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圖形選擇：用測試圖形（如through pitch線寬、尖端對尖端等）結合SRAM結構和工藝弱點，通過頻譜分析篩選關鍵圖形。</p><p>2. 仿真計算：建立光刻仿真條件（機臺信息、照明方式、薄膜堆棧等），開展SMO計算。</p><p>3.