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[NEWSLETTER] 泰伯(
TALBOT
)光刻機(jī)
圓錐
形
相位
掩模
的
Talbot
圖像 在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的
相位
掩模
版進(jìn)行了建模。檢測到不同的
Talbot
圖像,以使柱形圖案位于主
像
平面中,而孔圖案出現(xiàn)在次
像
平面中。
1087
信光嗎
??? 7月前
帖子
泰伯(
TALBOT
)光刻機(jī)
圓錐
形
相位
掩模
的
Talbot
圖像 在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的
相位
掩模
版進(jìn)行了建模。檢測到不同的
Talbot
圖像,以使柱形圖案位于主
像
平面中,而孔圖案出現(xiàn)在次
像
平面中。
2218
張藝凡
??? 2年前
帖子
ZEMAX軟件技術(shù)應(yīng)用專題:利用Kogelnik方法模擬體積全
像
光柵的繞射效率
在
錐
形
繞射的情況下,入射光線不垂直於光柵,偏振特徵態(tài)定義如下:
圖
3.全
像
在Kogelnik的耦合波理論中,全
像
被認(rèn)為足夠厚,每條入射光線要不是直接以0階通過,不然就是1階繞射,對於反射和透射的全
像
都是如此。假設(shè)和限制Kogelnik的耦合波理論與其他理論相比具有優(yōu)勢,可以準(zhǔn)確預(yù)測體積
相位
光柵的零階和一階效率的響應(yīng)。
2122
w**elab86_Swsp
??? 3年前
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