分析步采用顯式動力學，時間周期默認 0.01 s，場輸出包含應力 S、應變 E、位移 U、損傷變量 SDEG 和 DMICRT、狀態(tài)變量 SDV 及 STATUS，歷史輸出請求接觸面法向力 CFN3，便于后處理中快讀提取力?時間/位移曲線。

核心仿真指標：調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF） 調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）是評價光學系統(tǒng)成像清晰度的核心指標，反映了系統(tǒng)對不同空間頻率細節(jié)的傳遞能力。團隊通過Zemax仿真，獲取了不同像素尺寸（0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm）下隨機掩模光柵的MTF曲線，并與無掩模的衍射極限MTF曲線對比。

STAR模塊作為Ansys與Zemax的核心接口，可準確追蹤FEA數(shù)據(jù)集，將包含剛體位移的面型數(shù)據(jù)分配至對應光學表面，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)變形與光學性能的直接關聯(lián)。通過Zemax模擬溫度載荷下的鏡頭離焦量，輸出調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）曲線（如圖3所示），直觀評價成像質(zhì)量。

由于Zernike構(gòu)建模塊具有圓形特性，因此，對于需要明顯左右或上下不對稱、矩形形狀的透鏡，其設計更依賴于XY多項式和Chebychev表面曲線。Q型自由曲面是一種較新的自由曲面透鏡設計，我們可以使用Ansys軟件解決方案對其進行設計。這類設計，是應最終用戶的直接要求而開發(fā)的。

Use angles of normal vectors：對所有的Surface來說，如果兩Surface沿著一條長度非零的曲線相接，并且兩個Surface在這條曲線上各自的法向量之間的夾角小于使用者指定的角度，則這兩Surface的Face編號會被設為相同。使用者指定的角度大小可由同一個設置窗口中的Face Angle菜單欄中設定。這個角度的指定可以讓使用者指定要把Surface群組切割到多細。

新的 LES 壁面函數(shù)、k-ω SST / GEKO 近壁處理，對網(wǎng)格要求更友好 4. 自動化、Web UI 與 PyFluent 生態(tài)持續(xù)強化。

圖9 光學效率圖 Ansys Lumerical軟件試用，培訓，歡迎聯(lián)系摩爾芯創(chuàng)。 參考文獻 1. F. Hirigoyen, A. Crocherie, J. M. Vaillant, and Y.

濾波器是階躍函數(shù)，因此預測耦合位移和電壓場的準確性至關重要，精度決定了濾波器曲線的斜率，即從0到無窮大。濾波器要具有陡峭的響應曲線，才能成為有效濾波器，因此需要非常精確的工具來準確評估該曲線的陡峭程度以及其對溫度變化的敏感性。 對于許多MEMS器件來說，設計和優(yōu)化機械組件中使用的尺寸和材料，是設計流程最重要的環(huán)節(jié)之一。

參考載波與第一階邊帶的光譜（圖3c），通過貝塞爾函數(shù)計算得出15至35GHz頻率范圍內(nèi)的調(diào)制效率為0.070～0.083Vcm（詳見實驗部分），該值與模擬結(jié)果高度吻合。實驗室測量在20GHz處出現(xiàn)的突然下降源于VNA輸出功率的急劇下降（詳見實驗部分）。通過結(jié)合電光S21參數(shù)與絕對射頻調(diào)制效率，計算得出10MHz時低頻調(diào)制效率為0.061Vcm。

通過開放4個曲面的曲率和厚度作為優(yōu)化變量，以有效焦距和場曲為核心優(yōu)化目標，最終將子午場曲降至3.8μm，畸變縮減至0.028%（圖3），在有效空間頻率內(nèi)MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）均超過70%（圖4），為整體系統(tǒng)性能奠定基礎。