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圖1（a）所示的SRG，可以通過幾種方法製造，如電子束寫入，光刻，納米壓印，或鑽石車削。與VHG不同，SRG沒有空間變化的折射率。相反，光柵的表面是由周期性的微結構組成的。為了對SRG進行建模，需要採用類似傅里葉模態法（也叫RCWA）的算法。本文將介紹VHG的工具。

2、智能測量閉環 （1）CAD驅動：Power DIMS 軟件的CAD數模導入，智能化、模塊化設計簡單易懂，大大提高了操作人員的編程效率，軟件自動識別四孔最優測量角度； （2）安全空間防護：防碰撞系統在安全距離內自動修正路徑； （3）雙模式融合：手動與自動模式的自由切換使機器具備快速批量檢測能力。