因此在使用CAE工具進行產品設計時,用戶會希望提前知道產品平坦度是否符合公差要求。Moldex3D Studio 2020提供平坦度量測工具,其友善且方便的操作流程,讓用戶能夠在觀察翹曲變形時,輕易量測出特定平面的平坦度。同時,量測結果還能與變形模擬或Studio后處理工具合并使用,便于觀察不同平面變形之后的平坦度。
最后,SiC 的行為可能與 Si 非常不同,尤其是從蝕刻的角度來看。它是一種強鍵合材料,具有許多硅中不存在的離子和晶體學誘導的蝕刻缺陷機制。為了克服這個問題,需要開發(fā)特定應用的工藝來解決關鍵步驟,例如 SiC MOSFET 制造中的關鍵溝槽蝕刻工藝。”應用材料在此期間,還推出了兩款專用于 SiC 的新工具。