第五步，溫度升高到 51.85℃，收斂速度變慢，大部分形狀恢復發生在此步中。第六步，將溫度冷卻至 37.85℃，間隔器的形狀保持不變。 圖 2. 溫度條件示意圖 4、運行仿真。不同溫度下間隔器的變形和應力云圖如圖3所示。 圖 3.

第五步，溫度升高到 51.85℃，收斂速度變慢，大部分形狀恢復發生在此步中。第六步，將溫度冷卻至 37.85℃，間隔器的形狀保持不變。 圖 2. 溫度條件示意圖 4、運行仿真。不同溫度下間隔器的變形和應力云圖如圖3所示。 圖 3.

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本期我們針對硅光調制器的幾種常見的光學結構，如微環諧振腔、馬赫-曾德爾干涉儀、慢光諧振腔以及邁克爾遜干涉儀等，簡單闡述這些結構的基本原理、調制機制、優缺點、性能參數和應用范圍。 等硅基光電調制器的常見光學結構 1.

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同時，不同于工作帶寬受諧振波長限制的諧振輔助或慢光結構，本PSW MZM支持更寬的光學帶寬，展現出卓越的效率與高速性能。盡管受測試設備限制，我們已驗證調制器帶寬可突破110GHz，通過優化電學結構可進一步提升性能以探索太赫茲帶寬工作。

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