步驟1:參雜硅材料波導(dǎo)的電壓-載子濃度分布關(guān)系 由于Lumerical 的Multiphysics CHARGE模塊是用有限元方法(Find Element Method)計(jì)算,2D還是3D對(duì)求解時(shí)間差異明顯。因此首先分析尺寸與模型:pn結(jié)平行電場(chǎng)方向長(zhǎng)10um,垂直電場(chǎng)方向?qū)?mm、厚度0.09um且無(wú)垂直電場(chǎng)方向的形狀變化,加上載子濃度會(huì)與電場(chǎng)分布強(qiáng)相關(guān),建議此步驟用2D求解來(lái)節(jié)省時(shí)間。