半導體特殊氣體的案例
BGF集團計劃收購KNW進軍半導體特殊氣體業務
BGF Eco Materials收購KNW是為了加強半導體方面的材料業務。特別是為了以KNW的核心子公司Fluorine Korea為跳板，進軍特種氣體市場。Fluorine Korea生產用于半導體設備沖洗的高附加值氣體—氟(F2)和六氟化硫(SF6)。
F2不受溫室氣體問題的影響，取代了原先用于設備清洗的三氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)和六氟乙烷(C2F6)，使用量持續增長。目前，F2由Central Glass、Linde、Fluorine Korea、曉星等生產，由于危險性高、處理條件苛刻，供應商有限。以SF6為例，在韓國擁有唯一的生產工廠，可以穩定供應。
Fluorine Korea目前為國內主要半導體企業、臺灣TSMC、UMC等供應F2、SF6。盡管全球半導體企業增設越來越多，但能夠供應F2和SF6的企業有限，因此預計未來的銷售額也會持續增長。
業界認為，BGF集團收購KNW是為了加強與三星電子的合作而進行的戰略收購。對于沒有氣體相關子公司的三星來說，確保穩定的特種氣體是必不可少的。BGF集團在收購KNW后，除了目前供應的特殊氣體外，還可能向三星電子追加供應多種半導體特殊氣體。
業內人士表示：“近幾年的供應鏈混亂使得國內半導體企業對材料內在化的需求變得強烈”，“與三星有親戚關系的BGF集團進軍半導體材料產業，對于BGF集團來說，將能確保穩定的需求方，而三星則有了可靠的供應商。“
除了此次收購KNW外，業內還關注BGF集團再度進軍半導體關聯產業的情況。BGF集團過去收購三星電子溫陽工廠拆分成立的STN半導體通信，進軍半導體封裝方面的業務。后來在2015年企業整改時，又出售給了SFA。SFA將STN半導體通信改名為SDA半導體。
展開 半導體式氣體傳感器:對電路板產生異味氣體檢測，避免發生火災
因此，本研究旨在通過先進的半導體式氣體傳感器技術，對電路板在過熱時產生的異味氣體進行早期檢測，從而提前發現潛在的火災風險。
對象產品
本研究選用的氣體傳感器型號為、和，這些傳感器以其高靈敏度和廣泛的檢測范圍，在氣體檢測領域有著廣泛的應用。
研究內容
1.對電路板產生的揮發性氣體進行分析
為了了解電路板在過熱時會產生哪些揮發性氣體，我們選取了五種不同類型的電路板，將它們加熱至250℃，并使用氣相色譜法與質量分析法對產生的氣體進行了分析。結果顯示，各電路板均產生了多種揮發性氣體，主要包括酒精、酰胺、酸類、酮類和芳香族化合物。這些氣體種類和濃度的差異，為我們后續選擇傳感器提供了重要的參考依據。
2.傳感器選型與工作電壓優化討論
為了找出與上述五種氣體相對應的傳感器靈敏度特性，以及最適宜的工作電壓，我們進行了詳細的實驗。實驗結果顯示，
TGS2600對各種氣體的靈敏度都較為低下，但靈敏度均衡性較好；
TGS2602則表現出與TGS2603相近的靈敏度，且隨著工作電壓的提高，對芳香族氣體的靈敏度顯著提高，對所有氣體的靈敏度均衡性也非常好；
而TGS2603對芳香族氣體幾乎無靈敏度，但對酒精和酮類氣體的靈敏度較高。考慮到實際應用中需要傳感器對各種氣體都具有良好的均衡性，我們選擇了工作電壓為5V的TGS2602作為最優傳感器。
各型號傳感器的靈敏度特性
3.揮發性氣體產生機制與傳感器響應確認
為了驗證傳感器的實際響應效果，我們在密閉容器內對PCB電路板上的配線模板施加了12A的過電流，并同時觀察TGS2602傳感器電阻的變化與配線模板的狀態變化。
展開 半導體制程中SF6氣體泄漏檢測
半導體行業作為現代科技領域的關鍵支柱之一，為各種電子設備的發展提供了堅實的基礎。在半導體制造的各個環節中，不同的氣體在特定應用中發揮著重要作用。其中，六氟化硫（SF6）作為一種重要的氣體，在半導體制造領域中具有廣泛的應用。
SF6的結構
SF6,六氟化硫。在其分子結構中，硫原子位于中心，六個氟原子均勻分布在其周圍，形成一個八面體的結構。這種對稱的八面體結構使得SF?分子具有非常低的極性，這也是其在高壓電氣設備中，作為絕緣氣體的原因之一。
SF6的性質
物理性質
無色、無味、不易燃、無毒、絕緣，比空氣重，可用于冷卻氣體，具有高介電強度和熱穩定性，難溶于水，但易溶于非極性有機溶劑。
化學性質
1，SF?是一個非常穩定的化合物，在常溫下幾乎不與其他化學物質反應；
2，在強紫外光的照射下，SF?會分解；
3，是人類已知的最強大的溫室氣體。
SF6在半導體制程中的應用
1. 清洗和刻蝕：六氟化硫純氣常被用于半導體制造過程中的清洗和刻蝕步驟。在半導體芯片制造中，表面的潔凈度對于電子元件的性能至關重要。六氟化硫可以通過其化學性質，有效地去除表面污染物和氧化層，確保制造出高質量的半導體器件。
2. 材料制備：在半導體材料的制備過程中，六氟化硫純氣常被用于控制氣氛環境。它可以作為穩定的氣氛成分，參與半導體材料的生長和沉積過程。通過控制六氟化硫氣氛，可以精確地調控半導體材料的結構和性能。
3. 氣體絕緣：六氟化硫純氣的高絕緣性使其在半導體設備中具有重要應用。在高壓電氣設備中，六氟化硫被用作絕緣介質，以防止電氣設備中的電弧放電。這有助于保護設備的穩定性和安全性。
4. 半導體設備的應用：六氟化硫純氣在半導體設備中的應用也是關鍵。它常被用作高壓電氣設備的絕緣介質，如電路開關、斷路器等。
展開 半導體封裝工藝為什么要測量氮氫混合氣體中的氫氣濃度？
在半導體技術快速發展的背景下，封裝工藝已成為影響電子器件性能和可靠性的關鍵環節。它不僅為脆弱的芯片提供物理保護，還承擔著電氣連接、散熱與環境隔離等重要功能。在這一復雜而精密的制造過程中，多種工藝氣體被廣泛應用，其中氮氫混合氣因其獨特的物化特性，成為多個封裝工序中不可或缺的氣體材料。
然而，氫氣的易燃易爆屬性也為生產安全帶來嚴峻挑戰。如何在高效利用氮氫混合氣的同時，嚴格控制氫濃度、預防泄漏與燃爆風險，已成為半導體封裝企業必須面對的核心安全問題。
一、氮氫混合氣體在半導體封裝工藝中的關鍵應用
氮氫混合氣通常由氮氣（N?）和氫氣（H?）按特定比例配制而成。氮氣化學性質穩定，常用于形成惰性氣氛，防止高溫工藝中的氧化現象；而氫氣具有較強的還原性，可有效去除芯片表面的氧化層，改善金屬層質量及焊接效果。兩者結合，在多個封裝環節發揮協同作用。
芯片焊接保護
在芯片與基板通過焊料連接的過程中，需在高溫環境下進行，此時芯片金屬表面極易氧化，導致虛焊或連接強度下降。通入適當比例的氮氫混合氣體，可形成局部還原性氣氛，抑制氧化并提高焊點浸潤性，從而顯著提升焊接良率與器件可靠性。
退火工藝
封裝過程中的退火處理用于釋放晶圓內部應力、穩定金屬薄膜結構。氮氫混合氣在此過程中既作為保護氣氛防止二次氧化，也借助氫氣的還原能力進一步清除殘留氧化物，提升界面質量。
化學氣相沉積（CVD）
在某些介質層或鈍化層的化學氣相沉積工藝中，氮氫混合氣可作為反應氣源或載氣。通過調控氫氮比例，可影響成膜速率、結構與成分，從而制備出如氮化硅等高品質薄膜。
表面處理與清洗
在封裝前道工序中，晶圓或芯片表面可能吸附有機物、微粒或自然氧化層，使用含氫的混合氣體可實施還原性清洗，恢復金屬表面活性，提高后續工藝的兼容性。
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科學家發現特殊半導體 可推動柔性材料開發
圖片說明：該半導體材料的壓縮狀況和加工碎片。 中國科學院上海硅酸鹽研究所供圖
來自中國科學院上海硅酸鹽研究所的消息，該所的史迅研究員、陳立東研究員與德國馬克斯-普朗克研究所的Yuri Grin教授等合作，發現了一種特殊的半導體材料，該材料在室溫具有和金屬一樣延展性和可彎曲性，有望應用于柔性電子。相關研究日前發表于《自然 材料學》雜志(Nature Materials)。
金屬和半導體已走進人們生產和生活的方方面面，但它們的力學性能迥異，兩者的加工技術也完全不同，金屬一般采用熔煉，結合機械加工、沖壓、精密等鑄造成型，而半導體則由于其脆性，一般采用粉末燒結等方法獲得塊體材料。
“一般的半導體材料，都是硬邦邦的一片，不能彎、不能拉，也不能壓縮。”陳立東研究員當天在受訪時介紹，偶然發現的該半導體材料兼具普通金屬和半導體的特征，既能導電又有延展性。
史迅研究員則表示，目前的無機材料尤其是半導體均為脆性材料，在大彎曲、大變形，或者拉伸狀況下極易發生斷裂，進而導致器件失效；而有機半導體相對無機半導體遷移率較低，且電學性能可調范圍較小，無法滿足半導體工業的蓬勃發展需求。新發現的特殊半導體材料具有良好延展性和彎曲性，因此有望應用于柔性電子技術領域，比如用于可穿戴設備等。
同時，科研人員介紹，該工作也將開啟尋找和發現其他具有類似金屬力學性能的半導體材料的研究。據悉，這項研究工作耗時四年半，得到了國家自然科學基金、中國科學院重點部署項目、上海市基礎重大項目和學科帶頭人等項目的資助和支持。
展開 OLED｜前三星顯示OLED材料研發高管出任SK Materials JNC CTO
公司創辦八年來，始終圍繞泛半導體產業鏈，在多維度為企業、政府、投資者提供權威而專業的咨詢服務，包括但不限于產業資訊、市場咨詢、盡職調查、項目可研、管理咨詢、投融資等方面，覆蓋企業成長周期各階段核心利益訴求點，在顯示、半導體、消費電子、智能制造及關鍵零組件等細分領域，積累了數百家大陸、臺灣、日本、韓國、歐美等高科技核心優質企業客戶。
特氣 | 韓國TEMC公司向三星電子供應半導體用特氣
CINNO Research產業資訊，TEMC 是一家專門從事用于半導體加工的稀有和特殊氣體的公司，從今年第三季度開始向三星電子供應其產品。隨著SK海力士第二代技術創新企業TEMC成功為三星電子供貨，韓國有望加快半導體特種氣體國產化步伐。
12月15日，據業內人士證實，TEMC自今年第三季度以來一直在向三星電子供應半導體工藝中使用的特殊氣體。
“隨著俄烏戰爭后氖氣價格暴漲，韓國國產化需求增加，”一位業內人士表示。
TEMC是沉積制程用的混合氣體，以及準分子激光的氣體、氙氣(Xe)、氪氣(Kr)、蝕刻制程用的CF系、一氧化碳(CO)、硫化碳(COS)等稀有氣體。生產各種特殊氣體產品，包括磷B2H6。2018年，SK海力士被選為第二家技術創新公司，并被評為第一合作伙伴。
特別是今年與POSCO合作，成功實現了氖氣的韓國國產化，備受矚目。氖氣是晶圓曝光工藝中使用的準分子激光的氣體的基本材料。從 4 月開始，SK 海力士開始使用 TEMC 的氖氣，并用 TEMC 的氣體替代了大約一半的氖氣總消耗量。在 2024 年，它還宣布了一項將它們全部本地化的計劃。此外，三星電子也將從今年第三季度開始供應TEMC Neon Gas。
對此，出于安全考慮，三星電子并不傾向于選擇同時向SK海力士和三星電子供貨的供應商。
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