Lease 和 Paid-Up 兩類 Ansys Zemax 許可證均可用于使用該工具。 Lumerical 必須具備 FDTD 許可證，且版本必須為 2023 R1.0 或更高版本。 3. Lumerical：準備光柵文件（.fsp） 附件中提供了 6 個簡單的光柵文件。

在文件TWM_waveguide_electrodes.icp中，光學調制器由NRZ電信號驅動，該電信號通過行波電極波導。光學調制器電極類型設置為"lumped"。行波電極波導對電信號產生濾波效果。

在文件轉換階段，必須注意文件命名法，以防止出現 OpticStudio YYY.DAT 文件覆蓋原始內部 Zygo XXX.DAT文件。與凸面情況一致，測得的干涉圖可以導出為 .INT 文件，使用 INT Grid to OpticStudio DAT 轉換器工具可以轉換為兼容的 OpticStudio 文件 .DAT 文件。

其計算特點可概括為： 內存消耗疊加：COMSOL的參數化掃描在"單實例多任務"模式下共享內存，但在集群分布式模式下，每個節點獨立運行一個COMSOL實例，內存需求線性疊加。

計算流程： 生成至少三套幾何級數細化的網格（粗/中/細，細化比 r 通常取 2） 在完全相同邊界條件下分別求解 計算網格收斂率 p： 計算細網格 GCI： 判定標準： GCI < 5% 為優秀，5%-10% 可接受，>10% 需繼續加密網格。 計算特點： 同一模型需求解 3-5 遍，細網格自由度可能是粗網格的 8-64 倍，計算量呈指數級放大。 3.

（a）波導結構示意圖；（b）K空間分析圖 圖3 基于RMG的L型光柵波導布局圖 光柵優化：RCWA結合PSO的精準設計 為實現理論推導的衍射效率分布，團隊采用嚴格耦合波分析（RCWA）結合粒子群優化（PSO）算法，對折疊光柵、出耦合光柵及入耦合光柵的結構進行了優化設計： 1.確定光柵核心參數：選用532nm波長，HOYA-FD60W玻璃為波導基底（折射率1.817），波導厚度1mm

序列分組 NSC光斑圖 New序列選擇器的新二進制文件格式 多物理場工作流程 改進的STAR ZST文件處理 Pervasive Insights Granta材料選擇器 Ansys Optics(跨產品工作流程) 光學設計導出到Speos的增強功能 Lumerical DLLs的統一數據格式 改進的

用表面粗糙度的實驗測量來推導K相關散射的參數時，λ 的選擇完全隨機。λ 用于定義逆截止頻率和計算測量數據的功率譜密度 (PSD)，隨后功率譜密度 (PSD) 將被轉換成 BSDF。

Accuracy配置文件編輯工具，用于定制光場數據采樣的設置，在光通過光學系統傳播過程中使用 配置文件編輯和運行功能區 速度與精度 - 工具 奈奎斯特周期評估精度等級 場尺寸估計的功率部分 為了估算一個場所需的采樣（例如在空間域中），將提取一系列的1D切線數據，并使用傅立葉變換將其轉換為K域。

（3）載荷傳遞耦合分析———ANSYS多場求解器 ANSYS多場求解器可用于多類耦合分析問題，它是一個求解載荷傳遞耦合場問題的自動化工具，取代了基于物理文件的過程，并為求解載荷傳遞耦合物理問題提供了一個強大、精確、易于使用的工具。每一個物理場都可視為一個包含獨立實體模型和網格的場。耦合載荷傳遞要確定面或體。 多場求解器命令集使問題成形，并定義了求解先后順序。