此外,超高功率的極紫外激光光源在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量,為了維持光源穩(wěn)定,也需要優(yōu)秀且完備的冷卻、散熱系統(tǒng)來保證設(shè)備正常工作。為了維持光線在光刻機(jī)內(nèi)的留存率,光刻機(jī)內(nèi)需要保持真空狀態(tài),來避免本就“脆弱”的極紫外光線被空氣吸收。據(jù)悉,目前臺(tái)積電擁有80 臺(tái)EUV 設(shè)備,且正在安裝更新下一代。照此估算,臺(tái)積電一年僅這80臺(tái)EUV光刻機(jī)的耗電量將高達(dá)8億千瓦時(shí)。
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半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備 ??? 3年前