表面平整度；在刻蝕工藝后，可測量刻蝕深度和表面粗糙度，確保芯片的性能和可靠性。而具備雙重防撞保護功能的白光干涉儀，在操作過程中更加安全可靠。Z 軸上裝有防撞機械電子傳感器以及軟件 ZSTOP 防撞保護功能，為精密的測量過程提供了雙重保障，讓用戶在進行半導體制造的高精度測量時多一重安心。
（2）光學加工：用于光學鏡片、透鏡、棱鏡等光學元件的表面形貌測量和質量檢測。可以測量光學元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數，幫助優化光學加工工藝，提高光學元件的質量。例如，在高精度光學鏡頭的制造中，白光干涉儀可以檢測鏡頭表面的微觀形貌，確保鏡頭的成像質量。
展開 光學設計中干涉現象難預測？OAS 軟件多結構干涉來解決
多結構干涉案例分析
簡介
在光學領域，多結構干涉現象是光波傳播過程中的重要特性，其形成機制源于光波在多個界面或結構間的多次反射與透射，進而引發光波相位和振幅的改變，最終產生復雜多樣的干涉圖樣。本案例使用 OAS 光學軟件，對多結構干涉現象進行精準模擬與分析，旨在為相關領域的研究和應用提供可靠的技術支持與理論參考。
案例設置與操作
參數設置
本案例為模擬多結構干涉現象，構建了特定的光學系統。系統中設置了五個光束光源，每個光源的束腰半徑均為 0.1mm，波長統一為 0.38μm。該波長處于紫外波段，在光刻、光譜分析等應用場景中具有重要意義。光束發出后，經過一枚理想透鏡，隨后光線聚焦于探測平面上。理想透鏡的引入為光線的聚焦提供了穩定且可預測的光學條件，確保了后續干涉圖樣探測的準確性。
光源設置及建模
OAS 光學軟件具備強大的建模功能，能夠精確構建復雜的光學系統。在本案例中，軟件成功實現了五個光束光源的參數化建模，準確設置了每個光源的束腰半徑和波長參數，確保光源特性與設計要求高度一致。同時，對于理想透鏡，軟件通過內置的光學元件庫調用并配置相應參數，精確模擬了透鏡對光線的聚焦作用，為光線在系統中的傳播路徑模擬提供了可靠的光學元件模型。
光線追跡
在本案例中，軟件對五個光束光源發出的光線進行了全面且精確的追跡，詳細計算了光線在經過理想透鏡過程中的折射情況，以及光線到達探測平面時的相位和振幅信息。基于光波的疊加原理，軟件對各光束在探測平面上的相位和振幅進行合成，從而精準模擬出多結構干涉所產生的復雜干涉圖樣，為后續的分析提供了直觀且準確的可視化結果。
展開 
光 · 學堂 | VirtualLab Fusion干涉檢測技術|干涉原理分析及光學系統建模 2026/6/23-24（上海場）
授課時間
2026/6/23（二）-6/24（三）AM 9:00-PM 16:00
授課地點
上海市嘉定區南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室
課程講師
訊技光電工程團隊及資深顧問
課程費用
3000RMB/1人次
(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)
課程簡介
縱觀歷史，光學為進行極其精確的測量提供了必要的手段，這是激發科學技術潛力的重要一環。對計量系統的分析不可避免地需要考慮物理光學效應(相干、偏振、干涉、行射等)，以產生現實、充分的結果。VirtualLab Fusion為這種分析提供了必要的工具，利用快速物理光學理論來促進快速仿真。
干涉系統被廣泛地應用于光學測量和光學檢測等領域。對這類系統工作原理的討論必須要結合物理光學的知識，如光的電磁場表示、光的波動性、光場的疊加等。顯微系統也是組成光學測量的一個重要組成部分，課程內容中也涵蓋了高NA系統，微觀與宏觀相結合的完整系統仿真如晶圓檢測系統，摩爾紋系統等。該課程無需軟件基礎。
展開 曲面測量工具|白光干涉儀五軸全自動測量發動機葉片
所以對于葉片的型面和幾何尺寸檢測也是非常重要的，但是就葉片的形狀來說常規測量方法很難進行測量。
白光干涉儀作為一款超高精度的光學3D輪廓儀，一直在超精密加工領域有著廣泛的應用，在大部分的應用場景中，都是采用標準的白光干涉儀機型測量平面類型零件的表面粗糙度，而在一些特殊行業及領域，針對一些有著曲面特征的零部件，如何解決其形狀不規則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題，成為了一個難題。
針對葉片類曲面零部件，白光干涉儀能夠在空間范圍內實現曲面全自動測量功能，能夠解決上述多個測量難題。
白光干涉儀特點：
1）可在測量軟件中直接加載生成零部件的3D模型；
2）根據3D模型可在零部件不同曲面上選擇多個測量點位并生成模板；
3）軟件能夠快速完成上述多個點位的自動測量并直接獲取分析數據；
中圖儀器白光干涉儀測量發動機葉片大空間自由曲面
展開 [NEWSLETTER] 基于干涉的光學測試系統
?為了對結構表面進行高精度檢查（通常用于半導體行業），可以使用基于干涉效應的光學測試系統。對這些設置的完整模擬需要包括所有物理光學效應，如結構處的衍射、相干性以及在圖像平面上產生的干涉。為了幫助光學工程師完成這項任務，快速物理光學軟件VirtualLab Fusion提供了一系列工具，包括系統中的衍射和非序列建模。
隨著新版本2023.1的發布，我們還提供了一種新的探測器概念，允許用戶直接根據場信息計算可能感興趣的任何物理量。為了了解所有這些工具的是如何工作的，我們展示了以下兩個示例。在第一個例子中，使用高NA物鏡檢查非對稱微結構晶片，而在第二個例子中我們使用不同形狀的測試表面顯示了來自經典斐索干涉儀的輻照度圖案。
用于微結構晶片檢測的光學系統
該用例顯示了高NA晶片檢測系統的快速物理光學模擬，該系統通常用于半導體工業中檢測晶片上的缺陷。
光學檢測用的斐索干涉儀
借助非連續場追跡技術建立了斐索干涉儀，并顯示了來自幾個不同測試表面的干涉條紋。
展開 最佳使用案例NO.1–干涉測量
用于光學測量的Fizeau 干涉儀
在第一份“最佳”時事通訊中，我們關注的是Fizeau和Mach-Zehnder干涉儀。
基于物理光學的VirtualLab Fusion是用于復雜系統建模的統一平臺，并具有非常人性化的用戶界面。
在VirtualLab Fusion中所實現的快速物理光學技術為著名的干涉儀的快速仿真提供了強有力的工具，從而使我們能夠研究干涉圖樣中的相干和色散效應。
在VirtualLab Fusion中，我們構建了一套Mach-Zehnder干涉儀，并展示了元件的傾斜和移動如何影響干涉圖案。
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